窒化ホウ素焼結体の製造方法及び窒化ホウ素焼結体

    公开(公告)号:WO2023038151A1

    公开(公告)日:2023-03-16

    申请号:PCT/JP2022/034234

    申请日:2022-09-13

    IPC分类号: C04B35/583 C04B38/00

    摘要: 本発明の窒化ホウ素焼結体の製造方法は、窒化ホウ素焼結体の原料のシート状成形体2を作製する工程及びセッター3の上に配置したシート状成形体2を焼成する工程を含み、シート状成形体2を焼成する工程は、シート状成形体2及びセッター3の間に第1のメッシュ状窒化ホウ素シート1を配置する。本発明の窒化ホウ素焼結体は、反り量が0.60mm以下であり、熱伝導率が30W/mK以上であり、本発明の窒化ホウ素焼結体の製造方法により製造されたものである。本発明によれば、窒化ホウ素焼結体の原料のシート状成形体を用いて、熱伝導率が高く、反りが小さいシート状の窒化ホウ素焼結体を製造することができる窒化ホウ素焼結体の製造方法及びその製造方法により得られた窒化ホウ素焼結体を提供することができる。

    YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS

    公开(公告)号:WO2023283536A1

    公开(公告)日:2023-01-12

    申请号:PCT/US2022/073375

    申请日:2022-07-01

    摘要: Disclosed is a ceramic sintered body comprising yttrium oxide and zirconium oxide wherein the ceramic sintered body comprises not less than 75 mol % to not greater than 95 mol % yttrium oxide and not less than 5 mol % to not greater than 25 mol % zirconium oxide, wherein the ceramic sintered body comprises porosity in an amount of less than 2% by volume, wherein a density of the ceramic sintered body does not vary by more than 2% relative to theoretical density across a greatest dimension. The ceramic sintered body has a grain size of from 0.4 to less than 2 um as measured according to ASTM E1 12-2010. The ceramic sintered body may be machined into plasma resistant components for use in plasma processing chambers. Methods of making are also disclosed.

    CERAMIC MATRIX COMPOSITES AND THEIR PREFORMS

    公开(公告)号:WO2022266445A1

    公开(公告)日:2022-12-22

    申请号:PCT/US2022/033998

    申请日:2022-06-17

    摘要: A preform comprising a first sub-laminate comprising a plurality of layers and a second sub-laminate comprising a plurality of layers. The first sub-laminate comprises a first unit cell comprising a first volume fraction of tows, where the first volume fraction of tows comprise first tows having a first tow spacing between successive first tows. The second sub-laminate comprises a second unit cell comprising a second volume fraction of tows, where the second volume fraction of tows comprise second tows having a second tow spacing between successive second tows. The first volume fraction of tows in the first unit cell is equal to the second volume fraction of tows in the second unit cell. The second tow spacing is less than the first tow spacing.

    耐火部材およびその製造方法
    6.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022264884A1

    公开(公告)日:2022-12-22

    申请号:PCT/JP2022/022966

    申请日:2022-06-07

    摘要: [課題]耐食性に優れるとともに黒鉛質基材表面に設けた炭化物被膜の密着性に優れる耐火部材を提供する。 [手段]黒鉛質基材と、前記黒鉛質基材表面の少なくとも一部を被覆するように設けられた炭化物層と、を備えた耐火部材であって、前記黒鉛質基材は、黒鉛質相と気孔とを有し、前記炭化物層は、複合領域を有し、前記複合領域は、前記炭化物層の厚さ方向に沿った断面視において、前記黒鉛質基材と前記炭化物層との界面に沿った水平方向に、少なくとも50μm以上の連続する黒鉛質相と、少なくとも50μm以上の連続する炭化物相とが、交互に存在する交互領域を含む。

    ハニカム構造成形体の製造方法
    7.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022230693A1

    公开(公告)日:2022-11-03

    申请号:PCT/JP2022/017927

    申请日:2022-04-15

    摘要: 混合工程(S1)と成形工程(S2)とを有するハニカム構造成形体の製造方法である。混合工程(S1)では、多孔質シリカを含むコージェライト化原料と水とを混合し、坏土を作製する。成形工程(S2)では、坏土をハニカム構造に成形し、乾燥することにより、ハニカム構造成形体を作製する。混合工程(S1)においては、多孔質シリカが吸着可能な最大水分率Wa1[wt%]及び上記多孔質シリカに実際に吸着されている水分率Wa2[wt%]に基づいて、コージェライト化原料100wt%に対する水の添加率W[wt%]を調整する。

    炭化珪素質セラミックハニカム構造体及びその製造方法

    公开(公告)号:WO2022202903A1

    公开(公告)日:2022-09-29

    申请号:PCT/JP2022/013530

    申请日:2022-03-23

    摘要: 炭化珪素質多孔質体の隔壁により仕切られた軸方向に貫通する多数の流路を有する炭化珪素質セラミックハニカム構造体であって、前記隔壁が、骨材となる炭化珪素粒子と、前記炭化珪素粒子を結合する結合層とを有し、前記結合層が、少なくともコーディエライト相とスピネル相とを含み、前記コーディエライト相のモル比M1[=コーディエライト相/(コーディエライト相+スピネル相)]が0.4~0.9であることを特徴とする炭化珪素質セラミックハニカム構造体。