发明公开
- 专利标题: 一种叉指式背接触电池及其制备方法
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申请号: CN202311027590.2申请日: 2023-08-15
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公开(公告)号: CN117080314A公开(公告)日: 2023-11-17
- 发明人: 李兵 , 赵增超 , 李明 , 成秋云 , 蔡先武
- 申请人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 何文红
- 主分类号: H01L31/20
- IPC分类号: H01L31/20 ; H01L31/18 ; H01L31/0216 ; H01L31/0224 ; H01L31/0352 ; H01L31/068 ; H01L31/0747
摘要:
本发明公开了一种叉指式背接触电池及其制备方法,其制备方法包括在硅基体正面制备本征非晶硅层、P型掺杂层或N型掺杂层,在硅基体背面制备交替排布的P型和N型隧穿钝化接触结构。本发明中,采用沉积氧化硅掩膜+激光刻蚀+清洗的方式可制备图形尺寸精确可控的背面n/p‑poly结构,采用非晶硅掩膜+激光开窗+湿法刻蚀的方式可以精准实现背面N区与P区的有效绝缘,不仅可以提升钝化结构的钝化效果,而且能够显著提升电池的效率,由此可制备得到转换效率高的叉指式背接触电池,其光电转换效率高达26.33%。同时,本发明还具有工艺简单、易于操作、易量产等优点,有利于降低制备成本以及实现批量化生产,便于推广应用。
IPC分类: