公开(公告)号：CN101297480B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·小米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯 ,  I·拜斯卓柯

IPC分类号： H03H7/40

CPC分类号： H03H7/40

摘要： 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。

公开(公告)号：CN101297480A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

申请人： MKS仪器股份有限公司

发明人： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯

IPC分类号： H03H7/40

CPC分类号： H03H7/40

摘要： 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。