公开(公告)号：WO2022180698A1

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：PCT/JP2021/006904

申请日：2021-02-24

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 藤井　光一 ,  若林　理

IPC: H01S3/137 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/139

Abstract: レーザ装置は、グレーティングシステムと、グレーティングシステムに入射する光ビームの第１の部分のグレーティングシステムへの第１の入射角と、光ビームの第２の部分のグレーティングシステムへの第２の入射角と、を調整するアクチュエータシステムと、アクチュエータシステムを制御することにより、位相及び変動範囲の少なくとも１つが異なるように第１及び第２の入射角を周期的に変動させるプロセッサと、を備える。

公开(公告)号：WO2022165582A1

公开(公告)日：2022-08-11

申请号：PCT/CA2021/050716

申请日：2021-05-27

Applicant: QUANTUM VALLEY IDEAS LABORATORIES

Inventor： ERSKINE, Jennifer Ann Joe ,  RAMIREZ-SERRANO, Jaime ,  KEAVENEY, James ,  LIU, Chang ,  AMARLOO, Hadi ,  GILLETT, Geoffrey Gordon ,  SHAFFER, James P.

IPC: H01S3/137 ,  G01B9/02 ,  H01S5/0687

Abstract: In a general aspect, a device is disclosed for providing a reference frequency of light. The device includes a housing having a first opening and a second opening. A first optical window covers the first opening and is coupled to the housing by a first ceramic bond that forms a hermetic seal around the first opening. A second optical window covers the second opening and is coupled to the housing by a second ceramic bond that forms a hermetic seal around the second opening. The device also includes an etalon disposed within an evacuated volume enclosed by at least the housing, the first optical window, and the second optical window. The device additionally includes one or more supports suspending the etalon in the evacuated volume. The one or more supports are formed of a material having a thermal conductivity no greater than 5 W/m·K at room temperature.

公开(公告)号：WO2022054180A1

公开(公告)日：2022-03-17

申请号：PCT/JP2020/034175

申请日：2020-09-09

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 齋藤　雄介 ,  八代　将徳 ,  古里　博志 ,  渡邊　陽介 ,  寺尾　季倫

IPC: H01S3/137

Abstract: 狭帯域化ガスレーザ装置は、波長分散素子を含む狭帯域化装置と、出力結合ミラーと、狭帯域化装置と出力結合ミラーとで構成される光共振器の光路に配置されたレーザチャンバと、出力結合ミラーを支持する第１のホルダと、第１のホルダを第１のホルダの回転軸周りに回転可能に支持する第２のホルダと、第２のホルダに支持され、第１のホルダに接触して第１のホルダを回転軸の周りに回転させる調整装置と、を備える。狭帯域化装置は、狭帯域化装置の内部の温度が上昇したときに出力結合ミラーに向けて出射する光のビームポインティングを第１の方向に変化させる特性を有する。第２のホルダ及び調整装置は、第２のホルダ及び調整装置の温度が上昇したときに熱膨張することにより、出力結合ミラーから出力されるレーザ光のビームポインティングの第１の方向への変化を抑制する方向に第１のホルダを回転させるように構成される。

公开(公告)号：WO2021191593A2

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：PCT/GB2021/050701

申请日：2021-03-22

Applicant: FRAUNHOFER UK RESEARCH LTD

Inventor： LAGATSKY, Alexander ,  MCKNIGHT, Loyd ,  STOTHARD, David

IPC: H01S3/08 ,  H01S3/16 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/139 ,  H01S3/04 ,  H01S3/06 ,  H01S3/094 ,  H01S3/107 ,  H01S3/131 ,  H01S3/137 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/0621 ,  H01S3/0623 ,  H01S3/0627 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08031 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/094096 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/1317 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/162 ,  H01S3/1623 ,  H01S3/1625 ,  H01S3/1628 ,  H01S3/1633 ,  H01S3/1636 ,  H01S3/1648 ,  H01S3/1658

Abstract: A single-frequency laser apparatus comprises a mirror and a volume Bragg grating (VBG) reflector defining a laser cavity therebetween and an optical gain material for emitting and amplifying an intra-cavity beam in the laser cavity. The optical gain material comprises a transition-metal doped crystal such as a crystal doped with transition-metal ions selected from one or more of Ti3+ ions, Cr2+ ions, Cr3+ ions or Cr4+ ions. A reflectivity spectrum of the VBG reflector and an optical length of the laser cavity are selected so that a beam output from the laser cavity is a single-frequency output beam and/or includes only one longitudinal mode of the laser cavity. The laser apparatus may provide a robust, compact, low cost, high-power wavelength adjustable (from approximately 650 to 950 nm), narrow linewidth (

公开(公告)号：WO2021124790A1

公开(公告)日：2021-06-24

申请号：PCT/JP2020/043273

申请日：2020-11-19

Applicant: 国立大学法人東京工業大学

Inventor： 上妻　幹旺

IPC: G01C19/72 ,  G02F1/37 ,  G02F1/39 ,  H01S3/00 ,  H01S3/137

Abstract: レーザ光を広帯域化できると共にスケールファクタの安定度を向上させることが可能な光ファイバジャイロスコープ用光源装置を提供する。　光ファイバジャイロスコープを駆動するための光ファイバジャイロスコープ用光源装置は、レーザ光源１０と、安定化部２０と、広帯域化部３０とからなる。レーザ光源１０は、所定の所定の周波数のレーザ光を発する。安定化部２０は、レーザ光源１０から発せられるレーザ光の所定の周波数を安定化する。広帯域化部３０は、安定化部２０により安定化されるレーザ光を連続的な広帯域スペクトルで構成される光にする。

公开(公告)号：WO2021091675A1

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：PCT/US2020/056117

申请日：2020-10-16

Applicant: CYMER, LLC

Inventor： ZHAO, Yingbo

IPC: H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/225 ,  H01S3/23 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  H01S3/036 ,  H01S3/104 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

Abstract: A system includes: an optical source including a plurality of optical oscillators; a spectral analysis apparatus; and a controller. Each optical oscillator is configured to produce a light beam. The controller is configured to: determine, based on data from the spectral analysis apparatus, whether the spectral property of the light beam of one of the optical oscillators is different than the spectral property of the light beam of at least another of the plurality of optical oscillators. If the spectral property of the light beam of the first one of the optical oscillators is different than the spectral property of the light beam of another of the optical oscillators, the controller is configured to adjust the spectral property of the light beam of the first one of the optical oscillators or of the light beam of at least one other of the optical oscillators.

公开(公告)号：WO2018208887A1

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：PCT/US2018/031758

申请日：2018-05-09

Applicant: NOVANTA CORPORATION

Inventor： LIMANOVIC, Jacob ,  BETHEL, Jason ,  WHEELER, Ross ,  KOLSCH, Patrick

IPC: H01S3/082 ,  H01S3/137 ,  H01S3/081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/223

Abstract: An external optical feedback element (108) for tuning an output beam of a gas laser (102) having multiple wavelengths includes a partially reflective optical element (108) positioned on a beam path of the output beam (106) outside of an internal optical cavity of the gas laser (102), and a stage (114) to support the optical element and adjust rotation, horizontal tilt angle, and vertical tilt angle of the optical element with respect to the beam path. The output beam (106) is partially reflected at the optical element (108) and fed back into the internal optical cavity of the gas laser (102), with the intensity varying for multiple wavelengths and adjusted by changing rotation, horizontal tilt angle and vertical tilt angle of the optical element. Thereby, a variable feedback of the output beam into the internal optical cavity of the gas laser is provided, which leads to a selective output wavelength of the gas laser, either at a single line or at multiple lines simultaneously. This setup may allow to control the wavelength of a commercial CO2 gas laser without a modification of the laser itself by adding a coupled cavity with a wavelength selective element like a grating to the given gas laser resonator.

公开(公告)号：WO2018058896A1

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：PCT/CN2017/075823

申请日：2017-03-07

Applicant: 深圳市中图仪器股份有限公司

Inventor： 刘龙为 ,  张和君

IPC: G01B9/02 ,  H01S3/137

CPC classification number: G01B9/02015 ,  H01S3/137

Abstract: 一种激光干涉仪用的稳频装置，包括电路控制系统（9）、激光器（2）、导向光路、稳频光路和激光输出光路，其中，导向光路将激光器（2）射出的光导向到稳频光路，稳频光路包括第一分光镜（5）、第二分光镜（7）和光电池（8）。通过稳频分光的设计，使得激光器（2）中用于稳频的光所占比例非常少，使得稳频部分的能量损失极小，极大的增加了用于工作的激光强度，并且第一分光镜（5）的角度和尺寸的设计可以大大减少杂散光对稳频精度的影响；稳频分光调节更为方便，结构简单易行，并且结构紧凑，易于机械封装；采用对称的光学和电子设计，可以确保稳频数据的精度和可靠性。

公开(公告)号：WO2017072879A1

公开(公告)日：2017-05-04

申请号：PCT/JP2015/080386

申请日：2015-10-28

Applicant: ギガフォトン株式会社

Inventor： 宮本　浩孝 ,  若林　理

IPC: H01S3/137 ,  H01S3/225

CPC classification number: H01S3/137 ,  H01S3/036 ,  H01S3/134 ,  H01S3/225

Abstract: 【課題】狭帯域化エキシマレーザ装置において、狭帯域化モジュール内の不純物ガスを除去する。 【解決手段】狭帯域化エキシマレーザ装置は、レーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する狭帯域化モジュールと、窒素ガス供給装置と、窒素ガス供給装置から供給された窒素ガスを狭帯域化モジュールの筐体内に流入させる窒素ガス導入部と、窒素ガス導入部から筐体内への窒素ガスの流入を制御する第１のバルブと、筐体内のガスを筐体外に流出させる排気部と、筐体内のガスを筐体外に排出させる排気ポンプと、排気部からのガスの排出を制御する第２のバルブと、筐体内のガスを大気中に放出させる大気放出部と、大気中へのガス放出を制御する第３のバルブと、第２のバルブを閉じる一方第１、第３のバルブを開いて、窒素ガスを所定時間筐体内に供給させ、次いで第３のバルブを閉じる一方第１、第２のバルブを開くと共に、排気ポンプを駆動させて筐体内を排気させ、その後レーザ発振させる制御部とを備えてもよい。

Abstract translation:

要解决的问题：去除窄带准分子激光器中的窄带模块中的杂质气体。 窄带准分子激光装置，缩小模块和，缩小模块供给的氮气和氮气进料器，从氮气供给装置来缩小激光束的光谱线宽度 控制氮气从氮气导入部流入壳体内的第一阀，使壳体内的气体流出壳体内的排气部，以及将氮气导入壳体内的第二阀， 第二阀，用于控制从排气部分排出气体;大气释放部分，用于将壳体中的气体释放到大气中;以及气体排出部分，用于将气体排出到大气中 用于控制的第一个以关闭所述第二阀的第三阀，打开第三阀，所述氮气在预定时间内壳体，那么第一个到关闭第三阀，所述第二供给 和排气 泵通过抽空外壳可以包括随后的控制单元，用于将激光振荡驱动。

公开(公告)号：WO2016134853A1

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：PCT/EP2016/000335

申请日：2016-02-26

Applicant: MENLO SYSTEMS GMBH

Inventor： FISCHER, Marc ,  HOLZWARTH, Ronald ,  MANDEL, Olaf

IPC: H01S3/13 ,  H01S3/139 ,  H01S3/094 ,  H01S3/11 ,  H01S3/131 ,  H01S3/137 ,  H01S3/16

CPC classification number: H01S3/1307 ,  H01S3/094038 ,  H01S3/1106 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/1394 ,  H01S3/1625 ,  H01S3/1636

Abstract: Die Erfindung betrifft Verfahren zum Betreiben einer Lasereinrichtung (1), mit dem ein optischer Frequenzkamm stabilisiert werden kann, die Frequenzen dessen Moden durch die Formel f m = m x f rep + f 0 beschreibbar sind, wobei f rep ein Modenabstand, f0 eine Offsetfrequenz und m eine natürliche Zahl ist. Es wird zumindest ein Signal (S1, S2, S3, S4) bestimmt, welches mit einem Ist-Wert eines Freiheitsgrades (F) korreliert, wobei der Freiheitsgrad (F) eine Linearkombination aus der Offsetfrequenz f 0 und dem Modenabstand f rep des Frequenzkamms ist. Basierend auf dem Signal wird mit einer ersten Kontrolleinheit (10) der Ist-Wert des Freiheitsgrades (F) in einen vorbestimmten Einfangbereich (F) einer zweiten Kontrolleinheit (40) eingestellt. Sobald der Einfangbereich (ΔF Einfang ) der zweiten Kontrolleinheit (40) erreicht ist, wird die zweite Kontrolleinheit (40) aktiviert und der Ist-Wert mit Hilfe der zweiten Kontrolleinheit (40) auf einen Sollwert (F Soll ) geregelt.

Abstract translation: 本发明涉及一种操作激光装置（1），利用该光学频率梳可以稳定，其模式= MX为f rep + f0的频率可以由下式FM其中f代表是一个模式间隔，F0，偏移频率来描述的方法，和m是自然数 是。 有至少一个信号（S1，S2，S3，S4）确定哪一个具有一定程度的自由度（F）的实际值相关，自由度（F）是偏移频率f0和频率梳的模间距˚F代表的线性组合。 基于该信号由自由度（F）的实际值的第一控制单元（10）调整为预定的捕获范围（F）的第二控制单元（40）。 一旦捕获范围（ΔFEinfang）达到第二控制单元（40），所述第二控制单元（40）被激活，并与所述第二控制单元（40）的一组值（FSET）的帮助下的实际值被限制。