发明授权
- 专利标题： 具有可拆卸式气体分配板的喷淋头
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申请号： CN201710811999.1申请日： 2014-01-16
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公开(公告)号： CN107578976B公开(公告)日： 2020-09-08
- 发明人: D·卢博米尔斯基 , V·克尼亚齐克 , H·诺巴卡施 , J·德拉 , 罗萨 , Z·J·叶 , J·Y·孙 , S·班达
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 李炜; 侯颖媖
- 优先权： 61/756,545 2013.01.25 US
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H01L21/02 ; H01L21/67 ; B05B1/00 ; B05B1/18 ; C23C16/455
摘要：
本申请公开了具有可拆卸式气体分配板的喷淋头的实施例。在一些实施例中，一种使用于基板处理腔室的喷淋头，可包括：主体，所述主体具有第一侧与相对的第二侧；气体分配板，所述气体分配板设置成邻近于所述主体的所述第二侧；以及夹具，所述夹具围绕所述气体分配板的周围边缘设置以将所述气体分配板以可移除方式耦接至所述主体，其中所述主体通过所述夹具电耦接至所述气体分配板。
公开/授权文献
- CN107578976A 具有可拆卸式气体分配板的喷淋头 公开/授权日：2018-01-12
