发明申请
- 专利标题： Method for automatic configuration of processing system
- 专利标题（中）： 自动配置处理系统的方法
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申请号： US10776452申请日： 2004-02-12
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公开(公告)号： US20050015176A1公开(公告)日： 2005-01-20
- 发明人: Satoshi Harada , Edward Hume , James Willis , Kevin Chamness , Hieu Lam , Hongyu Yue , David Fatke
- 申请人： Satoshi Harada , Edward Hume , James Willis , Kevin Chamness , Hieu Lam , Hongyu Yue , David Fatke
- 申请人地址： JP Tokyo 107
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： JP Tokyo 107
- 主分类号： G05B19/418
- IPC分类号： G05B19/418 ; G06F19/00
摘要：
A method of automatically configuring an Advanced Process Control (APC) system for a semiconductor manufacturing environment in which an auto-configuration script is generated for executing an auto-configuration program. The auto-configuration script activates default values for input to the auto-configuration program. The auto-configuration script is executed to generate an enabled parameter file output from the auto-configuration program. The enabled parameter file identifies parameters for statistical process control (SPC) chart generation.
公开/授权文献
- US07213478B2 Method for automatic configuration of processing system 公开/授权日：2007-05-08
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IPC分类:
