公开(公告)号：WO2016114232A1

公开(公告)日：2016-07-21

申请号：PCT/JP2016/050510

申请日：2016-01-08

Applicant: 株式会社アルバック

Inventor： 村山　貴英 ,  森川　泰宏 ,  作石　敏幸

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J17/04 ,  H01J37/32568 ,  H01J2237/0206 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/38 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/2468 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2001/469

Abstract: 　本発明のプラズマ処理装置は、その内部の減圧が可能で、前記内部で被処理体に対してプラズマ処理されるように構成されるチャンバと、前記チャンバ内に配され、前記被処理体を載置する平板状の第一電極と、前記第一電極に対して、第一の周波数のバイアス電圧が印加されるように構成された第一の高周波電源と、前記チャンバ外に配置され、前記チャンバの上蓋を形成する石英板を挟んで、前記第一電極と対向するように配置された螺旋状の第二電極と、前記上蓋あるいはその近傍に配置されたガス導入口から、前記チャンバ内にフッ素を含有するプロセスガスを導入するガス導入手段と、を備え、前記第二電極に対して、第二の周波数の交流電圧を印加する第二の高周波電源と、前記第二の周波数より高い第三の周波数の交流電圧を印加する第三の高周波電源とが、電気的に接続されており、２種類の交流電圧が同時に印加されるように構成されている。

Abstract translation: 根据本发明的等离子体处理装置设置有：可以减小压力并且以使被处理体在其中进行等离子体处理的方式配置的室; 平板状的第一电极，其设置在所述室中，并且所述被处理体被安装在所述平板状的第一电极上; 第一高频电源，被配置为向所述第一电极施加具有第一频率的偏置电压; 螺旋形第二电极，设置在与所述第一电极相对的所述腔室的外部，跨越形成所述腔室的上盖的石英板; 以及气体引入装置，用于从设置在上盖或其附近的气体引入口将含氟处理气体引入到室中。 用于施加具有第二频率的交流电压的第二高频电源和用于施加具有高于第二频率的第三频率的交流电压的第三高频电源电连接到第二电极，以便 同时施加两个交流电压。

公开(公告)号：WO2004044941A3

公开(公告)日：2004-08-12

申请号：PCT/US0335097

申请日：2003-11-05

Applicant: STEVENS INST TECHNOLOGY

Inventor： KUNHARDT ERICH ,  BECKER KURT

IPC: H01J20060101 ,  H01J7/24 ,  H01J17/00 ,  H01J17/04 ,  H01J37/32 ,  H01J61/28 ,  H05H1/24 ,  H05H1/46 ,  H01J17/49

CPC classification number: H01J37/32018 ,  H01J17/04 ,  H01J37/32036 ,  H01J37/32559 ,  H01J37/32623 ,  H01J2237/0206 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: A method and apparatus for stabilizing glow plasma discharges by suppressing the transition from glow-to-arc includes a perforated dielectric plate having an upper surface and a lower surface and a plurality of holes extending therethrough. The perforated dielectric plate is positioned over the cathode. Each of the holes acts as a separate active current limiting micro-channel that prevents the overall current density from increasing above the threshold for the glow-to-arc transition. This allows for a stable glow discharge to be maintained for a wide range of operating pressures (up to atmospheric pressures) and in a wide range of electric fields include DC and RF fields of varying strength.

Abstract translation: 通过抑制从辉光到电弧的转变来稳定辉光等离子体放电的方法和装置包括具有上表面和下表面的穿孔电介质板和延伸穿过其中的多个孔。 穿孔电介质板位于阴极上方。 每个孔用作单独的有源电流限制微通道，其防止总电流密度增加到辉光到电弧转变的阈值以上。 这允许在宽范围的工作压力（高达大气压力）下保持稳定的辉光放电，并且在宽范围的电场中包括具有不同强度的DC和RF场。

公开(公告)号：WO2014026001A2

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：PCT/US2013/054138

申请日：2013-08-08

Applicant: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY

Inventor： VELASQUEZ-GARCIA, Luis, Fernando

IPC: H01J17/50

CPC classification number: H01J17/04 ,  H01J11/18 ,  H01J17/20 ,  H05H2001/481

Abstract: Microplasma generators and associated arrays and methods are described herein. Certain embodiments relate to a microplasma generator in which an elongated semiconductor structure can control electronic current supplied to a microplasma cavity.

Abstract translation: 本文描述了微血浆发生器和相关联的阵列和方法。 某些实施例涉及一种微型发电机，其中细长半导体结构可以控制供应到微质腔的电流。

公开(公告)号：WO2009020800A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：PCT/US2008/071487

申请日：2008-07-29

Applicant: YAZAKI CORPORATION ,  BRAHIM, Sean, Imtiaz ,  GUMP, Robert, L. ,  COLBERN, Steven, G. ,  GRIGORIAN, Leonid

Inventor： BRAHIM, Sean, Imtiaz ,  GUMP, Robert, L. ,  COLBERN, Steven, G. ,  GRIGORIAN, Leonid

IPC: H01B1/24 ,  H01L51/00

CPC classification number: H01L51/0049 ,  B82Y10/00 ,  H01B1/04 ,  H01B1/18 ,  H01J1/02 ,  H01J9/02 ,  H01J17/04 ,  H01J29/02 ,  H01J2329/02 ,  H05B33/28 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/256 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/30

Abstract: This invention is directed to an article comprising a transparent substrate and an electrically conductive transparent coating deposited on the transparent substrate. This invention is also directed to methods for preparing the electrically conductive transparent coating and depositing the coating on the transparent substrate. This invention is further directed to devices containing such articles. The electrically conductive transparent coating comprises carbon nanotubes filled, coated, or both filled and coated by a non-carbon material.

Abstract translation: 本发明涉及一种包括透明衬底和沉积在透明衬底上的导电透明涂层的制品。 本发明还涉及制备导电透明涂层并将涂层沉积在透明基底上的方法。 本发明还涉及包含这种物品的装置。 导电透明涂层包括填充，涂覆或两者填充并由非碳材料涂覆的碳纳米管。

公开(公告)号：WO1992021171A1

公开(公告)日：1992-11-26

申请号：PCT/US1992003844

申请日：1992-05-07

Applicant: MAXWELL LABORATORIES, INC.

Inventor： MAXWELL LABORATORIES, INC. ,  DETHLEFSEN, Rolf

IPC: H01T02/02

CPC classification number: H01J17/40 ,  H01J17/04 ,  H01T2/02

Abstract: A high power pseudospark switch (40) utilizes a coaxial cylindrical electrode geometry to provide a large number of pseudospark discharge channels (60) in a compact space. The coaxial cylindrical electrode geometry includes a hollow cylindrical anode (52) inside of a large hollow cylindrical cathode (54). A plurality of radially aligned holes (57, 59) are equally spaced around the perimeter of both the hollow anode and cathode, thereby forming an annular pseudospark discharge (PSD) channel about the coaxial center axis. A plurality of such PSD channels (56, 58) are then stacked along the length of the coaxial cylindrical electrode geometry. A single trigger pulser (48) aligned with the center axis of the cylindrical electrodes provides a way for simultaneously triggering a discharge in each PSD channel. An outer switch housing, divided into two electrically-insulated portions (47, 49) surrounds the coaxial cylindrical electrodes and provides structural support for the electrodes as well as an electrical contact with the electrodes. A non-conductive seal (43) positioned between the respective housing portions maintains electrical isolation between the respective electrodes, and further allows a specified gast to be maintained within the switch housing at a prescribed pressure, thereby promoting operation of the device on the left side of the Paschen curve.

公开(公告)号：WO1990011611A1

公开(公告)日：1990-10-04

申请号：PCT/JP1989000297

申请日：1989-03-20

Applicant: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA ,  KAJIWARA, Toshiro; ,  KOBAYASHI, Goroku; ,  FUKUYAMA, Keiji; ,  SANO, Ko; ,  YANO, Yojiro; ,  WATANABE, Keiji;

Inventor： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

IPC: H01J17/04

CPC classification number: H01J61/0677 ,  H01J1/32 ,  H01J17/04 ,  H01J17/066

Abstract: A discharge display having excellent discharge characteristics and high reliability is put into practice without permitting pinholes to develop in the film for emitting secondary electrons and enabling the film for emitting secondary electrons to fully exhibit its performance. For this purpose, a metal conductor in a discharge vessel has a thickness of 1 to 5 νm, and on this metal conductor is formed a 0.5 to 2 νm-thick film for emitting secondary electrons. This film is composed of a compound obtained by adding Ba in an amount of 0.01 to 20 mol % to LaB6, or composed of a compound comprising LaB6, Ba in an amount of 0.01 to 20 mol % with respect to LaB6, and Ca in an amount of 0.01 to 5 mol % with respect to Ba.

公开(公告)号：WO2017113957A1

公开(公告)日：2017-07-06

申请号：PCT/CN2016/103193

申请日：2016-10-25

Applicant: 深圳市槟城电子有限公司

Inventor： 付猛 ,  何济 ,  王飞龙

IPC: H01J17/04 ,  H01J17/00

CPC classification number: H01J17/00 ,  H01J17/04

Abstract: 提供一种气体放电管及其所用金属化电极，所述气体放电管包括至少两个电极及与所述电极密封连接形成放电内腔的绝缘管体，至少一个所述电极为绝缘材料金属化电极，该金属化电极包括用于气体放电的放电面和用于与外部电路相连的导电面，所述放电面与所述导电面电连接。气体放电管在经受雷击或浪涌过电压时，能够起到泄放雷电流或过电压的功能；而且，该气体放电管在经受一定的持续工频电流或过大工频电流，因放电发热而升温至熔化所述放电面上的金属覆盖层或金属化层时，裸露在所述放电内腔中的放电面为绝缘体或者不良导体，不放电或者放电效果减弱，从而有效遮断续流。

公开(公告)号：WO2016056604A1

公开(公告)日：2016-04-14

申请号：PCT/JP2015/078532

申请日：2015-10-07

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 川口　高明 ,  木村　寿 ,  矢次　豊 ,  小澤　佳加

IPC: C08G63/85 ,  C08G63/672 ,  C08G63/692 ,  C08G63/83 ,  H01J17/04

CPC classification number: C08G63/672 ,  C08G63/692 ,  C08G63/83 ,  C08G63/85 ,  H01J17/04

Abstract: 　本発明は、フィルム、シートなどの製膜に好適な物性のポリエステル樹脂及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明は、ジカルボン酸成分とジオール成分とからなり、アンチモン原子、リン原子及び周期律表ＩＩＡ族の金属原子を含み、かつ下記（１）～（４）を満足するポリエステル樹脂及びそのフィルムに関する。（１）固有粘度が０．６０～０．７７ｄＬ／ｇ。（２）環状三量体の含有量が３２００重量ｐｐｍ以下。（３）２９０℃にて溶融時の体積固有抵抗値が６０×１０ ７ Ω・ｃｍ以下。（４）Ｐ／Ｍの値が０．３５～０．９５。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有理想的薄膜或片材薄膜制造性能的聚酯树脂等，以及聚酯树脂的制造方法。 本发明涉及由二羧酸组分和二醇组分形成的聚酯树脂及其薄膜，包含锑原子，磷原子和周期表IIA族金属原子，并且满足（1）至（4） ）。 （1）特性粘度为0.60〜0.77dL / g。 （2）环状三聚体含量为3200重量ppm以下。 （3）在290℃熔融时的体积电阻率值为60×10 7Ω·cm以下。 （4）P / M值为0.35〜0.95。

公开(公告)号：WO2014198301A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：PCT/EP2013/062047

申请日：2013-06-11

Applicant: ALSTOM TECHNOLOGY LTD

Inventor： PARASHAR, Rama Shanker

IPC: H01J17/44 ,  H01H33/66

CPC classification number: H01J17/22 ,  H01H33/596 ,  H01J17/04 ,  H01J17/14 ,  H01J17/26 ,  H01J17/44

Abstract: There is provided a vacuum switching assembly for switching an AC or DC current. The vacuum switching assembly comprises a vacuum switch. The vacuum switch includes: first and second electrodes (20, 22) located in a vacuum tight enclosure, the vacuum tight enclosure containing a gas or gas mixture, the first and second electrodes (20, 22) defining opposed electrodes being separated by a gap, each of the first and second electrodes (20,22) being connectable to a respective electrical circuit carrying an AC or DC voltage; and a pressure controller (36) configured to control an internal pressure of the vacuum tight enclosure, wherein the pressure controller (36) is configured to selectively switch the internal pressure of the vacuum tight enclosure between: a first vacuum level that permits formation and maintenance of a glow discharge in the vacuum tight enclosure to allow a current to flow between the first and second electrodes (20, 22) via the glow discharge so as to turn on the vacuum switch; and a second vacuum level that inhibits formation and maintenance of a glow discharge in the vacuum tight enclosure to prevent a current from flowing between the first and second electrodes (20, 22) via the glow discharge so as to turn off the vacuum switch.

Abstract translation: 提供了用于切换AC或DC电流的真空开关组件。 真空开关组件包括真空开关。 真空开关包括：位于真空密封外壳中的第一和第二电极（20,22），真空密封外壳包含气体或气体混合物，限定相对电极的第一和第二电极（20,22）由间隙 ，所述第一和第二电极（20,22）中的每一个可连接到承载AC或DC电压的相应电路; 以及压力控制器（36），其被配置为控制所述真空密封外壳的内部压力，其中所述压力控制器（36）构造成选择性地切换所述真空密封外壳的内部压力：允许形成和维护的第一真空度 的真空密封外壳中的辉光放电，以允许电流通过辉光放电在第一和第二电极（20,22）之间流动，以便接通真空开关; 以及第二真空水平，其阻止在真空密封外壳中形成和维持辉光放电，以防止电流通过辉光放电在第一和第二电极（20,22）之间流动，从而关闭真空开关。

公开(公告)号：WO2006068204A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：PCT/JP2005/023546

申请日：2005-12-16

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  赤尾 安彦 ,  花田 彰太郎 ,  馬場 建郎

Inventor： 赤尾 安彦 ,  花田 彰太郎 ,  馬場 建郎

IPC: H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02

CPC classification number: C03C17/245 ,  C03C17/3417 ,  C03C23/0025 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/23 ,  C03C2218/154 ,  C03C2218/33 ,  H01B1/08 ,  H01J17/04 ,  H01J29/02 ,  H01J2217/49207 ,  H01L51/0023 ,  H01L2251/308

Abstract: 生産性が高く、かつレーザパターニングに好適な透明導電膜付き基板を提供する。　ガラス基板上に酸化インジウムを主成分とする透明導電膜を形成されてなる透明導電膜付き基板ガラスであって、該透明導電膜表面の平均ドメイン径が１５０ｎｍ以下であることを特徴とする透明導電膜付き基板、および前記透明導電膜が非晶質である前記透明導電膜付き基板。前記透明導電膜は、スパッタリング法により成膜時の基板温度が２００℃以下で形成されてなる前記透明導電膜付き基板。

Abstract translation: 公开了一种具有透明导电膜的基板，其适于激光图案化并且可以以高生产率制造。 具体公开了通过在玻璃基板上形成主要由氧化铟构成的透明导电膜而得到的具有透明导电膜的基板。 具有透明导电膜的基板的特征在于，透明导电膜表面的平均畴直径不大于150nm。 还具体公开了这种具有透明导电膜的基板，其中透明导电膜是无定形的。 透明导电膜通过溅射法形成，同时在成膜期间将基板温度保持在200℃以下。