发明公开
CN108847404A 硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮系统及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮系统及方法
- 专利标题(英): Single-piece conveying double-piece basket feeding system and method in silicon wafer automatic conveying system
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申请号: CN201810491626.5申请日: 2018-05-22
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公开(公告)号: CN108847404A公开(公告)日: 2018-11-20
- 发明人: 张奇巍 , 岳军 , 肖方生 , 杜虎明 , 姜志艳
- 申请人: 中国电子科技集团公司第二研究所
- 申请人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第二研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第二研究所
- 当前专利权人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 代理机构: 山西华炬律师事务所
- 代理商 陈奇
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮系统及方法,解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构(5)与篮具升降机构(4)之间的设备支架(1)的工作台面上设置有硅片插入传送机构(6),在硅片插入悬臂板(17)上设置有传送皮带(13),传送皮带(13)在传送电机(12)的控制下实现对硅片(18)的传送,在设备支架(1)上设置有插入活动支架控制气缸(15),插入活动支架控制气缸(15)的输出轴与硅片插入滑动板支架(14)连接在一起;在篮具升降机构(4)上分别设置有硅片入篮传感器(21)和硅片入篮到位传感器(20)。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片,提高了制绒单线生产效率。
公开/授权文献
- CN108847404B 硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法 公开/授权日:2020-05-26
IPC分类: