公开(公告)号：WO2018014118A1

公开(公告)日：2018-01-25

申请号：PCT/CA2017/050852

申请日：2017-07-14

申请人： INSTITUT NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

发明人： OZAKI, Tsuneyuki ,  CHAI, Xin

IPC分类号： G01J9/00 ,  G01J4/00

CPC分类号： G01J3/0224 ,  G01J3/42 ,  G01J4/04 ,  G01J9/02

摘要： A characterization and detection method and system, the system comprising a terahertz beam source, a probe beam source, a detection crystal receiving a probe beam from the probe beam source and a terahertz beam from the terahertz beam source, the probe beam and the terahertz beam co-propagating collinearly through the detection crystal, and a polarizer analyser receiving the pump beam transmitted from the detection crystal, wherein the polarizer analyser comprises two liquid crystal variable retarders and a linear polarizer, the polarizer analyzer analyzing a phase delay and orientation changes of the principle axes of the probe beam induced by the THz electric field and polarization.

摘要翻译： 表征和检测方法和系统，该系统包括太赫兹光束源，探测光束源，接收来自探测光束源的探测光束和来自太赫兹光束源的太赫兹光束的探测晶体 探测光束和太赫兹光束共线传播通过检测晶体，偏振器分析仪接收从检测晶体透射的泵浦光束，其中偏振器分析仪包括两个液晶可变延迟器和线性偏振器，偏振器分析器分析 由THz电场和偏振引起的探测光束主轴的相位延迟和取向变化。

公开(公告)号：WO2017110391A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：PCT/JP2016/085535

申请日：2016-11-30

申请人： 株式会社目白67

发明人： 上原　誠

IPC分类号： G01J4/04 ,  G02B5/30 ,  G02B17/08 ,  G02B5/04

CPC分类号： G01J4/04 ,  G02B5/04 ,  G02B5/30 ,  G02B17/08

摘要： 物体面からの反射光を結像させるための結像光学系に等倍反射型結像光学系が用いられているエリプソメータにおいて、エリプソメータの性能を改善することを目的とする。　エリプソメータ１００は、物体の表面からの反射光の光束を受光面に結像させるための結像光学系３０を備えている。結像光学系３０は、凹面主鏡３２及び凸面副鏡３４を含む等倍反射型結像光学系で構成されている。物体の表面からの反射光の光束は、凹面主鏡３２、凸面副鏡３４、凹面主鏡３２の順番で反射した後、受光面４０に結像する。等倍反射型結像光学系は、第１の検光子５０及び第２の検光子５２を含む。第１の検光子５０及び第２の検光子５２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において同一の屈折率を有する偏光素子で構成されている。

摘要翻译： 在椭率计

在用于成像从物平面反射的光的成像光学系统的等放大率反射型成像光学系统被使用时，它的目的是改善椭偏仪的性能 到。 椭偏仪100设置有成像光学系统30，用于在受光表面上形成来自物体表面的反射光的光束。 成像光学系统30由包括凹面主镜32和凸面辅助镜34的等倍反射成像光学系统构成。 从凹主镜32的物体表面时，反射光的通过凸副镜34，凹主镜32的顺序反射后的光束，形成在光接收表面40。 等倍反射成像光学系统包括第一分析器50和第二分析器52。 第一分析仪50和第二分析仪52由在X轴方向和Y轴方向上具有相同折射率的偏振元件形成。

公开(公告)号：WO2017053128A1

公开(公告)日：2017-03-30

申请号：PCT/US2016/051494

申请日：2016-09-13

申请人： BENCHMARK TECHNOLOGIES

发明人： TU, Yuqiang ,  REYNOLDS, Patrick

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F1/78 ,  H01L21/027

CPC分类号： G01J4/04 ,  G03F1/44 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70641

摘要： Methods and apparatus for characterizing a beam parameter associated with an electromagnetic beam of a light source. The light source exposes a phase-shifted target through a set of focal distances relative to a focal plane of a substrate. At each focal distance of the set, registration values are measured and used to determine one or more registration slopes as a function of focal distance. The registration slopes are compared with baseline registration slopes to characterize the current relative state of the beam parameter in question. Beam parameters that may be characterized in this manner include degree of polarization and polarization rotation relative to an initial polarization direction. Phase shift test patterns advantageously used for beam characterization are described.

摘要翻译： 用于表征与光源的电磁束相关联的光束参数的方法和装置。 光源通过相对于基板的焦平面的一组焦距来曝光相移的目标。 在组的每个焦距处，测量对准值并用于确定作为焦距的函数的一个或多个配准斜率。 将配准斜率与基线配准斜率进行比较，以表征所讨论的梁参数的当前相对状态。 可以以这种方式表征的光束参数包括相对于初始偏振方向的偏振度和偏振旋转度。 描述有利地用于光束表征的相移测试图案。

公开(公告)号：WO2016088483A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：PCT/JP2015/080380

申请日：2015-10-28

申请人： ソニー株式会社

发明人： 近藤　雄飛 ,  平澤　康孝 ,  早坂　健吾

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01C3/06 ,  H04N5/225 ,  H04N5/232

CPC分类号： H04N13/214 ,  G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01C3/085 ,  G01J4/04 ,  G06T7/55 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/2258 ,  H04N5/247 ,  H04N13/218 ,  H04N13/229 ,  H04N13/232 ,  H04N13/243 ,  H04N13/271 ,  H04N2013/0081

摘要： 　デプスマップ生成部２２は、撮像ユニット２１で複数の視点位置で被写体を撮像して得られた画像からデプスマップを生成するデプスマップを生成する。位置合わせ部２３は、デプスマップ生成部２２で生成されたデプスマップに基づき、撮像ユニット２１において偏光方向が視点位置毎に異なる偏光フィルタを介して複数の視点位置で被写体を撮像して得られた偏光画像の位置合わせを行う。偏光特性取得部２４は、位置合わせ部２３で位置合わせした偏光画像を用いて、所望の視点位置からの被写体の偏光特性の取得を行い、時間解像度や空間解像度の劣化の少ない高精度な偏光特性を得る。所望の視点位置における被写体の偏光特性を取得できるようになる。

摘要翻译： 深度图生成单元22通过由成像单元21从多个观察位置对被摄体的成像获得的图像生成深度图。基于深度图生成单元22生成的深度图， 对准单元23通过成像单元21通过在每个观察位置处具有不同偏振方向的偏振滤光器，通过成像单元21从多个观察位置对被摄体进行成像而获得的偏振光图像进行位置对准。 偏振光特征获取单元24使用由位置对准单元23位置对准的偏振光图像从期望的观察位置获取被摄体的偏振特性，并且获得高度精确的偏振特性，其大大没有时间分辨率和空间上的劣化 解析度。 因此可以获得在期望的观察位置处的被摄体的偏振特性。

公开(公告)号：WO2015198562A3

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：PCT/JP2015003023

申请日：2015-06-17

申请人： SONY CORP

发明人： OZAWA KEN

IPC分类号： G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/453 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/35

CPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/027 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/4531 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/005 ,  G01N2021/3595

摘要： An imaging device and method are provided. Light from an object is provided as a plurality of sets of light beams to a phase difference array having a plurality of elements. The phase difference array is configured to provide different optical paths for light included within at least some of a plurality of sets of light beams. The light from the phase difference array is received at an imaging element array. The imaging element array includes a plurality of imaging elements. Information obtained from hyperspectral imaging data based on output signals of the imaging element array can be displayed.

摘要翻译： 提供了一种成像装置和方法。 将来自物体的光作为多组光束被提供给具有多个元件的相位差阵列。 相位差阵列被配置为为包括在多组光束中的至少一些光束中的光提供不同的光路。 来自相位差阵列的光在成像元件阵列处被接收。 成像元件阵列包括多个成像元件。 可以显示从基于成像元件阵列的输出信号的高光谱成像数据获得的信息。

公开(公告)号：WO2015171076A1

公开(公告)日：2015-11-12

申请号：PCT/SG2015/050099

申请日：2015-05-07

申请人： NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE

发明人： SCHMIDT, Daniel ,  HEUSSLER, Sascha Pierre

IPC分类号： G01N21/21 ,  G01J3/447 ,  G01J4/04

CPC分类号： G01J3/447 ,  G01J3/36 ,  G01J4/04 ,  G01N21/211 ,  G01N21/3581 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/3155

摘要： A device for analysing a specimen is disclosed. The device comprises a first polarizer for polarizing a first beam of electromagnetic radiation; an optical device for directing the polarized beam of electromagnetic radiation at the specimen to enable interaction between the polarized beam of electromagnetic radiation and the specimen to cause generation of a second beam of electromagnetic radiation; a plurality of second polarizers for dividing the wavefront of the second beam of electromagnetic radiation into a plurality of beams of electromagnetic radiation polarized with different polarization states; and at least one spectrometer for analysing respective electromagnetic spectrums of the plurality of polarized beams of electromagnetic radiation to enable the specimen to be characterised. A related method is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种用于分析试样的装置。 该装置包括用于使第一电磁辐射束偏振的第一偏振器; 用于将电磁辐射的偏振光束引导到样品处以使得电磁辐射的偏振光束与样本之间的相互作用以产生第二电磁辐射束的光学装置; 多个第二偏振器，用于将所述第二电磁辐射束的波前划分为以不同极化状态偏振的多个电磁辐射束; 以及用于分析电磁辐射的多个偏振光束的各个电磁谱的至少一个光谱仪，以使样本得以表征。 还公开了相关方法。

公开(公告)号：WO2015088805A1

公开(公告)日：2015-06-18

申请号：PCT/US2014/067919

申请日：2014-12-01

申请人： RAYTHEON COMPANY

发明人： DORSCHNER, Terry

IPC分类号： G01J3/18 ,  G01J4/04 ,  G01J3/02

CPC分类号： G01J1/0429 ,  G01J1/42 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2823 ,  G01J4/04 ,  G02F1/13473

摘要： A programmable multifunction spectral and/or polarization imager. In one example, such an imager includes an imaging optical subsystem configured to receive electromagnetic radiation from a distant scene, a focal plane array configured to produce an image of the scene, and a programmable polarimetry subsystem electrically switchable between an ON state in which the polarimetry subsystem receives the electromagnetic radiation and provides polarized electromagnetic radiation to the focal plane array, and an OFF state in which the polarimetry system is configured as a first substantially clear aperture that passes the electromagnetic radiation to the focal plane array. In certain examples, the imager includes a programmable spectral imaging sub-system configurable between an ON state and an OFF state.

摘要翻译： 可编程多功能光谱和/或偏振成像仪。 在一个示例中，这种成像器包括：成像光学子系统，被配置为接收来自遥远场景的电磁辐射，配置成产生场景图像的焦平面阵列，以及可在ON状态之间电可切换的可编程偏振子系统， 子系统接收电磁辐射并向焦平面阵列提供极化电磁辐射，以及OFF状态，其中偏振系统被配置为将电磁辐射传递到焦平面阵列的第一基本上清晰的孔。 在某些示例中，成像器包括可在ON状态和OFF状态之间配置的可编程光谱成像子系统。

公开(公告)号：WO2015039816A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/EP2014/067232

申请日：2014-08-12

申请人： SELEX ES LTD

发明人： PILKINGTON, Roger, Malcolm ,  WONG, Gerald ,  LAMB, Robert A. ,  SINCLAIR, Peter

IPC分类号： H04N5/33 ,  G01J4/04

CPC分类号： G06T5/006 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/12 ,  G01J3/2823 ,  G01J4/04 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/2826 ,  G06T3/4053 ,  G06T7/90 ,  G06T2207/20024 ,  G06T2207/30168 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/23232 ,  H04N5/23293 ,  H04N5/33 ,  H04N9/646 ,  H04N17/002

摘要： A camera for polarimetric, multispectral imaging is described. Such cameras are used in photonics, computational imaging and multispectral imaging in which both multispectral and polarimetric sensing modalities are used simultaneously for detection, recognition and identification. The camera enables multiple spectral images to be recorded simultaneously using polarising beamsplitters and mirrors to divide the image according polarimetric and spectral bands. These multiple, polarised images are recorded on a single focal plane array (FPA) simultaneously. Image processing means allows for the resolution of the subsequent image to be improved.

摘要翻译： 描述了用于偏振，多光谱成像的照相机。 这种相机用于光子学，计算成像和多光谱成像，其中多光谱和极化感测模式同时用于检测，识别和识别。 相机使得能够使用偏振分束器和反射镜同时记录多个光谱图像，以根据偏振光谱和光谱带划分图像。 这些多个极化图像同时记录在单个焦平面阵列（FPA）上。 图像处理装置允许改进后续图像的分辨率。

公开(公告)号：WO2015030343A1

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：PCT/KR2014/004267

申请日：2014-05-13

申请人： KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE

发明人： CHO, Yong Jai ,  CHEGAL, Won ,  CHO, Hyun Mo

IPC分类号： G01N21/17

CPC分类号： G01N21/211 ,  G01J4/04 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0633 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/11

摘要： Provided is an optical element rotation type Mueller-matrix ellipsometer for solving a problem of measurement accuracy and measurement precision occurring due to residual polarization of a light source, polarization dependence of a photo-detector, measurement values of Fourier coefficients of a high order term in dual optical element rotation type Mueller-matrix ellipsometers according to the related art capable of measuring some or all of components of a Mueller-matrix for any sample.

摘要翻译： 提供一种光学元件旋转型米勒矩阵椭偏仪，用于解决由于光源的残余极化产生的测量精度和测量精度的问题，光检测器的偏振度依赖性，高阶项的傅里叶系数的测量值 根据相关技术的双光学元件旋转型米勒矩阵椭偏仪能够测量任何样品的Mueller矩阵的一些或全部组分。

公开(公告)号：WO2015025909A1

公开(公告)日：2015-02-26

申请号：PCT/JP2014/071846

申请日：2014-08-21

申请人： 富士フイルム株式会社

发明人： 市橋　光芳 ,  馬島　渉 ,  沖　和宏

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B5/26 ,  G02F1/1335

CPC分类号： G02B5/3016 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/001 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286

摘要： 　本発明により、特定の波長において右円偏光または左円偏光のいずれか一方のセンスの円偏光を選択的に透過させるための円偏光フィルターであって、上記特定の波長の上記センスの円偏光をいずれか一方の面から入射したときの散乱透過率/直透過率より、他方のセンスの円偏光を上記面から入射したときの散乱反射率/正反射率が大きい円偏光フィルターが提供される。上記円偏光フィルターは円偏光分離層を含み、上記円偏光分離層は反射光散乱性円偏光分離層を含み、さらに非反射光散乱性円偏光分離層を含んでいてもよく、上記反射光散乱性円偏光分離層はコレステリック液晶相を固定した層からなり、かつ、非反射光散乱性円偏光分離層は、コレステリック液晶相を固定した層または直線偏光分離層とλ／４位相差層とを含む積層体からなる。本発明の円偏光フィルターは円偏光度が高く、本発明の円偏光フィルターを利用して感度の高いセンサーシステムを提供することができる。

摘要翻译： 本发明提供一种圆偏振滤光器，用于选择性地透射特定波长的右圆偏振光或左圆偏振光的一种感测的圆偏振光，其中当任何一种感官的圆偏振光在 从表面入射的特定波长比从该表面入射的不同感的圆偏振光的漫反射率/规则反射率小。 圆偏光滤光器包括圆偏振分离层，圆偏振分离层包括反射光散射圆偏振分离层，并且还可以包括非反射光散射圆偏振分离层。 反射光散射圆偏振光分离层由固定有胆甾型液晶相的层形成，非反射光散射圆偏振光分离层由层叠体形成，层叠体包含胆甾醇型液晶相 是固定的或线偏振分离层和λ/ 4延迟层。 该圆偏振滤光器具有高度的圆偏振，并且可以通过使用该圆偏振滤光器来提供高灵敏度的传感器系统。