公开(公告)号：WO2013171657A1

公开(公告)日：2013-11-21

申请号：PCT/IB2013/053881

申请日：2013-05-13

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS N.V. ,  PHILIPS DEUTSCHLAND GMBH

Inventor： KOEHLER, Thomas ,  BRENDEL, Bernhard, Johannes ,  ROESSL, Ewald ,  VAN STEVENDAAL, Udo

IPC: G06T11/00

CPC classification number: G06T11/005 ,  A61B6/42 ,  A61B6/48 ,  G01N23/046 ,  G01N23/20083 ,  G01N23/201 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2223/054 ,  G01T1/2907 ,  G06T11/006 ,  G06T2207/10081

Abstract: A method includes obtaining a dark-field signal generated from a dark-field CT scan of an object, wherein the dark-field CT scan is at least a 360 degree scan. The method further includes weighting the dark-field signal. The method further includes performing a cone beam reconstruction of the weighted dark-field signal over the 360 degree scan, thereby generating volumetric image data. For an axial cone-beam CT scan, in one non-limiting instance, the cone-beam reconstruction is a full scan FDK cone beam reconstruction. For a helical cone-beam CT scan, in one non-limiting instance, the dark-field signal is rebinned to wedge geometry and the cone-beam reconstruction is a full scan aperture weighted wedge reconstruction. For a helical cone-beam CT scan, in another non-limiting instance, the dark-field signal is rebinned to wedge geometry and the cone-beam reconstruction is a full scan angular weighted wedge reconstruction.

Abstract translation: 一种方法包括获得从物体的暗场CT扫描产生的暗场信号，其中暗场CT扫描至少为360度扫描。 该方法还包括对暗场信号进行加权。 该方法还包括在360度扫描上执行加权暗场信号的锥束重建，从而产生体积图像数据。 对于轴向锥束CT扫描，在一个非限制性情况下，锥束重建是全扫描FDK锥束重建。 对于螺旋锥束CT扫描，在一个非限制性的情况下，暗场信号被重新设计为楔形几何，并且锥束重建是全扫描孔径加权楔形重建。 对于螺旋锥束CT扫描，在另一个非限制性的情况下，暗场信号被重新定位成楔形几何，并且锥束重建是全扫描角加权楔重构。

公开(公告)号：WO2013123132A1

公开(公告)日：2013-08-22

申请号：PCT/US2013/026055

申请日：2013-02-14

Applicant: L-3 COMMUNICATIONS SECURITY AND DETECTION SYSTEMS, INC.

Inventor： SCHMITT, Michael, H.

IPC: G01N23/203

CPC classification number: G01N23/201 ,  G01N23/20 ,  G01N23/203 ,  G01N2223/051 ,  G01N2223/054

Abstract: Radiation is directed at an object, and radiation scattered by the object is sensed. An angular distribution of scatter in the sensed scattered radiation relative to a path of the radiation directed at the object is determined, and the angular distribution is evaluated. One or more atomic numbers, or effective atomic numbers, of materials composing the object is determined based on evaluating the angular distribution.

Abstract translation: 辐射指向物体，并且感测被物体散射的辐射。 确定感测的散射辐射相对于朝向物体的辐射的路径的角度分布，并且评估角度分布。 基于评估角分布来确定构成对象的材料的一个或多个原子数或有效原子序数。

公开(公告)号：WO2014150445A1

公开(公告)日：2014-09-25

申请号：PCT/US2014/023282

申请日：2014-03-11

Applicant: BRUKER AXS, INC.

Inventor： DURST, Roger ,  LAGGNER, Peter ,  MEDVED, Sergei ,  BECKER, Bruce

IPC: G01N23/201

CPC classification number: G01T1/1606 ,  G01N23/201 ,  G01N2223/054 ,  G01T1/24 ,  H01L31/085 ,  Y10T29/4913

Abstract: A detector for a small-angle x-ray diffraction system uses curved readout strips shaped to correspond to the expected intensity distribution of x-rays scattered by the system. This expected intensity distribution may be a series of concentric circles, and each of the strips has a shape that approximates a section of an annulus. The strips may be positioned on a substrate such that a center of curvature of the curved strips is located along an edge of a readout region within which the strips are located or, alternatively, at a geometric center of the readout region. The detector may have a signal readout system that uses a delay line or, alternatively, a multichannel readout system. The detector may make use of electron generation via interaction of the diffracted x-ray beam with gas in a gas chamber, or through interaction of the diffracted beam with a semiconductor material.

Abstract translation: 用于小角度X射线衍射系统的检测器使用弯曲的读出条，其形状对应于由系统散射的x射线的预期强度分布。 该预期的强度分布可以是一系列同心圆，并且每个条具有近似于环的一部分的形状。 条带可以定位在基板上，使得弯曲条带的曲率中心沿着条带所在的读出区域的边缘或者替代地位于读出区域的几何中心处。 检测器可以具有使用延迟线或者替代地，多通道读出系统的信号读出系统。 检测器可以通过衍射X射线束与气体室中的气体的相互作用或通过衍射光束与半导体材料的相互作用来利用电子产生。

公开(公告)号：WO2017185101A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：PCT/US2017/029215

申请日：2017-04-24

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： BYKANOV, Alexander ,  ARTEMIEV, Nikolay ,  DIREGOLO, Joseph ,  VIATELLA, John

IPC: G02B27/09 ,  G02B6/42 ,  G01N23/04

CPC classification number: G01N23/201 ,  G01N2223/054 ,  G01N2223/309 ,  G01N2223/316 ,  G21K1/04 ,  G21K7/00

Abstract: Methods and systems for reducing the effect of finite source size on illumination beam spot size for Transmission, Small-Angle X-ray Scatterometry (T-SAXS) measurements are described herein. A beam shaping slit having a slender profile is located in close proximity to the specimen under measurement and does not interfere with wafer stage components over the full range of angles of beam incidence. In one embodiment, four independently actuated beam shaping slits are employed to effectively block a portion of an incoming x-ray beam and generate an output beam having a box shaped illumination cross-section. In one aspect, each of the beam shaping slits is located at a different distance from the specimen in a direction aligned with the beam axis. In another aspect, the beam shaping slits are configured to rotate about the beam axis in coordination with the orientation of the specimen.

Abstract translation: 本文描述了用于减小传输小角X射线散射测量（T-SAXS）测量的有限光源尺寸对照射束点大小的影响的方法和系统。 具有细长轮廓的光束成形狭缝位于被测样本附近，并且不会在光束入射角的整个范围内与晶圆台部件相互干扰。 在一个实施例中，采用四个独立致动的光束成形缝隙来有效地阻挡进入的X射线束的一部分并且生成具有盒形照射横截面的输出束。 在一个方面，每个光束成形狭缝在与光束轴线对准的方向上位于与样本不同的距离处。 在另一方面，光束成形狭缝被配置成与样本的方向一致地围绕光束轴线旋转。

公开(公告)号：WO2016001535A1

公开(公告)日：2016-01-07

申请号：PCT/FR2015/051713

申请日：2015-06-25

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： PAULUS, Caroline ,  TABARY, Joachim

IPC: G01N23/20 ,  G01N23/201 ,  G01N23/087

CPC classification number: G01N23/20083 ,  G01N23/087 ,  G01N23/201 ,  G01N2223/03 ,  G01N2223/04 ,  G01N2223/045 ,  G01N2223/054 ,  G01N2223/304 ,  G01N2223/50

Abstract: L'invention concerne un procédé d'analyse d'un objet qui se déroule en deux parties, * une première partie comprenant les étapes : irradiation de l'objet par un rayonnement photonique incident; acquisition d'un spectre transmis par l'objet au moyen d'un détecteur spectrométrique placé en transmission; détermination d'au moins une première caractéristique de l'objet à partir du spectre en transmission mesuré; vérification de !a réalisation d'au moins un critère de suspicion portant sur la première caractéristique de l'objet et traduisant le fait que l'objet contient un matériau potentiellement suspect pour l'application considérée; * et une seconde partie exécutée uniquement lorsque le critère de suspicion est réalisé, et comprenant : acquisition d'un spectre énergétique diffusé par l'objet au moyen d'un détecteur spectrométrique placé en diffusion selon un angle compris entre 1 ° et 15°; détermination d'une seconde caractéristique de l'objet à partir au moins du spectre en diffusion mesuré; * comparaison au moins de la seconde caractéristiques de l'objet avec des caractéristiques de matériaux étalons mémorisées dans une base de données, aux fins d'identification d'un matériau constitutif de l'objet.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于分析物体的方法，该方法分为两部分：第一部分包括以下步骤：用入射光子辐射照射物体; 在传输模式下使用光谱检测器获取由对象发送的频谱，根据所测量的传输频谱确定对象的至少一个第一属性，验证是否满足与对象的第一属性有关的至少一个疑问标准，以及翻译 事实上，该对象包含对正在考虑的应用程序潜在可疑的材料; 以及第二部分，仅在满足怀疑标准时进行，包括：以散射模式以1°至15°的角度获取由物体散射的能谱，使用光谱测量检测器，并且确定物体的第二属性 从至少测量的散射光谱; 将对象的至少第二属性与存储在数据库中的标准材料的属性进行比较，以便识别制作对象的材料。

公开(公告)号：WO2015112444A1

公开(公告)日：2015-07-30

申请号：PCT/US2015/011753

申请日：2015-01-16

Applicant: REVERA, INCORPORATED

Inventor： POIS, Heath A. ,  REED, David A. ,  SCHUELER, Bruno W. ,  SMEDT, Rodney ,  FANTON, Jeffrey T.

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/223 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N23/201 ,  G01N2223/054 ,  H01L22/12

Abstract: Methods and systems for measuring periodic structures using multi-angle X-ray reflectance scatterometry (XRS) are disclosed. For example, a method of measuring a sample by X-ray reflectance scatterometry involves impinging an incident X-ray beam on a sample having a periodic structure to generate a scattered X-ray beam, the incident X-ray beam simultaneously providing a plurality of incident angles and a plurality of azimuthal angles. The method also involves collecting at least a portion of the scattered X-ray beam.

Abstract translation: 公开了使用多角度X射线反射散射法（XRS）测量周期性结构的方法和系统。 例如，通过X射线反射散射测定样品的方法包括将入射的X射线束照射在具有周期性结构的样品上以产生散射的X射线束，入射的X射线束同时提供多个 入射角和多个方位角。 该方法还涉及收集散射的X射线束的至少一部分。

公开(公告)号：WO2019145157A1

公开(公告)日：2019-08-01

申请号：PCT/EP2019/050506

申请日：2019-01-10

Applicant: PAUL SCHERRER INSTITUT

Inventor： STAMPANONI, Marco ,  WANG, Zhentian ,  KAGIAS, Matias

IPC: G01N23/20 ,  A61B6/00 ,  G01N23/201 ,  G21K1/06 ,  G01N23/041

CPC classification number: G01N23/20075 ,  A61B6/4291 ,  A61B6/483 ,  G01N23/041 ,  G01N23/201 ,  G01N2223/054 ,  G01N2223/204 ,  G01N2223/419 ,  G21K1/06

Abstract: X-ray scattering imaging can provide complementary information about the unresolved microstructures of a sample. The scattering signal can be accessed with various methods based on coherent illumination, which span from self-imaging to speckle scanning. The directional sensitivity of the existing methods is limited to a few directions on the imaging plane and it requires the scanning of the optical components, or the rotation of either the sample or the imaging setup, if the full range of possible scattering directions is desired. Recently such an invention has been presented. However, the method requires a very high resolution and is only applicable to imaging setups where this is possible, such as synchrotron facilities. The present invention discloses a new arrangement that allows the simultaneous acquisition of the scattering images in all possible directions in a single shot without the need of high resolution or highly coherence sources. This is achieved by a specialized optical element and means of recording the generated fringe with sufficient spatial resolution.

公开(公告)号：WO2015146287A1

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：PCT/JP2015/052879

申请日：2015-02-02

Applicant: 株式会社リガク

Inventor： 表　和彦 ,  伊藤　和輝

IPC: G01N23/201 ,  G21K1/06

CPC classification number: G01N23/201 ,  G01N2223/054 ,  G01N2223/056 ,  G01N2223/315 ,  G21K1/06 ,  G21K1/10

Abstract: 　コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に撮れる微小ビーム生成ユニットおよびＸ線小角散乱装置を提供する。１次元検出器または２次元検出器により回折Ｘ線を検出するため、試料に照射する微小なスポットサイズのＸ線を生成する微小ビーム生成ユニット１１０であって、Ｘ線光路上に設けられ、Ｘ線を平行ビームに整形するスリット１１５と、（＋，－，－，＋）に配置され、スリットで整形された平行ビームの寄生散乱を除去する２個のチャンネルカットモノクロメータ結晶１１７、１１８と、を備える。これにより、コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に得ることができる。

Abstract translation: 本发明提供一种能够具有紧凑结构并且同时拍摄具有高信号与背景比的非各向同性图像的微光束产生单元和小角度X射线散射装置。 为了使用一维检测器或二维检测器检测衍射X射线，微光束产生单元（110）产生要照射在样品上并具有小斑点尺寸的X射线，以及 设置有设置在X射线的路径上并将X射线成形为平行光束的狭缝（115）和设置在（+， - ）光束的两个通道切割晶体单色仪（117,118） ， - ，+）配置，并消除由狭缝形成的平行光束的寄生散射。 结果，可以具有紧凑的结构并且同时获得具有高信号与背景比的非各向同性图像。

公开(公告)号：WO2012122577A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：PCT/AT2012/000059

申请日：2012-03-12

Applicant: ANTON PAAR GMBH ,  SCHNABLEGGER, Heimo

Inventor： SCHNABLEGGER, Heimo

IPC: G01N23/201

CPC classification number: G01N23/20008 ,  G01N23/20 ,  G01N2223/054 ,  G01N2223/3307

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Untersuchung der röntgenografischen Eigenschaften von Proben (3c), wobei die an einer Probe (3c) gestreuten Röntgenstrahlen von einem im Abstand zur Probe (3c) gelegenen Detektor (5) aufgenommen und bezüglich der Probeneigenschaften ausgewertet werden. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass bei einem vorgegebenen Abstand zwischen der Röntgenstrahlenquelle (1) oder dem Ausgangspunkt (2b) des auf die Probe (3c) gerichteten Röntgenstrahles (10) und dem Detektor (5) für eine vorgegebene Anzahl von aufeinander folgenden Messungen der Abstand (S1, S2) zwischen der Probe (3c) und dem Detektor (5) verändert und auf vorgegebene unterschiedliche Werte eingestellt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法和样本的射线照相特性调查的装置（3c）中，所述上的样品（3C）以一定距离的溶液中加入位于一个散射X射线到样本（3c）的检测器（5）和相对于所述样本性质评价 是。 根据本发明，提供的是（对于X射线源（1）或基底之间的给定距离（2B）（3c）中引导X射线束（10）和所述检测器样品（5）的距离的连续测量的一个预定数量的 是多种多样的S1，S2）（样品3C之间）和检测器（5），并调节至规定的不同的值。