一种叉指式背接触电池及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种叉指式背接触电池及其制备方法,其制备方法包括在硅基体正面制备本征非晶硅层、P型掺杂层或N型掺杂层,在硅基体背面制备交替排布的P型和N型隧穿钝化接触结构。本发明中,采用沉积氧化硅掩膜+激光刻蚀+清洗的方式可制备图形尺寸精确可控的背面n/p‑poly结构,采用非晶硅掩膜+激光开窗+湿法刻蚀的方式可以精准实现背面N区与P区的有效绝缘,不仅可以提升钝化结构的钝化效果,而且能够显著提升电池的效率,由此可制备得到转换效率高的叉指式背接触电池,其光电转换效率高达26.33%。同时,本发明还具有工艺简单、易于操作、易量产等优点,有利于降低制备成本以及实现批量化生产,便于推广应用。
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