公开(公告)号：CN117737696A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311764893.2

申请日：2023-12-20

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 黄心沿 ,  禹庆荣 ,  张春成 ,  吴得轶 ,  盛旭 ,  颜湘 ,  吕新春 ,  黄影

IPC分类号： C23C16/44 ,  B01D53/30 ,  B01D53/00 ,  C23C16/52

摘要： 本发明公开了一种CVD工艺设备的柔性尾气回收电路系统，包括加热单元、测温单元、加热开关单元和电子调节器，所述加热单元安装于所述尾气管路上，用于对尾气管路进行加热；所述测温单元安装于所述尾气管路上，用于检测所述尾气管路内的温度；所述测温单元与所述电子调节器相连，用于将检测的温度发送至电子调节器；所述加热开关单元的输入端与所述电子调节器相连，所述加热开关单元的输出端串联在所述加热单元的加热回路中，用于控制加热单元的开启与关闭。本发明能够将尾气管路的温度控制在设定在合理范围，来保证反应产物以气体形式进入尾气处理系统，而且具体过程全部自动完成，提高了系统的自动化水平。