本发明公开了一种CVD工艺设备的柔性尾气回收电路系统，包括加热单元、测温单元、加热开关单元和电子调节器，所述加热单元安装于所述尾气管路上，用于对尾气管路进行加热；所述测温单元安装于所述尾气管路上，用于检测所述尾气管路内的温度；所述测温单元与所述电子调节器相连，用于将检测的温度发送至电子调节器；所述加热开关单元的输入端与所述电子调节器相连，所述加热开关单元的输出端串联在所述加热单元的加热回路中，用于控制加热单元的开启与关闭。本发明能够将尾气管路的温度控制在设定在合理范围，来保证反应产物以气体形式进入尾气处理系统，而且具体过程全部自动完成，提高了系统的自动化水平。