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公开(公告)号：CN115064606B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202210680729.2
申请日：2022-06-16
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种用于提高多晶硅层钝化效果的水汽退火设备及水汽退火工艺，该水汽退火设备包括用于放置待处理退火样品的腔体，腔体上连通有第一进气管道、尾气排出管道和第二进气管道，位于腔体内部的第二进气管道上设有若干个水汽喷出口，位于腔体外部的第二进气管道连通有用于生产水汽的生产装置。该水汽退火工艺包括对硅片进行高温晶化，通入水汽进行水汽退火处理。本发明水汽退火设备及水汽退火工艺，既可以精确控制低比例水汽进入量，又能保证水汽在腔体内均匀分布，适用于补充并增加多晶硅中的氢含量，以及在提高水汽退火均匀性的同时也能降低水汽对多晶硅层的氧化，有利于提高多晶硅层的钝化效果，适用于制备高性能的晶硅太阳能电池。
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公开(公告)号：CN115020542B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210614145.5
申请日：2022-05-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , C23C16/34 , C23C16/455 , C23C16/515 , C23C16/52 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种去除ALD绕镀氧化铝的PECVD镀膜方法，包括以下步骤：S1、进舟，将装载硅片的载具通过推舟运动机构送入反应腔体；S2、抽真空，将反应腔体内抽至真空状态；S3、第一次恒温，控制反应腔体温度恒定；S4、检漏，监测反应腔体内的压力变化情况，以符合工艺所预设的漏率；S5、第一次沉积，进行第一次硅片沉积；S6、第二次沉积，进行第二次硅片沉积；S7、回常压，将反应腔体恢复常压；S8、出舟。本发明具有操作简单、无需增加额外工序、ALD绕镀氧化铝去除效果显著且有利于氢体钝化等优点。
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公开(公告)号：CN118147607A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410125497.3
申请日：2024-01-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种LPCVD设备在线等离子清洗装置及清洗方法，装置的加热炉体同轴嵌套在石英反应炉外周，石英反应炉的炉口设有炉口门板和炉门，炉门上设有进气孔，炉尾门板上设有抽气管；炉口门板上设有与射频电源组件连接的电极引入插座，炉门上设有相互连接的电极柱和I CP发生器，I CP发生器环绕在石英管进气端的外周，石英管的排气端贯穿炉门；关闭炉门，电极柱插入电极引入插座内，I CP发生器与射频电源组件连接，石英管延伸至石英反应炉内，在石英管内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在I CP发生器的作用下，氟化物气体形成含氟等离子体，以实现石英反应炉在线清洗。本发明具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点。
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公开(公告)号：CN117123565A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311175182.1
申请日：2023-09-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟干法清洗设备及清洗方法，设备包括：清洗腔室、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和偏置电压检测单元；清洗腔室的一端设有炉门，便于石墨舟进出清洗腔室，另一端与真空单元连接，实现清洗腔室内部抽真空；清洗腔室外侧均布有多组放电单元，实现工艺气体在清洗腔室内部电离并清洗石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元和偏置电压检测单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，偏置电压检测单元采用直流偏置电压法对石墨舟清洗过程产生的电子密度和离子能量进行监测，得到石墨舟清洗前后的偏压值变化，根据偏压值变化判断石墨舟清洗终点。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够精准判定石墨舟清洗终点等优点。
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公开(公告)号：CN117080314A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311027590.2
申请日：2023-08-15
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/20 , H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/068 , H01L31/0747
摘要： 本发明公开了一种叉指式背接触电池及其制备方法，其制备方法包括在硅基体正面制备本征非晶硅层、P型掺杂层或N型掺杂层，在硅基体背面制备交替排布的P型和N型隧穿钝化接触结构。本发明中，采用沉积氧化硅掩膜+激光刻蚀+清洗的方式可制备图形尺寸精确可控的背面n/p‑poly结构，采用非晶硅掩膜+激光开窗+湿法刻蚀的方式可以精准实现背面N区与P区的有效绝缘，不仅可以提升钝化结构的钝化效果，而且能够显著提升电池的效率，由此可制备得到转换效率高的叉指式背接触电池，其光电转换效率高达26.33％。同时，本发明还具有工艺简单、易于操作、易量产等优点，有利于降低制备成本以及实现批量化生产，便于推广应用。
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公开(公告)号：CN115207135A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210764248.X
申请日：2022-06-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/18 , H01L31/04 , C23C16/30 , C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/50 , C30B33/00 , C30B33/10
摘要： 本发明公开了一种PERC电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、生长磷掺杂氧化层、对金属化区域进行开窗处理、对激光开窗区域进行制绒和化学氧化处理、在P型硅片正面生长磷掺杂非晶硅薄膜、退火处理、对非金属化区域进行开窗处理、去除非金属化区域的掩膜。本发明PERC电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，且由此制得的PERC电池具有更好的效率，同时本发明制备方法与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，因而可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。
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公开(公告)号：CN115172148A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210764251.1
申请日：2022-06-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L31/20 , H01L21/321 , H01L21/3213 , H01L31/0224 , H01L31/0236
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、在正面生长隧穿氧化层、依次沉积磷掺杂非晶硅薄膜和掩膜、对非金属化区域进行开窗处理、对开窗区域进行制绒、磷扩散和退火处理、背面刻蚀和正面清洗。本发明太阳能电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，由此制得的太阳能电池具有更好的效率，与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，即可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。
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公开(公告)号：CN115020542A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210614145.5
申请日：2022-05-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , C23C16/34 , C23C16/455 , C23C16/515 , C23C16/52 , C23C16/56
摘要： 本发明公开了一种去除ALD绕镀氧化铝的PECVD镀膜方法，包括以下步骤：S1、进舟，将装载硅片的载具通过推舟运动机构送入反应腔体；S2、抽真空，将反应腔体内抽至真空状态；S3、第一次恒温，控制反应腔体温度恒定；S4、检漏，监测反应腔体内的压力变化情况，以符合工艺所预设的漏率；S5、第一次沉积，进行第一次硅片沉积；S6、第二次沉积，进行第二次硅片沉积；S7、回常压，将反应腔体恢复常压；S8、出舟。本发明具有操作简单、无需增加额外工序、ALD绕镀氧化铝去除效果显著且有利于氢体钝化等优点。
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公开(公告)号：CN110699672B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201911173929.3
申请日：2019-11-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/46 , C23C16/455 , C23C16/513
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。
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公开(公告)号：CN110822903A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911182187.0
申请日：2019-11-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种电加热炉体，包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置，内腔体设于炉壳内，隔热层设于内腔体与炉壳之间，炉壳的两端分别设有端盖和炉门，加热装置包括至少一组环形布置的加热丝，加热丝设于隔热层与内腔体之间，加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成，铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端，加热器冷端固定在端盖上，各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构，免去是石英管的搬运和安装环节，用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝，降低炉丝的热容，免去复杂的绕丝和卡绝缘子，将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上，不在炉壳的外圆周面上，避免搬运安装过程中碰断。
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