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公开(公告)号：CN101297480B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200680040216.4
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H03H7/40
CPC classification number: H03H7/40
Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。
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公开(公告)号：CN101529551B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200680056240.7
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H05H1/46
Abstract: 一种用于控制电源的方法和装置，用于防止由于在从1MHz和1MHz以上的频率下工作的RF等离子体处理系统中的动态负载引起的不稳定性。该装置包括：功率源(32)；从该源(32)接收功率的功率变换器(72)，该功率变换器(72)提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从功率变换器接收恒定功率的RF发生器(75)。
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公开(公告)号：CN101529551A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200680056240.7
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32935 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H05H1/46
Abstract: 一种用于控制电源的方法和装置，用于防止由于在从1MHz和1MHz以上的频率下工作的RF等离子体处理系统中的动态负载引起的不稳定性。该装置包括：功率源(32)；从该源(32)接收功率的功率变换器(72)，该功率变换器(72)提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从功率变换器接收恒定功率的RF发生器(75)。
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公开(公告)号：CN101297480A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680040216.4
申请日：2006-10-31
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H03H7/40
CPC classification number: H03H7/40
Abstract: 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。
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