公开(公告)号：WO1994024318A1

公开(公告)日：1994-10-27

申请号：PCT/US1994002969

申请日：1994-03-25

Applicant: UNIVERSITY OF ALASKA ,  SACKINGER, William, M.

Inventor： UNIVERSITY OF ALASKA

IPC: C22B04/00

CPC classification number: F27B17/00 ,  B01J8/08 ,  B01J8/42 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/0894 ,  C21B13/125 ,  C22B4/005 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/488 ,  Y02P10/136 ,  Y02P10/138 ,  Y02P10/143 ,  Y02P10/262

Abstract: An electrical apparatus is provided for the conversion of compounds, elements, or mixtures which are in particulate form, into new compounds, elements or mixtures in gaseous, liquid, or particulate form. In a reaction chamber, particulates are mechanically transported into a first region of high electric field, where they acquire a charge and are projected into a second region in which a low-density plasma is maintained. Energetic plasma ions strike the surfaces of the particulates, causing chemical reactions and release of both neutral and ionic products species. Charge exchange on particulates causes the reduced-size particles to fall back into the first region, where the charging recurs and the cycle is repeated. Gaseous and particulate products are removed from the chamber. In one application, naturally-occurring ores may be reduced by a methane plasma; in another, coal may be converted in a methane plasma to intermediate range hydrocarbons.

Abstract translation: 提供了一种用于将化合物，元素或颗粒形式的混合物转化成新的化合物，气态，液体或微粒形式的元件或混合物的电气设备。 在反应室中，颗粒被机械地输送到高电场的第一区域，在那里它们获得电荷并且投射到其中保持低密度等离子体的第二区域。 能量等离子体离子撞击颗粒的表面，引起中性和离子产物物质的化学反应和释放。 微粒上的电荷交换导致尺寸减小的颗粒落回第一区域，其中电荷重复并且循环被重复。 从室中除去气态和颗粒产物。 在一个应用中，天然矿石可能被甲烷等离子体还原; 另一方面，煤可以将甲烷等离子体转化成中等程度的烃。

公开(公告)号：WO2012002478A1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：PCT/JP2011/065007

申请日：2011-06-30

Applicant: 国立大学法人名古屋大学 ,  NUエコ・エンジニアリング株式会社 ,  富士機械製造株式会社 ,  堀 勝 ,  加納 浩之 ,  川角 哲徳 ,  吉田 直史 ,  川尻 明宏 ,  渡邊 智弘 ,  五十褄 丈二

Inventor： 堀　勝 ,  加納　浩之 ,  川角　哲徳 ,  吉田　直史 ,  川尻　明宏 ,  渡邊　智弘 ,  五十褄　丈二

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H05H1/24 ,  H01J37/32559 ,  H01J37/32733 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/485 ,  H05H2001/488 ,  H05H2245/123

Abstract: 放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。電極２２～２５を電極カバー２２Ｐ～２５Ｐで覆い、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ～２５ＨＬ，ＨＲ（２２ＨＬ、２５ＨＲは閉塞されている）を設ける。また、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ～２５ＨＬ，ＨＲの上流側で、９０°位相がずれた位置に保護ガス流入口２２Ｑ～２５Ｑを設ける。保護ガス流入口２２Ｑ～２５Ｑから流入させられた保護ガスは、放電電極部２２Ｓ～２５Ｓの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部２２Ｓ～２５Ｓに保護ガスが供給されるため、放電電極部２２Ｓ～２５Ｓが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部２２Ｓ～２５Ｓの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。

Abstract translation: 公开了一种反应物种供给装置和表面处理装置，其保护放电电极部分不会处理气体，并且防止氧化并延长其寿命。 电极（22〜25）由电极盖（22P〜25P）和排出口（22HL〜25HL，22HR〜25HR，22HL，25HR被封闭）覆盖。 此外，在排出口（22HL至25HL和22HR至25HR）的上游侧的90°相位移位置处设置保护气体流入口（22Q至25Q）。 使从保护气体流入口（22Q〜25Q）流入的保护气体流过放电电极部（22S〜25S）的周边，流入放电空间。 向放电电极部（22S〜25S）供给保护气体可以使放电电极部（22S〜25S）与处理气体接触困难。 由此能够抑制放电电极部（22S〜25S）的氧化，延长寿命。

公开(公告)号：WO03063914A9

公开(公告)日：2004-05-13

申请号：PCT/US0235299

申请日：2002-11-04

Applicant: PLASMASOL CORP ,  STEVENS INST TECHNOLOGY ,  CROWE RICHARD ,  KORFIATIS GEORGE P ,  BABKO-MALYL SERGEI

Inventor： CROWE RICHARD ,  KORFIATIS GEORGE P ,  BABKO-MALYL SERGEI

IPC: A61L2/00 ,  A61L2/14 ,  A61L9/16 ,  A61L9/22 ,  B03C3/017 ,  F24F3/16 ,  H01T19/00 ,  H05H1/24

CPC classification number: A61L2/14 ,  A61L9/22 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2456 ,  H05H2001/488

Abstract: A sterilization and decontamination system in which a non-thermal plasma discharge device is disposed upstream of a suspension media (e.g., a filter, electrostatic precipitator, carbon bed). The plasma discharge device generates a plasma that is emitted through apertures (e.g., capillaries or slits) in the primary dielectric. Plasma generated active sterilizing species when exposed to contaminants or undesirable particulate matter is able to deactivate or reduce such matter in contaminated fluid stream and/or on objects. Thus, the undesirable contaminants in the fluid to be treated are first reduced during their exposure to the plasma generated active sterilizing species in the plasma region of the discharge device. Furthermore, the plasma generated active sterilizing species are carried downstream to suspension media and upon contact therewith deactivate the contaminants collected on the suspension media itself. Advantageously, the suspension media may be cleansed in situ. To increase the sterilization efficicency an additive, free or carrier gas (e.g., alcohol, water, dry air) may be injected into the apertures defined in the primary dielectric. These additives increase the concentration of plasma generated active sterilizing agents while reducing the byproduct of generated undesirable ozone pollutants. Downstream of the filter the fluid stream may be further treated by being exposed to a catalyst media or additional suspension media to further reduce the amount of undesirable particulate matter.

Abstract translation: 一种灭菌和去污系统，其中非热等离子体放电装置设置在悬浮介质（例如，过滤器，静电除尘器，碳床）的上游。 等离子体放电装置产生通过初级电介质中的孔（例如毛细管或狭缝）发射的等离子体。 当暴露于污染物或不期望的颗粒物质时，等离子体产生的活性灭菌物质能够使被污染的流体物流和/或物体上的物质失活或减少。 因此，待处理流体中的不期望的污染物在暴露于放电装置的等离子体区域中的等离子体产生的活性灭菌物质时首先被还原。 此外，等离子体产生的活性灭菌物质被运送到悬浮介质的下游，并且在与其接触时，使收集在悬浮介质本身上的污染物失活。 有利地，悬浮介质可以在原位清洁。 为了提高灭菌效率，可将添加剂，游离或载气（例如酒精，水，干燥空气）注入限定在初级电介质中的孔中。 这些添加剂增加等离子体生成的活性灭菌剂的浓度，同时减少产生的不期望的臭氧污染物的副产物。 在过滤器的下游，可以通过暴露于催化剂介质或另外的悬浮介质来进一步处理流体流，以进一步减少不期望的颗粒物质的量。

公开(公告)号：WO2017116740A1

公开(公告)日：2017-07-06

申请号：PCT/US2016/066882

申请日：2016-12-15

Applicant: MATTSON TECHNOLOGY, INC.

Inventor： LIEBERER, Markus ,  SEIFERT, Christian ,  BREMENSDORFER, Rolf

IPC: H05B31/06 ,  H05B31/24

CPC classification number: H01J61/0732 ,  H01J61/526 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6719 ,  H05B3/0047 ,  H05B3/03 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/488

Abstract: Electrode tips for arc lamps for use in, for instance, a millisecond anneal system are provided. In one example implementation, an electrode for an arc lamp can have an electrode tip. The surface of the electrode tip can have one or more grooves to reduce the transportation of molten material across the surface of the electrode tip. The electrode can include an interface between the electrode tip and a heat sink. The interface can have a shape designed to have a desired lateral temperature distribution across the surface of the electrode tip.

Abstract translation: 提供用于例如毫秒退火系统中的弧光灯的电极尖端。 在一个示例实施方式中，用于弧光灯的电极可以具有电极尖端。 电极头的表面可具有一个或多个凹槽以减少熔融材料在电极头的表面上的传送。 电极可以包括电极尖端和散热器之间的界面。 界面可以具有被设计为在电极尖端的表面上具有期望的横向温度分布的形状。

公开(公告)号：WO2012002479A1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：PCT/JP2011/065008

申请日：2011-06-30

Applicant: 国立大学法人名古屋大学 ,  NUエコ・エンジニアリング株式会社 ,  富士機械製造株式会社 ,  堀 勝 ,  加納 浩之 ,  森 一明 ,  中根 伸幸 ,  渡邊 智弘 ,  五十褄 丈二

Inventor： 堀　勝 ,  加納　浩之 ,  森　一明 ,  中根　伸幸 ,  渡邊　智弘 ,  五十褄　丈二

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B23H1/00 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/485 ,  H05H2001/488 ,  H05H2245/123

Abstract: 電極とワークとの間で放電が起き難くする。放電空間４２Ｂとプラズマ出力口１６との間に設けられたプラズマ流出通路の構成要素である個別通路８１Ｂに関して、Ｘ部分８１ＢＸ、Ｚ部分８１ＢＺのＸ部分８１ＢＸＸの接続部Ｍより放電空間側の部分８１ＢＺO、Ｘ部分８１ＢＸＸ、拡散器８２Ｂ、スリット８６等により主通路が構成され、Ｚ方向部分８１ＢＺの接続部Ｍより放電空間とは反対側の部分８１ＢＺＰにより分岐通路が構成される。アース板９０は、分岐通路８１ＢＺＰを塞ぐ状態で設けられる。分岐通路８１ＢＺＰと主通路の部分８１ＢＺＯとは同一直線上に位置するため、アース板９０との間で放電が起き、ワークＷとの間では起き難くすることができる。

Abstract translation: 公开了一种反应物质供给装置和用于处理表面等的装置，由此降低了电极和工件之间的放电的可能性。 关于设置在放电空间（42B）和等离子体出口（16）之间的等离子体出口通道的构成元件的单独通道（81B），主通道由X部分（81BX）形成， ，与Z部（81BZ）的X部（81BXX），X部（81BXX），扩散器（82B）等的连接部分（M）相比更靠近放电空间的部分（81BZo） 和狭缝（86）等，并且分支通道由比Z方向部分（81BZ）的连接部分（M）更靠近放电空间的相对侧的部分（81BZP）形成。 以阻挡分支通路（81BZP）的状态设置接地板（90）。 由于分支通道（81BZP）和主通道的部分（81BZo）位于相同的直线上，因此相对于接地板（90）发生排放，但是相对于工件不容易发生 W）。

公开(公告)号：WO2006134123A2

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：PCT/EP2006/063190

申请日：2006-06-14

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT ,  HAMMER, Thomas ,  HARTMANN, Werner ,  RÖMHELD, Michael

Inventor： HAMMER, Thomas ,  HARTMANN, Werner ,  RÖMHELD, Michael

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/48 ,  H05H2001/485 ,  H05H2001/488

Abstract: Zur Erzeugung großflächiger Atmosphärendruck-Plasmen wird eine DC-Koronaentladung erzeugt und der DC-Koronaentladung werden intensive, kurz andauernde Hochspannungsimpulse mit Impulswiederholraten zwischen einigen 10 Hz bis zu mehreren kHz überlagert. Bei der zugehörigen Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist eine Einheit (1 bis 5) zur Erzeugung einer Basis-Gleichspannung und einer der Gleichspannung überlagerten Impulsspannung vorhanden sowie weiterhin eine mechanische Anordnung aus wenigstens zwei Elektroden (10, 20, 30).

Abstract translation: 为了制造大型大气压等离子体的德克·科罗纳放电产生和DC电晕放电被叠加以数kHz几个10Hz之间以脉冲重复率密集，短的高电压脉冲。 在用于执行所述方法的相关装置是用于产生一个基本直流电压和直流电压叠加的脉冲电压存在，并且进一步在至少两个电极（10，20，30）的机械结构的单元（1〜5）。

公开(公告)号：WO2005094139A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：PCT/JP2005/002478

申请日：2005-02-17

Applicant: 株式会社栗田製作所 ,  大研化学工業株式会社 ,  滝川 浩史 ,  西村 芳実 ,  原田 昭雄

Inventor： 滝川 浩史 ,  西村 芳実 ,  原田 昭雄

IPC: H05H1/30

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/32541 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/488

Abstract: 　対向する電極間に放電に安定して確実に生起させ、プラズマを容易に連続的に発生することができるプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置を提供する。 　電極４ａ、４ｂ間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極４において、電極４の少なくとも一方の電極４ａに電極間方向に向いた先鋭な突起４ｇを形成し、この突起４ｇと他方の電極４ｂ間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成した。この先鋭な突起４ｇは任意の形状に形成できる。送流器７から任意の流体を送流すれば、所望の気体プラズマや液体プラズマを生成できる。このプラズマを用いて被処理物を処理すれば、成膜装置、加工装置、粉体処理装置などのプラズマ装置を構成できる。

Abstract translation: 公开了一种等离子体产生用电极，其能够稳定且可靠地在相对电极之间进行放电，从而容易地连续地产生等离子体。 还公开了等离子体发生器和等离子体处理装置。 具体公开了一种用于在电极（4a，4b）之间产生等离子体的电极单元（4），其中电极单元（4）的至少一个电极（4a）设置有尖锐的突起（4g） 电极，使得在该突起（4g）和另一个电极（4b）之间产生放电，从而产生等离子体。 锋利的突起（4g）可以形成为任意形状。 通过使用供应装置（7）供应期望的流体，可以产生期望的蒸汽等离子体或液体等离子体。 可以通过利用由此产生的用于处理物体的等离子体来构造诸如成膜装置，处理装置或粉末处理装置之类的等离子体装置。

公开(公告)号：WO2006134123A3

公开(公告)日：2007-06-14

申请号：PCT/EP2006063190

申请日：2006-06-14

Applicant: SIEMENS AG ,  HAMMER THOMAS ,  HARTMANN WERNER ,  ROEMHELD MICHAEL

Inventor： HAMMER THOMAS ,  HARTMANN WERNER ,  ROEMHELD MICHAEL

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/48 ,  H05H2001/485 ,  H05H2001/488

Abstract: The invention relates to a method for producing large atmospheric pressure plasmas, wherein a DC-corona discharge is produced. Said DC-corona discharge is superimposed with intensive, short high-voltage impulses having an impulse repetition rate of between 10 Hz to more kHz. The invention also relates to an associated device for carrying out said method, which comprises a unit (1 - 5) which is used to produce a base direct current voltage and an impulse voltage which superimposes the direct current voltage, in addition to a mechanical arrangement which comprises at least two electrodes (10, 20, 30).

Abstract translation: 为了制造大型大气压等离子体的德克·科罗纳放电产生和DC电晕放电被叠加以数kHz几个10Hz之间以脉冲重复率密集，短的高电压脉冲。 在用于执行所述方法的相关装置是用于产生一个基本直流电压和直流电压叠加的脉冲电压存在，并且进一步在至少两个电极（10，20，30）的机械结构的单元（1〜5）。

公开(公告)号：WO03063914A2

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：PCT/US0235299

申请日：2002-11-04

Applicant: PLASMASOL CORP ,  STEVENS INST TECHNOLOGY ,  CROWE RICHARD ,  KORFIATIS GEORGE P ,  BABKO-MALYL SERGEI

Inventor： CROWE RICHARD ,  KORFIATIS GEORGE P ,  BABKO-MALYL SERGEI

IPC: A61L2/00 ,  A61L2/14 ,  A61L9/16 ,  A61L9/22 ,  B03C3/017 ,  F24F3/16 ,  H01T19/00 ,  H05H1/24

CPC classification number: A61L2/14 ,  A61L9/22 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2456 ,  H05H2001/488

Abstract: A sterilization and decontamination system in which a non-thermal plasma discharge device is disposed upstream of a suspension media (e.g., a filter, electrostatic precipitator, carbon bed). The plasma discharge device generates a plasma that is emitted through apertures (e.g., capillaries or slits) in the primary dielectric. Plasma generated active sterilizing species when exposed to contaminants or undesirable particulate matter is able to deactivate or reduce such matter in contaminated fluid stream and/or on objects. Thus, the undesirable contaminants in the fluid to be treated are first reduced during their exposure to the plasma generated active sterilizing species in the plasma region of the discharge device. Furthermore, the plasma generated active sterilizing species are carried downstream to suspension media and upon contact therewith deactivate the contaminants collected on the suspension media itself. Advantageously, the suspension media may be cleansed in situ. To increase the sterilization efficicency an additive, free or carrier gas (e.g., alcohol, water, dry air) may be injected into the apertures defined in the primary dielectric. These additives increase the concentration of plasma generated active sterilizing agents while reducing the byproduct of generated undesirable ozone pollutants. Downstream of the filter the fluid stream may be further treated by being exposed to a catalyst media or additional suspension media to further reduce the amount of undesirable particulate matter.

Abstract translation: 一种灭菌和去污系统，其中非热等离子体放电装置设置在悬浮介质（例如，过滤器，静电除尘器，碳床）的上游。 等离子体放电装置产生通过初级电介质中的孔（例如毛细管或狭缝）发射的等离子体。 当暴露于污染物或不期望的颗粒物质时，等离子体产生的活性灭菌物质能够使被污染的流体物流和/或物体上的物质失活或减少。 因此，待处理流体中的不期望的污染物在暴露于放电装置的等离子体区域中的等离子体产生的活性灭菌物质时首先被还原。 此外，等离子体产生的活性灭菌物质被运送到悬浮介质的下游，并且在与其接触时，使收集在悬浮介质本身上的污染物失活。 有利地，悬浮介质可以在原位清洁。 为了提高灭菌效率，可将添加剂，游离或载气（例如酒精，水，干燥空气）注入限定在初级电介质中的孔中。 这些添加剂增加等离子体生成的活性灭菌剂的浓度，同时减少产生的不期望的臭氧污染物的副产物。 在过滤器的下游，可以通过暴露于催化剂介质或另外的悬浮介质来进一步处理流体流，以进一步减少不期望的颗粒物质的量。

公开(公告)号：WO2003041112A2

公开(公告)日：2003-05-15

申请号：PCT/US2002/035300

申请日：2002-11-04

Applicant: PLASMASOL CORPORATION ,  BABKO-MALYI, Sergei

Inventor： BABKO-MALYI, Sergei

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32532 ,  B01D53/32 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/0813 ,  B01J2219/0835 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0896 ,  F01N3/028 ,  F01N3/0892 ,  F01N2240/28 ,  H01J37/32541 ,  H05H1/2406 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2443 ,  H05H2001/488

Abstract: A non-thermal atmospheric pressure plasma reactor including a primary dielectric having at least one slit defined therein and a segmented electrode including a plurality of electrode segments. Each electrode segment disposed proximate and in fluid communication with an associated slit. The slit in the dielectric may be formed in any number of ways such as a plurality of slits defined in a substantially planar dielectric plate. Other configurations include a plurality of dielectric segments (e.g., bars, slabs, rings, annular sections) assembled together so that a slit is formed between adjacent dielectric segments. In operation a voltage differential is applied between the segmented electrode and a receiving electrode disposed proximate the primary dielectric to produce a plasma discharge. The plasma discharge is emitted through the slits in the primary dielectric. This inventive plasma discharge device configuration produces a relatively high density non-thermal plasma discharge of relatively large volume yet is relatively easy and inexpensive to manufacture.

Abstract translation: 非热大气压等离子体反应器包括具有至少一个狭缝的主电介质和包括多个电极段的分段电极。 每个电极段设置在相关狭缝附近并与其流体连通。 电介质中的狭缝可以以任何数量的方式形成，例如限定在基本上平面的电介质板中的多个狭缝。 其他配置包括组装在一起的多个电介质段（例如，条，平板，环，环形段），使得在相邻电介质段之间形成狭缝。 在操作中，在分段电极和设置在主电介质附近的接收电极之间施加电压差以产生等离子体放电。 等离子体放电通过主电介质中的狭缝发射。 本发明的等离子体放电装置配置产生相当大体积的相对高密度的非热等离子体放电，但制造相对容易且成本低。