公开(公告)号：CN104697643A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310651793.9

申请日：2013-12-05

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 严冬 ,  李成敏 ,  叶龙茂 ,  王林梓 ,  刘健鹏

IPC分类号： G01J5/06

摘要： 本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的方法，属于半导体检测技术领域。该方法通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子，可以准确测量得到外延片的温度T。该方法能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。

公开(公告)号：CN103985653A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201310271765.4

申请日：2013-02-07

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李成敏 ,  刘健鹏 ,  严冬 ,  叶龙茂 ,  谌雅琴 ,  王林梓 ,  焦宏达

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01L1/00

CPC分类号： H01L22/10 ,  G01B11/255 ,  G01L1/24

摘要： 本发明公开了一种晶片应力测量方法，属于半导体器件技术领域。该方法包括步骤1：测量沿X方向的各入射光束被晶片反射后的沿X方向的光斑偏移量，旋转样品托盘，使晶片旋转，测量各入射光束在晶片上沿Y方向扫描时，各入射点沿Y方向的光斑偏移量；步骤2：通过沿X方向的各入射光束的光斑偏移量，计算出晶片沿X方向的曲率半径，通过沿Y方向的各入射点的光斑偏移量，计算出晶片沿Y方向的曲率半径；步骤3：根据式（1）计算出应力；应用该测量装置及测量方法能够同时测量晶片X方向及Y方向应力的晶片应力。

公开(公告)号：CN103985652B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201310049375.2

申请日：2013-02-07

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李成敏 ,  刘健鹏 ,  严冬 ,  叶龙茂 ,  谌雅琴 ,  王林梓 ,  焦宏达

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01L1/00

摘要： 本发明公开了一种晶片应力测量装置，属于半导体器件技术领域。包括探测光发生装置、分束镜、腔室、样品托盘和位置探测装置，样品托盘置于腔室底部，晶片置于样品托盘上，腔室顶部设有狭缝窗口，探测光发生装置发出的探测光经过分束镜后垂直射向晶片，依次经过分束镜和狭缝窗口后垂直射向晶片，被晶片反射，依次经过狭缝窗口和分束镜后射向位置探测装置，样品托盘能够带动晶片旋转，使探测光在晶片上扫描。本发明还公开了基于该测量装置的测量方法。应用该测量装置及测量方法能够同时测量晶片X方向及Y方向应力的晶片应力。

公开(公告)号：CN103576697A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201210269617.4

申请日：2012-07-31

申请人： 中国科学院微电子研究所 ,  北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 吴文镜 ,  李国光 ,  叶龙茂 ,  赵江艳

IPC分类号： G05D3/12

摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。

公开(公告)号：CN104697974A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310651513.4

申请日：2013-12-04

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李成敏 ,  严冬 ,  叶龙茂 ,  王林梓 ,  刘健鹏 ,  刘涛

IPC分类号： G01N21/65 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的装置，属于半导体材料制造设备技术领域。该装置MOCVD反应室、光学组件、拉曼散射光谱产生系统、拉曼散射光谱接收系统、数据分析系统、光电开关、触发信号电路和操作电路。该装置结构简单、参数易协调一致且实时检测数据量明显降低。

公开(公告)号：CN104697972A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310646667.4

申请日：2013-12-04

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 严冬 ,  李成敏 ,  叶龙茂 ,  王林梓 ,  刘健鹏 ,  刘涛

IPC分类号： G01N21/65 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法根据各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据，实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息，并实时反馈各外延片的波长偏差，从而在线实时检测各外延片的生长信息。该方法参数易协调一致且实时检测数据量明显降低，应用本发明提供的在线实时检测外延片生长的方法能够减小外延片质量差及报废带来的损失。

公开(公告)号：CN103576697B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201210269617.4

申请日：2012-07-31

申请人： 中国科学院微电子研究所 ,  北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 吴文镜 ,  李国光 ,  叶龙茂 ,  赵江艳

IPC分类号： G05D3/12

摘要： 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器，属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。

公开(公告)号：CN104701200A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310651770.8

申请日：2013-12-05

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李成敏 ,  严冬 ,  王林梓 ,  刘健鹏 ,  叶龙茂

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01K11/00

CPC分类号： H01L22/12 ,  G01K11/00

摘要： 本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的装置，属于半导体检测技术领域。该装置包括黑体辐射值运算模块和温度运算模块，该装置通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子，可以准确测量得到外延片的温度T。该装置能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。

公开(公告)号：CN104697973A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310648303.X

申请日：2013-12-04

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 严冬 ,  李成敏 ,  叶龙茂 ,  王林梓 ,  刘健鹏 ,  刘涛

IPC分类号： G01N21/65

摘要： 本发明公开了一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法在石墨盘旋转的情况下，通过控制采集数据的时间间隔及每个数据采集周期对应的起始外延片，可以使采集的数据遍历布设在石墨盘外周上的所有外延片，即得到布设在石墨盘外周上的所有外延片拉曼散射光谱数据，从而，本发明提供的外延片拉曼散射光谱数据生成方法能够连续、自动生成布设在石墨盘外周上的外延片拉曼散射光谱数据。

公开(公告)号：CN104697645A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201310651743.0

申请日：2013-12-05

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 严冬 ,  李成敏 ,  王林梓 ,  刘健鹏 ,  叶龙茂

IPC分类号： G01J5/52

CPC分类号： G01J5/58 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/0896 ,  G01J2005/0048 ,  G01J2005/0059

摘要： 本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的装置及方法，属于半导体检测技术领域。该装置包括MOCVD反应腔、光源、分束器、参考光探测器、反射光探测器和数据采集单元。该方法以该装置为基础，能够得到针对外延片的反应腔窗口镀膜引起的热辐射衰减因子和反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子。该装置及方法能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。