マグネトロンスパッタリング用磁場発生装置
    2.
    发明申请
    マグネトロンスパッタリング用磁場発生装置 审中-公开
    磁控溅射磁场发生装置

    公开(公告)号:WO2014125889A1

    公开(公告)日:2014-08-21

    申请号:PCT/JP2014/051380

    申请日:2014-01-23

    发明人: 栗山 義彦

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要:  直線部及びコーナー部からなるレーストラック形状を有し、非磁性体のベース上に、(a)直線状の中央磁極部材と、(b)前記中央磁極部材を取り囲むように設置された外周磁極部材と、(c)前記中央磁極部材と前記外周磁極部材との間に配置された、ターゲット面に対して垂直な方向に磁化された複数の垂直永久磁石と、(d)その両側に配置されたターゲット面に対して平行な方向に磁化された複数の第1及び第2の水平永久磁石とを有し、前記第1及び第2の水平永久磁石の、前記垂直永久磁石に対向する側の極が、前記垂直永久磁石のターゲット表面に対向する側の極と同じであるマグネトロンスパッタリング用磁場発生装置。

    摘要翻译: 一种具有由线性部分和角部分获得的跑道形状的磁控溅射磁场产生装置,该装置包括在非磁性基座上:(a)线性中心磁极部件; (b)围绕中心磁极部件而设置的周向磁极部件; (c)设置在所述中心磁极部件和所述周向磁极部件之间并沿垂直于所述目标表面的方向被磁化的多个垂直永磁体; 和(d)设置在其两侧的多个第一和第二水平永磁体,并在与靶表面平行的方向上被磁化。 与垂直永磁体相对的侧面上的第一和第二水平永久磁铁的磁极与垂直永久磁铁在面对目标表面的一侧的磁极相同。

    APPARATUS AND METHODS FOR SUPPORTING AN ARTICLE
    3.
    发明申请
    APPARATUS AND METHODS FOR SUPPORTING AN ARTICLE 审中-公开
    用于支持文章的装置和方法

    公开(公告)号:WO2013029049A2

    公开(公告)日:2013-02-28

    申请号:PCT/US2012/052557

    申请日:2012-08-27

    IPC分类号: G06F1/16

    摘要: A mount for supportably engaging an article. The mount includes a bulbous member that may include a convexly shaped surface area. The convexly shaped surface area may be supportively contactable with a first interconnect portion of a carrier member. An attachment member that is operatively associable with a device may be removably engageable with a second interconnect portion of the carrier member. The carrier member may be moved throughout a continuum of positions defined by the convexly curved surface area of the bulbous member. Additionally, the bulbous member may be supportably engaged by a variety of embodiments of support structures for supporting or mounting the mount.

    摘要翻译:

    用于支撑物品的支架。 支架包括可以包括凸形表面区域的球形构件。 凸形表面区域可以与载体构件的第一互连部分可支撑地接触。 可操作地与设备相关联的附接构件可以与载体构件的第二互连部分可移除地接合。 载体构件可以在由球状构件的凸出弯曲表面区域限定的整个连续位置移动。 另外,球形构件可以通过用于支撑或安装支架的支撑结构的各种实施例可支撑地接合。

    MAGNETICALLY BIASED AC INDUCTOR WITH COMMUTATOR
    4.
    发明申请
    MAGNETICALLY BIASED AC INDUCTOR WITH COMMUTATOR 审中-公开
    带有通讯器的磁性自动交流电感器

    公开(公告)号:WO2012119890A1

    公开(公告)日:2012-09-13

    申请号:PCT/EP2012/053365

    申请日:2012-02-28

    摘要: An AC inductor (1) includes a core (5), at least one permanent magnet for magnetically biasing the core (5), an inductor winding (8) on the core (5), and a circuitry which guides an alternating current which flows through the AC inductor (1) in such a way through the inductor winding (8) that, during each half-wave of the alternating current, the alternating current generates a magnetisation of the core (5) which is opposite to the magnetisation by the permanent magnet (6). This circuitry includes a commutator (13) which guides the alternating current flowing between two contacts (2, 3) of the AC inductor (1) through the same part of the inductor winding (8) with a same flow direction during each of the half-wave of the alternating current.

    摘要翻译: 交流电感器(1)包括芯(5),至少一个用于磁性偏置芯(5)的永磁体,芯(5)上的电感线圈(8),以及引导流动的交流电的电路 通过交流电感器(1)以这样的方式通过电感器绕组(8),在交流电的每个半波期间,交流电产生磁芯(5)的磁化,其与磁化相反 永久磁铁(6)。 该电路包括换向器(13),该换向器(13)在每个半部分期间以相同的流动方向引导在AC电感器(1)的两个触点(2,3)之间流动的交流电流通过电感线圈(8)的相同部分 - 交流电波。

    磁石体及び磁石体を用いたドラッグデリバリー制御装置
    5.
    发明申请
    磁石体及び磁石体を用いたドラッグデリバリー制御装置 审中-公开
    使用磁铁体的磁铁体和药物输送控制装置

    公开(公告)号:WO2011077750A1

    公开(公告)日:2011-06-30

    申请号:PCT/JP2010/007516

    申请日:2010-12-24

    IPC分类号: A61M37/00 A61K33/26 H01F7/02

    摘要:  磁気を利用したドラッグデリバリーシステムに、好適に適用可能な磁石体を提供することができる。さらに、磁石体をドラッグデリバリーに好適に適用できるようにしたドラッグデリバリー制御装置を提供する。磁石体は、磁石と、前記磁石の端部に取り付けられた被覆体とを備え、前記被覆体は、高透磁率材料からなり、その長さと半径との比が、10:1~7:3である。ドラッグデリバリー制御装置は、磁石と、当該磁石の端部に取り付けられた被覆体とを有する磁石体と、前記磁石体を支持するヘッドと、前記ヘッドを、患部が組織表面に対して成す投影領域に沿って動作させる、当該ヘッドの駆動機構とを備え、磁性薬剤が投与された前記患部に、前記磁石体から磁界を適用する。

    摘要翻译: 本发明提供一种适用于利用磁性的药物输送系统的磁体。 还提供了一种药物输送控制装置,其被配置为使得磁体能够适用于药物递送。 一个磁体设置有一个磁体和一个安装在磁体末端的盖体。 盖体由具有高磁导率的材料组成,盖主体的长度和直径之间的比例在10:1至7:3的范围内。 药物输送控制装置设置有:磁体,其具有附接到磁体的端部的磁体和盖体; 用于支撑磁体的头部; 以及头部驱动机构,用于沿着由受影响部分形成在组织表面上的突出区域来操作头部。 磁体对已经输送磁性药物的受影响部位施加磁场。

    MAGNET AND ACTUATOR
    6.
    发明申请
    MAGNET AND ACTUATOR 审中-公开
    磁铁和执行器

    公开(公告)号:WO2015114221A1

    公开(公告)日:2015-08-06

    申请号:PCT/FI2015/050064

    申请日:2015-01-30

    申请人: IXTUR OY

    发明人: NÄTTI, Reijo

    IPC分类号: H01F7/02 H01F7/04 H01F7/16

    摘要: The present invention provides a magnet (100), which comprises a body (101) having a first and a second section (103, 104), and a slide (108) arranged to be movable relative to the body (101) between a first and a second position. The slide (108) comprises a permanent magnet (109), and a first and a second pole piece (110, 111) that are attached to opposite magnetic pole surfaces of the permanent magnet (109). The first section (103) comprises a hole (106) that opens into a first cavity (107) of the body (101), the bottom of the first cavity (107) being delimited at least partly by the second section (104). The slide (108) is movably arranged in the hole (106) so that the second pole piece (111) is directed towards the bottom of the first cavity (107), wherein at the first position of the slide (108), magnetic flux generated by the permanent magnet (109) is short-circuited by the first section (103), and at the second position of the slide (108), magnetic flux generated by the permanent magnet (109) is directed through the first and the second section (103, 104).

    摘要翻译: 本发明提供一种磁体(100),其包括具有第一和第二部分(103,104)的主体(101)和布置成可相对于主体(101)在第一和第二部分 和第二个位置。 滑动件(108)包括永磁体(109),以及连接到永磁体(109)的相对磁极表面的第一和第二极靴(110,111)。 第一部分(103)包括通向主体(101)的第一腔(107)的孔(106),第一腔(107)的底部至少部分地由第二部分(104)界定。 滑动件(108)可移动地布置在孔(106)中,使得第二极靴(111)指向第一腔(107)的底部,其中在滑块(108)的第一位置处,磁通量 由永磁体(109)产生的第一部分(103)由第一部分(103)短路,并且在滑块(108)的第二位置处,由永磁体(109)产生的磁通量通过第一和第二部分 (103,104)。

    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES
    7.
    发明申请
    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES 审中-公开
    执行机构,光学装置,光刻设备和制造装置的方法

    公开(公告)号:WO2014060169A1

    公开(公告)日:2014-04-24

    申请号:PCT/EP2013/069299

    申请日:2013-09-17

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: An EUV optical apparatus includes a number of adjustable mirrors (22x) on mirror bodies (120). Each mirror body is supported on an actuator (l00x) comprising a moving part (132, 134, 136) and a fixed casing part (128, 130). The actuator provides a resilient support (140, 142) for the mirror body so that it is tiltable with two degrees relative to the casing. An electromagnetic motor (166, 170-178) applies first part, under the influence of an applied motive force, the resilient mounting being arranged to provide a biasing force that resists said motive force. A magnetic coupling (102, 104a, 104b) is arranged between the moving and fixed parts so as to provide a counter-biasing force. The counter-biasing force partly opposes said biasing force and thereby reduces the motive force required to effect a given displacement. The actuator can thus be made with reduced size, weight and heat dissipation.

    摘要翻译: EUV光学装置包括在镜体(120)上的多个可调镜(22x)。 每个镜体支撑在包括移动部件(132,134,136)和固定壳体部件(128,130)的致动器(100x)上。 致动器提供用于镜体的弹性支撑件(140,142),使得其相对于壳体可倾斜两度。 电磁马达(166,170-178)在施加的动力的作用下施加第一部分,所述弹性安装件设置成提供抵抗所述动力的偏置力。 磁性联轴器(102,104a,104b)设置在运动部件和固定部件之间,以提供反作用力。 反作用力部分地与所述偏压力相反,从而减小了实现给定位移所需的动力。 致动器因此可以减小尺寸,重量和散热。

    磁铁装置和位置感测系统
    8.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2013155871A1

    公开(公告)日:2013-10-24

    申请号:PCT/CN2013/000432

    申请日:2013-04-15

    IPC分类号: G01B7/30

    摘要: 一种位置感测系统(100)包括磁铁装置(102)、感测装置(104)、处理线路(106)和转轴(108)。感测装置(104)通过连接(109)与处理线路(106)电连接,磁铁装置(102)被安装到转轴(108)并且适于绕转轴(108)的轴心(112)与转轴(108)一起转动,感测装置(104)位于磁铁装置(102)的上方并与磁铁装置(102)分隔开一距离D(183),当磁铁装置(102)绕转轴(108)的轴(112)转动时,磁铁装置(102)可对感测装置(104)所在的位置(即探测位置)产生磁通密度变化,转而产生磁场变化。为了集中/聚集磁场强度变化/磁场变化的密度,该磁铁装置(102)包括磁通密度集中器(308A1,308A2,308C1,308C2,309B,309C)。

    APPARATUS AND METHODS FOR SUPPORTING AN ARTICLE
    9.
    发明申请
    APPARATUS AND METHODS FOR SUPPORTING AN ARTICLE 审中-公开
    装置和方法支持文章

    公开(公告)号:WO2013029049A3

    公开(公告)日:2013-06-20

    申请号:PCT/US2012052557

    申请日:2012-08-27

    IPC分类号: G06F1/16

    摘要: A mount for supportably engaging an article. The mount includes a bulbous member that may include a convexly shaped surface area. The convexly shaped surface area may be supportively contactable with a first interconnect portion of a carrier member. An attachment member that is operatively associable with a device may be removably engageable with a second interconnect portion of the carrier member. The carrier member may be moved throughout a continuum of positions defined by the convexly curved surface area of the bulbous member. Additionally, the bulbous member may be supportably engaged by a variety of embodiments of support structures for supporting or mounting the mount.

    摘要翻译: 用于支撑物品的支架。 该安装件包括可包括凸形表面区域的球形构件。 凸形表面区域可以与承载构件的第一互连部分支撑地接触。 可与装置可操作地相关联的附接构件可以可拆卸地与承载构件的第二互连部分接合。 载体构件可以在由球形构件的凸形弯曲表面区域限定的连续区域中移动。 此外,球茎构件可以通过用于支撑或安装座的支撑结构的各种实施例来支撑地接合。

    FLUX FOCUSING ARRANGEMENT FOR PERMANENT MAGNETS, METHODS OF FABRICATING SUCH ARRANGEMENTS, AND MACHINES INCLUDING SUCH ARRANGEMENTS
    10.
    发明申请
    FLUX FOCUSING ARRANGEMENT FOR PERMANENT MAGNETS, METHODS OF FABRICATING SUCH ARRANGEMENTS, AND MACHINES INCLUDING SUCH ARRANGEMENTS 审中-公开
    用于永久磁铁的泛光聚焦装置,制造这种装置的方法以及包括这种安排的机器

    公开(公告)号:WO2012141932A2

    公开(公告)日:2012-10-18

    申请号:PCT/US2012/031867

    申请日:2012-04-02

    IPC分类号: H02K21/12 H02K15/00

    摘要: Numerous arrangements for permanent magnets are disclosed that can focus the flux produced by the magnets. Depending on the particular application in which the disclosed designs and techniques are used, efficiency and reliability may be increased by minimizing flux leakage, increasing peak flux density, and shaping the flux fields to improve the effective coercivity of the flux focusing permanent magnet arrangement when loaded, and to achieve customized voltage and current waveforms. The disclosed magnet assemblies may be incorporated into a machine, such as a motor / generator, having windings and may be disposed for movement relative to the windings. The magnet assembly may be mounted on a support formed of one or more ferromagnetic materials, such as a back iron The disclosed flux focusing magnet assemblies may be formed using a variety of manufacturing methods.

    摘要翻译: 公开了可以聚焦由磁体产生的磁通的永磁体的许多布置。 根据所公开的设计和技术的具体应用,可以通过最小化磁通泄漏,增加峰值磁通密度和成形磁通场来提高效率和可靠性,从而提高加载时磁通聚焦永磁体布置的有效矫顽力 ,并实现定制的电压和电流波形。 所公开的磁体组件可以结合到具有绕组的机器中,例如电机/发电机中,并且可以设置成相对于绕组运动。 磁体组件可以安装在由一个或多个铁磁材料(例如后铁)形成的支撑件上。所公开的焊剂聚焦磁体组件可以使用各种制造方法形成。