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    レジストパターン厚肉化材料、それを用いたレジストパターンの製造方法及び半導体装置の製造方法
    1.
    发明申请
    レジストパターン厚肉化材料、それを用いたレジストパターンの製造方法及び半導体装置の製造方法 审中-公开
    用于增厚电阻图案的材料，使用其制造电阻图案的方法以及制造半导体器件的方法

    公开(公告)号：WO2005013011A1

    公开(公告)日：2005-02-10

    申请号：PCT/JP2003/009867

    申请日：2003-08-04

    Applicant: 富士通株式会社 ,  野崎 耕司

    Inventor： 野崎 耕司

    IPC: G03F7/40

    CPC classification number: H01L27/11526 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/40 ,  G11B5/17 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3163 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32139 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11543 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/114

    Abstract: 　本発明は、レジストパターンの材料や大きさに対する依存性がなく、レジストパターンを均一にしかも安定に、表面のラフネスを低減した状態で厚肉化し、パターニング時に用いる露光装置における光源の露光限界を超えて微細なレジスト抜けパターンを形成可能なレジストパターン厚肉化材料等を提供することを目的とする。本発明のレジストパターン厚肉化材料は、樹脂と相間移動触媒とを含有する。レジストパターンを形成後、該レジストパターン表面に本発明の前記レジストパターン厚肉化材料を塗布することにより、該レジストパターンが厚肉化され、該レジストパターンの露光限界を超えて微細なレジスト抜けパターンが容易に形成される。

    Abstract translation: 用于使抗蚀剂图案均匀且稳定地独立于抗蚀剂图案的材料和尺寸而增加的材料，同时减少表面的粗糙度，以便在超过所使用的曝光装置的光源的曝光极限的情况下形成精细的无电阻图案 用于图案化。 该材料含有树脂和相转移催化剂。 在形成抗蚀剂图案之后，将材料施加到抗蚀剂图案的表面。 因此，抗蚀剂图案变厚，并且在超过抗蚀剂图案的曝光极限的同时容易形成精细的无电阻图案。

    ＣＰＰ構造磁気抵抗効果素子およびヘッドスライダ
    3.
    发明申请
    ＣＰＰ構造磁気抵抗効果素子およびヘッドスライダ 审中-公开
    CPP结构磁阻效应器件和头滑块

    公开(公告)号：WO2004088763A1

    公开(公告)日：2004-10-14

    申请号：PCT/JP2003/003797

    申请日：2003-03-27

    Applicant: 富士通株式会社 ,  大島 弘敬

    Inventor： 大島 弘敬

    IPC: H01L43/08

    CPC classification number: G01R33/093 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3932 ,  G11B2005/3996 ,  H01F10/3268 ,  H01L43/08

    Abstract: 　ＣＰＰ構造磁気抵抗効果素子（３５）では、磁区制御膜（４５）に磁気抵抗効果膜（４４）の前端に沿って磁気抵抗効果膜（４４）を横切る第１領域（４５ａ）が形成される。第１領域（４５ａ）では第１磁界強度の第１バイアス磁界が確立される。磁気抵抗効果膜（４４）の後端に沿って磁気抵抗効果膜（４４）を横切る第２磁界強度の第２領域（４５ｂ）が形成される。第２領域（４５ｂ）では第１磁界強度よりも大きい第２磁界強度で第２バイアス磁界が確立される。第１および第２磁界強度の確立にあたって、第２領域（４５ｂ）は第１領域（４５ａ）よりも大きな膜厚に設定される。こうしたＣＰＰ構造磁気抵抗効果素子（３５）によれば、磁気抵抗効果膜（４４）には大きな電流値でセンス電流は流通することができる。しかも、磁気抵抗効果膜（４４）では十分な感度は確保されることができる。

    Abstract translation: 一种CPP结构磁阻效应器件，其特征在于，在磁畴控制膜（45）中形成有沿磁阻膜（44）的前缘穿过磁阻膜（44）的第一区域（45a），第一偏磁 在第一区域（45a）中建立第一磁场强度的场，形成沿着磁阻膜（44）的后缘横穿磁阻膜（44）的第二磁场强度的第二区域（45b） 在第二区域（45b）中建立大于第一磁场强度的第二磁场强度的第二偏置磁场，并且第二区域（45b）的厚度大于第一区域（45a）至第二区域 建立第一和第二磁场强度。 在这种CPP结构磁阻效应器件（35）中，大电流值的检测电流可以流过磁阻效应膜（44）。 此外，确保了磁阻效应膜（44）的足够高的灵敏度。

    RECORDING HEADS USING MAGNETIC FIELDS GENERATED LOCALLY FROM HIGH CURRENT DENSITIES IN A THIN FILM WIRE
    4.
    发明申请
    RECORDING HEADS USING MAGNETIC FIELDS GENERATED LOCALLY FROM HIGH CURRENT DENSITIES IN A THIN FILM WIRE 审中-公开
    使用在薄膜电线中的高电流密度局部生成的磁场记录磁头

    公开(公告)号：WO2003021576A1

    公开(公告)日：2003-03-13

    申请号：PCT/US2002/005967

    申请日：2002-02-27

    Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

    Inventor： CLINTON, Thomas, W. ,  SEIGLER, Michael, A. ,  ROTTMAYER, Robert, E.

    IPC: G11B5/09

    CPC classification number: B82Y10/00 ,  G11B5/012 ,  G11B5/02 ,  G11B5/09 ,  G11B5/127 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/17 ,  G11B5/313 ,  G11B5/743 ,  G11B13/045 ,  G11B2005/0002 ,  G11B2005/0005 ,  G11B2005/0021

    Abstract: A method of recording information bits in a magnetic storage medium (58), the method comprising positioning a first conductor (50) adjacent to a magnetic recording medium (58), the conductor having a width and a length, wherein a distance between the first conductor and the magnetic recording medium is less than or equal to the width and the length, and passing a first current through the conductor of sufficient magnitude to produce a magnetic field in the magnetic medium greater than one Tesla and having a magnetic field gradient in a cross track direction and a down track direction greater than 100 Oe/nm over a bit dimension. Magnetic recording heads (48) and disc drives (10) that record data in accordance with the method are also included.

    Abstract translation: 一种在磁存储介质（58）中记录信息位的方法，所述方法包括定位与磁记录介质（58）相邻的第一导体（50），所述导体具有宽度和长度，其中第一 导体和磁记录介质小于或等于宽度和长度，并使第一电流通过导体足够大，以在磁介质中产生大于一特斯拉的磁场，并具有磁场梯度 横向方向和向下轨道方向大于100 Oe / nm。 还包括根据该方法记录数据的磁记录头（48）和磁盘驱动器（10）。

    METHOD OF MAKING A MAGNETIC HEAD
    5.
    发明申请
    METHOD OF MAKING A MAGNETIC HEAD 审中-公开
    制造磁头的方法

    公开(公告)号：WO2002103687A2

    公开(公告)日：2002-12-27

    申请号：PCT/GB2002/002660

    申请日：2002-05-29

    Applicant: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  IBM UNITED KINGDOM LIMITED

    Inventor： HSIAO, Richard ,  SANTINI, Hugo, Alberto, Emilio

    IPC: G11B5/31

    CPC classification number: G11B5/3163 ,  G11B5/012 ,  G11B5/17 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  Y10T29/49046

    Abstract: The magnetic head of the present invention includes a narrow, high aspect ratio P2 pole tip and a high aspect ratio, fine pitch induction coil. Electroplating trenches (120, 128, 134) for the P2 pole tip (140) and the induction coil (170) are fabricated in a single RIE process step, and the P2 pole tip and the induction coil are thereafter separately plated up into their respective trenches to complete the fabrication of these structures. Briefly, following the fabrication of a P1 pole and the deposition of an insulation layer thereon, a patterned P2 pole tip seed layer (96). An etching mask pattern (112) includes both a P2 pole tip trench opening and an induction coil trench opening. Thereafter, in a single RIE etching step, the P2 pole tip trench is etched through the dielectric material down to the seed layer, and the induction coil trench is etched through the dielectric material down to the insulation layer. The P2 pole tip is then electroplated up into its trench. Thereafter, the induction coil is electroplated (170) up into the induction coil trench. A chemical mechanical polishing (CMP) step is next conducted to remove the excess induction coil material (168) and the RIE etching mask. Thereafter, a patterned insulation layer is deposited upon the induction coil, which is followed by the fabrication of a P2 pole yoke (192) thereupon.

    Abstract translation: 本发明的磁头包括窄的高纵横比的P2极尖和高纵横比的细间距感应线圈。 在单个RIE工艺步骤中制造用于P2极尖端（140）和感应线圈（170）的电镀沟槽（120,128,134），然后将P2极尖端和感应线圈单独地电镀到它们各自的 沟槽来完成这些结构的制造。 简而言之，在P1极的制造和其上的绝缘层的沉积之后，形成图案化的P2极端种子层（96）。 蚀刻掩模图案（112）包括P2极尖沟槽开口和感应线圈沟槽开口。 此后，在单个RIE蚀刻步骤中，通过电介质材料将P2极尖沟槽蚀刻到种子层，并且感应线圈沟槽通过电介质材料被蚀刻到绝缘层。 然后将P2极尖端电镀到其沟槽中。 此后，将感应线圈电镀（170）到感应线圈沟槽中。 接下来进行化学机械抛光（CMP）步骤以去除多余的感应线圈材料（168）和RIE蚀刻掩模。 此后，在感应线圈上沉积图案化的绝缘层，然后在其上制造P2极轭（192）。

    薄膜磁気ヘッド及び磁気ヘッドアセンブリ、複合薄膜磁気ヘッド
    6.
    发明申请
    薄膜磁気ヘッド及び磁気ヘッドアセンブリ、複合薄膜磁気ヘッド 审中-公开
    薄膜磁头，磁头组件和复合薄膜磁头

    公开(公告)号：WO2002063614A1

    公开(公告)日：2002-08-15

    申请号：PCT/JP2001/000785

    申请日：2001-02-05

    Applicant: 富士通株式会社 ,  西田周治 ,  田河育也

    Inventor： 西田周治 ,  田河育也

    IPC: G11B5/31

    CPC classification number: G11B5/313 ,  G11B5/3133 ,  G11B33/14

    Abstract: A thin magnetic head wherein a lower pole layer (47) has a core width which decreases toward the front end facing the opposite surface (25) of a medium. The magnetic flux efficiently concentrates on the front end of the lower pole layer (47). The recording magnetic field increases. A radiating layer (49) is formed around the lower pole layer (47). The heat from a spiral coil pattern (53) is efficiently transmitted to the radiating layer (49). The radiating layer (49) can contribute to dissipation of heat from the spiral coil pattern (53) in addition to the lower pole layer (47). Even if the lower pole layer (47) is narrowed, an excessive rise in the temperature of the spiral coil pattern (53) can be avoided to the fullest extent.

    Abstract translation: 一种薄磁头，其中下极层（47）的芯宽度朝着朝向介质的相对表面（25）的前端减小。 磁通有效地集中在下极层（47）的前端。 记录磁场增加。 辐射层（49）围绕下极层（47）形成。 来自螺旋线圈图案（53）的热量有效地传递到辐射层（49）。 除了下极层（47）之外，辐射层（49）还可以有助于从螺旋线圈图案（53）散热。 即使下极层（47）变窄，也能够最大限度地避免螺旋线圈图案（53）的温度过度上升。

    METHOD OF FORMING AN ASSEMBLY OF STACKED LAYERS
    7.
    发明申请
    METHOD OF FORMING AN ASSEMBLY OF STACKED LAYERS 审中-公开
    形成堆叠层的组装方法

    公开(公告)号：WO00033358A1

    公开(公告)日：2000-06-08

    申请号：PCT/EP1999/009092

    申请日：1999-11-19

    IPC: G11B5/127 ,  G11B5/31 ,  G11B5/39 ,  G11B11/105 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/66

    CPC classification number: G11B5/3919 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3166 ,  G11B11/10534 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046

    Abstract: Method of forming an assembly of layers, making use of a first layer (105) having a recess (107) and a second layer (117) which is deposited on the first layer, whereby the recess is filled. After forming the second layer, a polishing treatment is carried out so as to create a flat and smooth surface (119). An intermediate layer (109) is formed prior to forming the second layer, which intermediate layer is formed by deposition of a material which is more resistant than the material of the second layer in order to have a restraining influence on the polishing treatment. Said treatment may be stopped after reaching the intermediate layer.

    Abstract translation: 使用具有凹部（107）的第一层（105）和沉积在第一层上的第二层（117）来形成层组件的方法，由此填充凹槽。 在形成第二层之后，进行抛光处理，以形成平坦光滑的表面（119）。 在形成第二层之前形成中间层（109），该中间层通过沉积比第二层的材料更耐性的材料形成，以便对抛光处理具有约束作用。 所述处理可以在到达中间层之后停止。

    METHOD OF MANUFACTURING A LAYERED MAGNETIC HEAD AND A MAGNETIC HEAD
    10.
    发明申请
    METHOD OF MANUFACTURING A LAYERED MAGNETIC HEAD AND A MAGNETIC HEAD 审中-公开
    制造层状磁头和磁头的方法

    公开(公告)号：WO1998027545A1

    公开(公告)日：1998-06-25

    申请号：PCT/IB1997001164

    申请日：1997-09-26

    Applicant: PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  PHILIPS NORDEN AB

    Inventor： PHILIPS ELECTRONICS N.V. ,  PHILIPS NORDEN AB ,  DRAAISMA, Eeltje, Aize ,  PRONK, Franciscus, Antonius

    IPC: G11B05/31

    CPC classification number: G11B5/3925 ,  G11B5/00817 ,  G11B5/10 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3967 ,  G11B5/5504 ,  Y10S428/90 ,  Y10T428/1171

    Abstract: Method of manufacturing a thin-film magnetic head comprising an inductive transducing system. A non-magnetic, insulating material for forming a first insulation layer (13), on which an inductive transducing element (15) is formed, is deposited on a plane basic surface (11). Subsequently, a non-magnetic, insulating material for forming a second insulation layer (19) is deposited on the first insulation layer and the inductive transducing element formed thereon. Subsequently, material is removed in an area proximate to a head face (30) to be formed for forming an aperture extending through the first and the second insulation layer and reaching as far as the basic surface, whereafter a non-magnetic, insulating material for forming a gap layer (29) is deposited in the aperture. Subsequently, a soft-magnetic material for forming a first soft-magnetic layer is deposited on the gap layer, whereafter the soft-magnetic layer (31), as well as adjoining, uncovered layer parts of deposited non-magnetic, insulating material are planarized to form a plane surface. Subsequently, a soft-magnetic material is deposited on this surface for forming a second soft-magnetic layer (35) which, jointly with the first soft-magnetic layer, constitutes a magnetic flux guide (36).

    Abstract translation: 包括感应转换系统的薄膜磁头的制造方法。 用于形成第一绝缘层（13）的非磁性绝缘材料沉积在平面基面（11）上，第一绝缘层（13）形成有感应传感元件（15）。 随后，用于形成第二绝缘层（19）的非磁性绝缘材料沉积在形成在其上的第一绝缘层和感应传感元件上。 随后，在靠近头部面（30）的区域中去除材料，以形成用于形成延伸穿过第一和第二绝缘层的孔，并且达到基本表面的距离，之后用非磁性绝缘材料 形成间隙层（29）沉积在孔中。 随后，在间隙层上沉积用于形成第一软磁层的软磁性材料，然后将软磁层（31）以及邻接的未覆盖的非绝缘材料层部分平坦化 以形成平面。 随后，在该表面上沉积软磁性材料，形成与第一软磁层一起构成磁通引导件（36）的第二软磁层（35）。

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