公开(公告)号：WO2017168676A1

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：PCT/JP2016/060653

申请日：2016-03-31

Applicant: 株式会社日立国際電気

Inventor： 浅井　一秀 ,  林原　秀元 ,  山本　一良 ,  川岸　隆之 ,  屋敷　佳代子 ,  岩倉　裕幸

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  H01L21/67288

Abstract: 装置が発生する装置データを記憶部に格納する装置状態監視制御部と、異常事象と該異常事象に対応する少なくとも一つの前記装置データと該装置データが発生するステップ情報とを定義した情報とレシピ名称を有するレシピ特定情報を含む基本情報に基づいて、前記記憶部から異常解析情報に関連する前記装置データを取得する解析支援制御部と、前記異常解析情報に関連する前記装置データを前記レシピ名称で指定される最新のレシピが実行された時期から過去に遡るように表示する表示装置と、を含む構成が提供される。

Abstract translation: 设备状态监视控制单元，用于将由设备生成的设备数据存储在存储单元中，与异常事件和异常事件对应的至少一个设备数据以及步骤 分析支持控制单元，基于包括信息定义信息和具有配方名称的配方指定信息的基本信息，从存储单元获取与异常分析信息有关的设备数据;与异常分析信息相关的分析支持控制单元 还有一种显示设备，用于显示从执行食谱名称指定的最新食谱开始追溯到过去的设备数据。

公开(公告)号：WO2015182699A1

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：PCT/JP2015/065387

申请日：2015-05-28

Applicant: 株式会社 荏原製作所

Inventor： 塩川　篤志 ,  杉浦　哲郎 ,  関口　信一 ,  京谷　敬史 ,  駒井　哲夫 ,  木村　憲雄 ,  石川　敬一 ,  大須賀　透

IPC: F04B37/16 ,  C23C16/44 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67017 ,  C23C14/22 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/52 ,  F04B37/14 ,  F04B37/16 ,  F04B41/00 ,  G05D16/2013 ,  H01J37/32834 ,  H01J37/32844 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H01L21/67276 ,  Y02C20/30

Abstract: 　本発明は、半導体デバイス製造装置などに使用される１つまたは複数の処理チャンバから処理ガスを排気するために使用される真空排気システムに関するものである。真空排気システムは、複数の処理チャンバ（１）から気体を排気するための真空装置である。真空排気システムは、複数の処理チャンバ（１）にそれぞれ接続される複数の第１真空ポンプ（５）と、複数の第１真空ポンプ（５）に接続された集合管（７）と、集合管（７）に接続された第２真空ポンプ（８）とを備える。

Abstract translation: 本发明涉及一种用于从例如半导体装置制造装置中使用的一个或多个处理室排出处理气体的排气系统。 这种排气系统是用于从多个处理室（1）排出气体的真空装置，并且包含以下：分别连接到多个处理室（1）的多个第一真空泵（5） 连接到所述多个第一真空泵（5）的聚集管（7）; 和连接到所述聚集管（7）的第二真空泵（8）。

公开(公告)号：WO2015062213A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：PCT/CN2014/075450

申请日：2014-04-16

Applicant: 沈阳芯源微电子设备有限公司

Inventor： 胡延兵 ,  郑春海 ,  卢继奎

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67276

Abstract: 提供了一种在集成电路生产时与光刻机联线作业的涂胶显影机的快捷传送晶圆方法。该方法包括将涂胶、显影工艺处理的晶圆传送路径平坦化分布，减少环形传送路径，提升晶圆传送效率；去除涂胶显影机内的晶圆传送通道环节，提高晶圆传送速度，从而提升涂胶显影机的运行产能。

公开(公告)号：WO2015022812A1

公开(公告)日：2015-02-19

申请号：PCT/JP2014/066441

申请日：2014-06-20

Applicant: 村田機械株式会社

Inventor： 幸本　誉

IPC: G05D1/02 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B60L11/005 ,  B60L11/1803 ,  B60L11/1861 ,  B60L11/1864 ,  B60L15/20 ,  B60L2200/44 ,  B60L2240/12 ,  B60L2240/421 ,  B60L2240/545 ,  B60L2240/547 ,  B60L2240/549 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727 ,  Y02P90/60 ,  Y02T10/645 ,  Y02T10/7005 ,  Y02T10/7022 ,  Y02T10/7044 ,  Y02T10/7061 ,  Y02T10/72 ,  Y02T10/7275

Abstract: 　電源部にかかる負荷が高くなることを抑制しつつ、システム全体の搬送能力を高めることができる搬送車システムを提供する。搬送車システム１は、軌道１１に沿った一部区間に設けられた給電部２１と、給電部に電力を供給する電源部２３と、給電部から供給される電力を蓄電する蓄電部５５を有し、軌道を一の方向に周回しながら被搬送物Ｘを搬送する複数の搬送車４０と、搬送車を管理する管理コントローラ３と、を備える。管理コントローラは、給電部が配置された給電区間２０内に存在する搬送車の蓄電状況を取得する蓄電状況取得部３１と、給電区間への搬送車の進入台数を制限する進入管理部３３と、を有する。進入管理部は、蓄電状況取得部によって取得された蓄電状況に基づいて、蓄電量が第１蓄電量以上である搬送車を除外した台数となるように給電区間への進入台数を制限する。

Abstract translation: 提供了一种运输车辆系统，使得可以增加系统整体的运输能力，同时抑制施加到电源单元的负载的增加。 运输车辆系统（1）设置有：沿着轨道（11）设置在部分中的供电单元（21）; 向所述供电单元供给电力的电源单元（23）; 多个运送车辆（40），其包括用于存储从所述供电单元供给的电力的电力存储单元（55），并且在沿一个方向围绕轨道移动的同时运送被运送物品（X）; 以及管理运输车辆的管理控制器（3）。 管理控制器包括存储电力状态获取单元（31），其获取存在于其中设置有供电单元的供电部（20）中的运输车辆的存储电状态;以及入口管理单元（33），其中， 限制进入供电部分的运输车辆的数量。 入口管理单元基于由存储电力状态获取单元获取的存储电力状态，将进入供电部的运输车辆的数量限制为除去存储电量不是的运输车辆的数量 少于首次储存的电量。

公开(公告)号：WO2014071783A1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：PCT/CN2013/084245

申请日：2013-09-26

Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司

Inventor： 任大清

IPC: H01L21/677 ,  H04B10/11 ,  B65G43/00

CPC classification number: H01L21/67727 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67294 ,  H04B10/1149

Abstract: 公开了一种基于光通信的自动物料搬运系统，包括：运动在导轨上的多个搬送运载器（10）；多个基站（20），将所述导轨对应分成多个连续的封闭区间，每一个基站（20）在其对应封闭区间内与搬送运载器（10）进行光通信，以获取并发送其封闭区间内的搬送运载器信息；以及服务器（30），耦接多个基站（20），接收并依据搬送运载器信息发出控制指令至基站（20），基站（20）接收控制指令并将控制指令转换为光信号发送至搬送运载器（10），使得搬送运载器（10）能够根据光信号改变运动状态。该自动物料搬运系统基于光通信技术对搬送运载器进行搬运调度，不仅解决了采用射频通信产生的信号干扰问题，还能对搬送运载器进行区间管理。

公开(公告)号：WO2014060160A1

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：PCT/EP2013/069096

申请日：2013-09-16

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： AMANN, Christian ,  GRAVETT, Phillip W. ,  KADAU, Kai

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5018 ,  G01B5/00 ,  G01B5/04 ,  G01B5/30 ,  H01L21/67 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/12

Abstract: The present invention relates to probabilistic estimation of fatigue crack life of a component configured for being subjected cyclic stress. A plurality of representations of the component are defined from material property scatter data (90a-g) and flaw-size scatter data (90h-j)of the component, wherein each representation is defined by one possible material condition and flaw-size condition associated with the component. For each individual representation, a component location is selected (93) and a determination (96) is made whether said individual representation fails after a given number of cycles N, based on the calculation (95) of a crack growth in the selected location. The crack growth is calculated (95) on the basis of the material condition and the flaw-size condition in the selected location. Failure of the individual representation is determined (96) if the crack growth is determined to be unstable. The sum total of the number of the representations that failed after N cycles is determined (97). A probability of failure of the component after N cycles is then determined (99) as PoF(N) = Nf/S, wherein PoF(N) is the probability of failure of the component after N cycles, Nf is the sum total of the number of representations that are determined to have failed after N cycles, and S is the total number of representations.

Abstract translation: 本发明涉及构造成受到循环应力的部件的疲劳裂纹寿命的概率估计。 组件的多个表示由组件的材料属性散布数据（90a-g）和缺陷尺寸散布数据（90h-j）定义，其中每个表示由相关联的一个可能的材料条件和缺陷尺寸条件 与组件。 对于每个单独的表示，基于所选择的位置中的裂纹增长的计算（95），选择分量位置（93）并且确定（96）是否在给定的循环数N之后是否失败。 基于材料条件和选定位置的缺陷尺寸条件计算裂纹扩展（95）。 如果确定裂纹增长不稳定，则确定个体表示的失败（96）。 确定N个周期后失败的表示数的总和（97）。 然后，将N个周期后的分量的故障概率确定为（99）为PoF（N）= Nf / S，其中PoF（N）是N个周期之后的分量故障的概率，Nf是 在N个周期后被确定为失败的表示的数量，S是表示的总数。

公开(公告)号：WO2014046903A2

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：PCT/US2013/058879

申请日：2013-09-10

Applicant: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

Inventor： VOPAT, Robert B. ,  DANIEL, Malcolm N. ,  BONECUTTER, Luke ,  SCHALLER, Jason M. ,  CARLSON, Charles T. ,  WEAVER, William T.

IPC: B65G47/52

CPC classification number: B65G47/52 ,  B65G43/10 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727

Abstract: A system and method for the handling of workpieces in a workpiece processing system is disclosed. The system utilizes three conveyor belts, where one may be a loading belt, feeding unprocessed workpieces from its associated workpiece carrier to a processing system. A second conveyor belt may be an unloading belt, receiving processed workpieces from the processing system and filling its associated workpiece carrier. The third conveyor belt may be exchanging its workpiece carrier during this time, so that it is available to start operating as the loading belt once all of the workpieces have been removed from the workpiece carrier associated with the first conveyor belt.

Abstract translation: 公开了一种在工件处理系统中处理工件的系统和方法。 该系统使用三个输送带，其中可以是装载带，将未加工的工件从其相关联的工件载体供给到处理系统。 第二传送带可以是卸载带，从处理系统接收加工的工件并填充其相关联的工件载体。 在此期间，第三传送带可以更换其工件载体，使得一旦所有工件已经从与第一传送带相关联的工件载体移除，就可以开始作为装载带操作。

公开(公告)号：WO2013015086A1

公开(公告)日：2013-01-31

申请号：PCT/JP2012/067109

申请日：2012-07-04

Applicant: 株式会社ダイフク ,  鈴木正美

Inventor： 鈴木正美

IPC: G05B19/418 ,  B65G1/00 ,  G05D1/02 ,  H01L21/02

CPC classification number: G05B19/41895 ,  G05B2219/31013 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/285 ,  Y02P90/60

Abstract: 処理設備は、複数の処理装置（１）及び処理対象物を貯留する貯留装置（Ｑ）を経由する搬送ラインに沿って走行して処理対象物を搬送する搬送車（３）を管理する搬送管理手段（ＨＣ）を備える。搬送管理手段（ＨＣ）は、処理装置（１）から主管理手段（ＪＣ）に対して送信される処理進行情報を監視して、複数の処理装置（１）のうちで、処理対象物の処理が終了した又は終了間近である処理装置（１）を、主管理手段（ＪＣ）から搬送指令情報が送信されてくる以前に、事前搬送元として抽出し、その処理装置（１）から処理対象物を搬出するために、事前搬送元として抽出した処理装置（１）に対して搬送車（３）を走行させる事前搬送制御を実行する。

Abstract translation: 一种处理设备具有运送管理装置（HC），该运输管理装置（HC）用于管理运送要处理的物品的梭子（3），所述梭子（3）沿着与多个处理装置（1）连接的运送线和存储装置 待处理的物品。 传输管理装置（HC）监视从处理装置（1）发送到主机管理装置（JC）的进程进度信息。 传送管理装置执行控制处理，其中，通过传送管理装置（HC）从多个处理装置（1）中选择已经完成处理或即将完成处理的处理的处理装置的处理装置（1） 在从主机管理装置（JC）发送传输指令信息之前，将所述处理装置（1）选择为初步传送源; 并且使梭子（3）行进到选择为初步传送原点的处理装置（1），以从所选择的处理装置（1）输出待处理的物品。

公开(公告)号：WO2012073286A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：PCT/JP2010/006995

申请日：2010-11-30

Applicant: 上野精機株式会社 ,  増田高之

Inventor： 増田高之

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67276 ,  G01R31/2893

Abstract: 　複数の搬送手段を用いて電子部品の搬送量を増大させ、動作精度を維持しつつ、分類処理の大幅な高速化を図った電子部品分類装置を提供する。ウェハシート（２）から再配列プレート（１０）までＬＥＤチップ（１）を搬送する搬送手段として、旋回アーム（５１～５３）が３台配置されている。各旋回アーム（５１～５３）の先端には、ＬＥＤチップ（１）を吸着する吸着ノズル（４）が取り付けられている。 ３台の旋回アーム（５１～５３）によりＬＥＤチップ（１）を再配列プレート（１０）に順次搬送することで、ＬＥＤチップ（１）の搬送量を３倍に増やすことができる。

Abstract translation: 公开了一种电子部件分类装置，其使用多个传送装置来增加电子部件的传送量，并且在保持操作精度的同时大大提高了分类处理的速度。 三个旋转臂（51-53）被布置为用于将LED芯片（1）从晶片（2）传送到重排板（10）的输送装置。 在每个旋转臂（51-53）的末端安装有通过抽吸连接LED芯片（1）的吸嘴（4）。 通过利用三个旋转臂（51-53）顺序地将LED芯片（1）传送到重排板（10），LED芯片（1）的输送量可以增加三倍。

公开(公告)号：WO2012042500A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：PCT/IB2011/054301

申请日：2011-09-29

Applicant: ROTH & RAU AG ,  FRIGGE, Steffen ,  MÜLLER, Robert ,  RUNGE, Markus ,  BUCHERT, Jens

Inventor： FRIGGE, Steffen ,  MÜLLER, Robert ,  RUNGE, Markus ,  BUCHERT, Jens

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/6776

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kompensation von Substratbearbeitungsinhomogenitäten in einer Durchlauf-Substratbearbeitungs- anlage, bei welcher Substrate auf mehreren Spuren durch einen Anlageneingang in die Durchlauf-Substratbearbeitungsanlage eingeführt und entlang dieser Spur zur Substratbearbeitung durch die Durchlauf-Substratbearbeitungsanlage transportiert werden. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kompensation von Substratbearbeitungsinhomogenitäten in einer Durchlauf-Substratbear- beitungsanlage zur Verfügung zu stellen, mit welchen unabhängig vom Zeitpunkt der Substratbeladung, der Anzahl der in die Anlage eingeführten Substrate und der Beladung der einzelnen Spuren der Durchlauf-Substratbearbeitungsanlage gleiche Bearbeitungsergebnisse für alle Substrate erzielt werden können. Die Aufgabe wird durch ein Verfahren und eine Vorrichtung der oben genannten Gattung gelöst, wobei an dem Anlageneingang zeit- und ortsabhängig an jeder Spur jeweils gleichzeitig detektiert wird, ob und wie viele Substrate in die Durchlauf-Substratbearbeitungsanlage eingeführt werden, die Detektionsdaten an eine Anlagensteuerung übermittelt werden und die Anlagensteuerung aktuelle Prozessparameter der Durchlauf-Substratbearbeitungsanlage unmittelbar derart an die Detektionsdaten modellbasiert anpasst, dass für alle in der Durchlauf- Substratbearbeitungsanlage bearbeiteten Substrate gleiche Prozessbedingungen eingestellt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在连续的衬底处理系统，其中，基板的多个通过中的吞吐量的基板处理系统的系统的输入引入的道中，且沿着这条轨道的基板处理由通基板处理系统被运送补偿Substratbearbeitungsinhomogenitäten的方法和装置。 本发明的目的是提供一种方法和用于在连续Substratbear- beitungsanlageSubstratbearbeitungsinhomogenitäten的补偿设备，以提供，通过该无论基板加载的定时，在植物基板插入的数目和个体的装载 的引线的基板处理系统同样的处理结果迹线可以用于所有的基材而获得。 该目的通过一种方法和一种上述类型的装置，其中，时间至系统输入达到和是在同一时间在每种情况下在每道检测到的位置的功能，是否以及如何许多衬底被引入到流动的基板处理系统中，检测数据发送到系统控制器 是和当前处理可以通过基板处理系统的系统控制参数适应这样的基于模型的直接的是，在通过基板处理系统的基板相同的工艺条件进行调整工作对于所有的检测数据。