公开(公告)号：CN101297480A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。

公开(公告)号：CN102365705B

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN200980158583.8

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·本泽洛克 ,  S·P·纳加拉卡迪 ,  A·考韦 ,  A·沙基 ,  J·E·安布罗西纳 ,  K·特兰 ,  陈星

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/321

Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。

公开(公告)号：CN102365705A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200980158583.8

申请日：2009-04-13

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·本泽洛克 ,  S·P·纳加拉卡迪 ,  A·考韦 ,  A·沙基 ,  J·E·安布罗西纳 ,  K·特兰 ,  陈星

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/321

Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。

公开(公告)号：CN101297480B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200680040216.4

申请日：2006-10-31

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  M·基西内夫斯基 ,  A·沙基 ,  T·E·卡尔外迪斯 ,  W·S·小米奇尼 ,  D·古德曼 ,  W·M·霍尔比 ,  J·A·史密斯 ,  I·拜斯卓柯

IPC: H03H7/40

CPC classification number: H03H7/40

Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。

公开(公告)号：CN101933225A

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200880126068.7

申请日：2008-12-22

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  Y·巴思凯 ,  田丰 ,  I·贝斯特亚克

IPC: H03F3/191 ,  H01J37/32 ,  H03H7/40

CPC classification number: H03F3/20 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32183 ,  H03F1/565 ,  H03F3/195 ,  H03F2200/321 ,  H03F2200/387 ,  H03F2200/391 ,  H03F2200/393 ,  H03F2200/451 ,  H03H7/40 ,  Y10T307/305

Abstract: 提供一种向动态负载(260)输送功率的系统和方法。该系统包括：提供具有基本恒定的功率开环响应的DC功率的电源(210)；用于将DC功率变换成RF功率的功率放大器(220)；用于测量与RF功率相关联的电压、电流和电压与电流向量之间的相角的传感器(240)；用于将功率放大器(220)的阻抗修改为至少基本匹配的动态负载(260)阻抗的电控阻抗匹配系统(250)；以及用于控制电控阻抗匹配系统的控制器(252)。该系统还包括：用于确定由功率放大器输送的功率的传感器校准测量模块；用于确定输送给动态负载的功率的电子匹配系统校准模块；以及用于计算电控阻抗匹配系统中消耗的功率的功耗模块。