发明公开
- 专利标题： 基板处置装置和基板处置方法
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申请号： CN201810659255.7申请日： 2018-06-25
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公开(公告)号： CN109116688A公开(公告)日： 2019-01-01
- 发明人: 崔海圆 , 崔基勋 , 姜基文 , 许瓒宁 , A·科里阿金 , 李在晟
- 申请人： 细美事有限公司
- 申请人地址： 韩国忠清南道天安市
- 专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人： 细美事有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国忠清南道天安市
- 代理机构： 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 王瑞朋; 胡彬
- 优先权： 10-2017-0079594 2017.06.23 KR
- 主分类号： G03F7/26
- IPC分类号： G03F7/26 ; G03F7/32
摘要：
本发明涉及基板处置装置和基板处置方法。基板处置装置包括第一处理室，其构造为向在基板上执行曝光处理之后被运送到第一处理室中的基板供给显影液，第二处理室，其构造为通过超临界流体处置基板，进给机械手，其构造为将基板从第一处理室递送到第二处理室；以及控制器，其构造为控制进给机械手，使得在由第一处理室供给的显影液驻留在基板上的状态下，基板被传送到第二处理室。
IPC分类:
