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公开(公告)号：CN110626801B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN201910874134.9
申请日：2019-09-17
摘要： 本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。
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公开(公告)号：CN115097468A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210575429.8
申请日：2022-05-25
摘要： 本发明公开了转载一组硅片的梳齿式吸盘装配精度的检测校准方法，解决了如何对每个吸盘片上的三个真空吸附陶瓷吸嘴的装配精度进行检验校准的难题；设计一个可承载移动梳齿式吸盘的测试工装架体，在该架体上设置有可精确控制水平位移丝杠模组和上下垂直位移的模组，真实模拟梳齿式吸盘传送硅片进入石墨舟的场景，将一片硅片依次吸附在梳齿式吸盘中的每片吸盘片上，通过三个激光测距仪，对其位置进行测定，根据测量结果，判断该吸盘片装配位置的精度是否达到要求，并对其进行调整；通过控制水平位移丝杠模组的向左和向右移动，真实模拟硅片挂接过程，测量硅片在此过程中的位移，来检测三个吸嘴安装精度是否符合设计要求，并及时进行调整和校准。
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公开(公告)号：CN117810145A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN117810145B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410224476.7
申请日：2024-02-29
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 本发明涉及半导体产品制造设备技术领域，具体涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置，主要解决硅片上料效率较低的技术问题。所述去磷硅玻璃机的硅片上料装置包括缓存传送组件、纵向传送组件和硅片切换组件，缓存传送组件适于缓存上工序设备出料，纵向传送组件适于将硅片输送至去磷硅玻璃机的进料窗口内，硅片切换组件适于将硅片从缓存传送组件转运至纵向传送组件上，硅片切换组件包括导轨、滑座、驱动件和输送组件。本装置硅片的传输距离较短，所用时间较短，并且省去了顶升气缸的动作时间，产能由12000片/小时提高至16000片/小时，大幅提高了硅片进料效率；同时，硅片切换组件使得设备整体尺寸更小，减少厂房占地面积，节约成本。
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公开(公告)号：CN108847404B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201810491626.5
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法，解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构（5）与篮具升降机构（4）之间的设备支架（1）的工作台面上设置有硅片插入传送机构（6），在硅片插入悬臂板（17）上设置有传送皮带（13），传送皮带（13）在传送电机（12）的控制下实现对硅片（18）的传送，在设备支架（1）上设置有插入活动支架控制气缸（15），插入活动支架控制气缸（15）的输出轴与硅片插入滑动板支架（14）连接在一起；在篮具升降机构（4）上分别设置有硅片入篮传感器（21）和硅片入篮到位传感器（20）。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片，提高了制绒单线生产效率。
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公开(公告)号：CN110626801A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910874134.9
申请日：2019-09-17
摘要： 本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。
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公开(公告)号：CN108847404A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810491626.5
申请日：2018-05-22
申请人： 中国电子科技集团公司第二研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮系统及方法，解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构（5）与篮具升降机构（4）之间的设备支架（1）的工作台面上设置有硅片插入传送机构（6），在硅片插入悬臂板（17）上设置有传送皮带（13），传送皮带（13）在传送电机（12）的控制下实现对硅片（18）的传送，在设备支架（1）上设置有插入活动支架控制气缸（15），插入活动支架控制气缸（15）的输出轴与硅片插入滑动板支架（14）连接在一起；在篮具升降机构（4）上分别设置有硅片入篮传感器（21）和硅片入篮到位传感器（20）。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片，提高了制绒单线生产效率。
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公开(公告)号：CN210628275U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201922015475.9
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687 , H01L31/18
摘要： 本实用新型公开了一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，解决了现有托起机构存在的硅片底端定位高度不一致和同用性不强的问题。在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前齿架的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），在长方形板条接插凹槽中插接有长方体形板条（14）；在后齿架（10）的中上部设置有后梳齿（12），在后齿架的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架（5）的后侧面上靠接有后齿架，组成梳齿状托架（3）。适合在石英舟装片机中使用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210628274U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201922015473.X
申请日：2019-11-20
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本实用新型公开了一种石英舟硅片的顶升机构，解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构，在丝杠驱动机构上连接有滑块（7），滑块（7）与顶升架底板（9）连接，在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架之间设置有硅片（12）。提高托齿的安装精度，提升生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN217820867U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202221269178.2
申请日：2022-05-25
摘要： 本发明公开了一种转载一组硅片的梳齿式吸盘装配精度的检测校准机构，解决了如何对每个吸盘片上的三个真空吸附陶瓷吸嘴的装配精度进行检验校准的难题；设计一个可承载移动梳齿式吸盘的测试工装架体，在该架体上设置有可精确控制水平位移丝杠模组和上下垂直位移的模组，真实模拟梳齿式吸盘传送硅片进入石墨舟的场景，将一片硅片依次吸附在梳齿式吸盘中的每片吸盘片上，通过三个激光测距仪，对其位置进行测定，根据测量结果，判断该吸盘片装配位置的精度是否达到要求，并对其进行调整；通过控制水平位移丝杠模组的向左和向右移动，真实模拟硅片挂接过程，测量硅片在此过程中的位移，来检测三个吸嘴安装精度是否符合设计要求，并及时进行调整和校准。
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