公开(公告)号：US20050015176A1

公开(公告)日：2005-01-20

申请号：US10776452

申请日：2004-02-12

申请人： Satoshi Harada ,  Edward Hume ,  James Willis ,  Kevin Chamness ,  Hieu Lam ,  Hongyu Yue ,  David Fatke

发明人： Satoshi Harada ,  Edward Hume ,  James Willis ,  Kevin Chamness ,  Hieu Lam ,  Hongyu Yue ,  David Fatke

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B19/41845 ,  G05B2219/31334 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/16 ,  Y02P90/185 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/86

摘要： A method of automatically configuring an Advanced Process Control (APC) system for a semiconductor manufacturing environment in which an auto-configuration script is generated for executing an auto-configuration program. The auto-configuration script activates default values for input to the auto-configuration program. The auto-configuration script is executed to generate an enabled parameter file output from the auto-configuration program. The enabled parameter file identifies parameters for statistical process control (SPC) chart generation.

摘要翻译： 一种自动配置用于半导体制造环境的高级过程控制（APC）系统的方法，其中生成用于执行自动配置程序的自动配置脚本。 自动配置脚本激活自动配置程序输入的默认值。 执行自动配置脚本以生成从自动配置程序输出的启用参数文件。 启用的参数文件识别统计过程控制（SPC）图生成的参数。