硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法
摘要:
本发明公开了一种硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法,解决了自动化生产线上单片硅片传输双片叠在一起插入篮具的问题。在硅片传送机构(5)与篮具升降机构(4)之间的设备支架(1)的工作台面上设置有硅片插入传送机构(6),在硅片插入悬臂板(17)上设置有传送皮带(13),传送皮带(13)在传送电机(12)的控制下实现对硅片(18)的传送,在设备支架(1)上设置有插入活动支架控制气缸(15),插入活动支架控制气缸(15)的输出轴与硅片插入滑动板支架(14)连接在一起;在篮具升降机构(4)上分别设置有硅片入篮传感器(21)和硅片入篮到位传感器(20)。本发明能够向同一个齿里插入两张硅片,提高了制绒单线生产效率。
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