本发明公开了一种石墨舟干法清洗设备及清洗方法，设备包括：清洗腔室、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和偏置电压检测单元；清洗腔室的一端设有炉门，便于石墨舟进出清洗腔室，另一端与真空单元连接，实现清洗腔室内部抽真空；清洗腔室外侧均布有多组放电单元，实现工艺气体在清洗腔室内部电离并清洗石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元和偏置电压检测单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，偏置电压检测单元采用直流偏置电压法对石墨舟清洗过程产生的电子密度和离子能量进行监测，得到石墨舟清洗前后的偏压值变化，根据偏压值变化判断石墨舟清洗终点。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够精准判定石墨舟清洗终点等优点。