发明公开
- 专利标题: 一种在线实时检测外延片生长的方法
- 专利标题(英): Epitaxial wafer growth online real-time detection method
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申请号: CN201310646667.4申请日: 2013-12-04
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公开(公告)号: CN104697972A公开(公告)日: 2015-06-10
- 发明人: 严冬 , 李成敏 , 叶龙茂 , 王林梓 , 刘健鹏 , 刘涛
- 申请人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区知春路27号量子芯座402室
- 专利权人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人: 昂坤视觉(北京)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区知春路27号量子芯座402室
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘杰
- 主分类号: G01N21/65
- IPC分类号: G01N21/65 ; H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的方法,属于半导体材料制造设备技术领域。该方法根据各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据,实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息,并实时反馈各外延片的波长偏差,从而在线实时检测各外延片的生长信息。该方法参数易协调一致且实时检测数据量明显降低,应用本发明提供的在线实时检测外延片生长的方法能够减小外延片质量差及报废带来的损失。
公开/授权文献
- CN104697972B 一种在线实时检测外延片生长的方法 公开/授权日:2017-08-29