发明公开
- 专利标题: 射频功率传递系统
- 专利标题(英): Radio frequency power delivery system
-
申请号: CN200680040216.4申请日: 2006-10-31
-
公开(公告)号: CN101297480A公开(公告)日: 2008-10-29
- 发明人: S·P·纳加拉卡迪 , M·基西内夫斯基 , A·沙基 , T·E·卡尔外迪斯 , W·S·米奇尼 , D·古德曼 , W·M·霍尔比 , J·A·史密斯
- 申请人: MKS仪器股份有限公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: MKS仪器股份有限公司
- 当前专利权人: MKS仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 钱慰民
- 优先权: 60/731,797 2005.10.31 US
- 国际申请: PCT/US2006/042360 2006.10.31
- 国际公布: WO2007/053569 EN 2007.05.10
- 进入国家日期: 2008-04-28
- 主分类号: H03H7/40
- IPC分类号: H03H7/40
摘要:
提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括:电源(210),用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率;功率放大器(220),用于将DC功率转换成RF功率;传感器(240),用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角;电可控阻抗匹配系统(250,252),用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗;以及控制器(230),用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括:传感器校准测量模块,用于确定由功率放大器所传递的功率;电子匹配系统校准模块(252),用于确定传递给动态负载(260)的功率;以及功率耗散模块,用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。
公开/授权文献
- CN101297480B 用于向动态负载传递功率的系统和方法 公开/授权日:2012-08-08