Invention Publication
- Patent Title: 碳化硅与硅异质结的LDMOS器件及制造方法
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Application No.: CN202311096893.XApplication Date: 2023-08-29
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Publication No.: CN116825824APublication Date: 2023-09-29
- Inventor: 张同 , 刘芳 , 吴波 , 邓永峰 , 王凯 , 孟庆萌 , 常泽洲
- Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网山西省电力公司 , 国网山西省电力公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼; ; ;
- Assignee: 北京智芯微电子科技有限公司,国网山西省电力公司,国网山西省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司
- Current Assignee: 北京智芯微电子科技有限公司,国网山西省电力公司,国网山西省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼; ; ;
- Agency: 北京润平知识产权代理有限公司
- Agent 李红
- Main IPC: H01L29/267
- IPC: H01L29/267 ; H01L29/06 ; H01L29/78 ; H01L21/336

Abstract:
本发明涉及半导体领域,提供一种碳化硅与硅异质结的LDMOS器件及制造方法。所述LDMOS器件包括:硅衬底、第一导电类型阱区、第二导电类型体区、第一导电类型漂移区、源区、漏区以及栅极结构,还包括:第二导电类型埋层;第二导电类型埋层和第二导电类型体区的材料均为硅,第一导电类型漂移区和漏区的材料均为碳化硅;第一导电类型漂移区与第二导电类型埋层纵向相接,以在导电状态时在纵向相接的界面区域形成碳化硅与硅的异质结;第一导电类型漂移区与第二导电类型体区横向相接,以在导电状态时在横向相接的界面区域形成碳化硅与硅的异质结。本发明利用纵向和横向的双异质结,提高器件的击穿电压,提升载流子迁移率,降低导通电阻。
Public/Granted literature
- CN116825824B 碳化硅与硅异质结的LDMOS器件及制造方法 Public/Granted day:2023-12-15
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IPC分类: