- 专利标题: 半导体装置以及包括该半导体装置的显示装置
-
申请号: CN201780018390.7申请日: 2017-03-14
-
公开(公告)号: CN108780757A公开(公告)日: 2018-11-09
- 发明人: 山崎舜平 , 肥冢纯一 , 冈崎健一 , 岛行德 , 松田慎平 , 马场晴之 , 本田龙之介
- 申请人: 株式会社半导体能源研究所
- 申请人地址: 日本神奈川
- 专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人: 株式会社半导体能源研究所
- 当前专利权人地址: 日本神奈川
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 秦晨
- 优先权: 2016-057716 2016.03.22 JP
- 国际申请: PCT/IB2017/051456 2017.03.14
- 国际公布: WO2017/163146 EN 2017.09.28
- 进入国家日期: 2018-09-19
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; C23C14/08 ; H01L21/363 ; H01L21/8234 ; H01L21/8238 ; H01L21/8242 ; H01L27/088 ; H01L27/092 ; H01L27/108 ; H01L29/786
摘要:
本发明提高包括氧化物半导体膜的晶体管的场效应迁移率及可靠性。半导体装置包括具有氧化物半导体膜的晶体管。晶体管包括栅电压高于0V且10V以下的晶体管的场效应迁移率的最大值为40以上且小于150的区域;阈值电压为-1V以上且1V以下的区域;以及S值小于0.3V/decade的区域。
公开/授权文献
- CN108780757B 半导体装置以及包括该半导体装置的显示装置 公开/授权日:2022-08-23
IPC分类: