公开(公告)号：CN118937373A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410567259.8

申请日：2024-05-09

申请人： FEI 公司

发明人： W·R·J·范登布鲁克 ,  H·I·S·凡隆帕伊

IPC分类号： G01N23/20058 ,  G06F17/18

摘要： 用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘并找到其位置的方法。本发明提供了用于确认测量的EELS光谱内的电离边缘的方法。该方法涉及提供包含电离边缘的测量的EELS光谱以及输出模拟的EELS光谱的数值模型，该模拟的EELS光谱具有作为输入参数的电离边缘的位置。将该数值模型拟合到该测量的EELS光谱，并且提供该电离边缘的拟合位置。使用统计检验在该统计检验通过统计阈值的情况下确认该电离边缘为真电离边缘。该方法可用于多种应用，包括材料科学、化学和物理，以提高EELS光谱分析的准确性。

公开(公告)号：CN112129795B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202010578893.3

申请日：2020-06-23

申请人： FEI 公司

发明人： B.比伊泽 ,  A.科特查

IPC分类号： G01N23/2055 ,  G01N23/04 ,  G01N23/2251

摘要： 用于确定分子结构的方法和系统。可以基于从样品的衍射图和电子显微镜图像中求解的结构因子来确定分子结构。具体地，所述结构因子的振幅可以基于多个衍射图中的各衍射峰的强度来确定。所述结构因子的相位可以基于电子显微镜图像和所述各衍射峰的所述强度来确定。

公开(公告)号：CN110970281B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN201811146768.4

申请日：2018-09-29

申请人： FEI公司

发明人： B·R·小劳斯

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/28

摘要： 本发明提供一种用于生产带有由微操纵器使用的棒的晶片的方法，包括如下步骤：提供基材；将可移除材料层沉积或者生长到基材上；使多个第一孔和多个第二孔形成通过可移除材料层并进入基材；使多个第一通道和多个第二通道形成到可移除材料层中；使填充材料沉积到所述晶片上，以填充通道和孔；以及从基材移除可移除材料层；由多个第一通道形成棒，由多个第二通道形成与棒相连的连接片，由多个第一孔和多个第二孔形成将棒和连接片保持到基材的锚。本发明还提供用于将棒原位附连到微操纵器的自由端的方法、晶片、微操纵器以及用于制备微操纵器的系统。借助本发明的方法，能够可靠且容易地制造出带有多根棒的晶片，从而简化实验室后续操纵过程。

公开(公告)号：CN118800636A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410440504.9

申请日：2024-04-12

申请人： FEI 公司

发明人： P·C·蒂梅杰 ,  S·拉扎 ,  B·H·弗雷塔 ,  P·隆戈

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  G01N23/20

摘要： 描述了用于相对大的能量损失下的能量损失光谱的系统、设备、方法和技术。带电粒子显微镜系统可以包括光束镜筒区段。该光束镜筒区段可以包括针对第一能量校准的一个或多个带电粒子光学元件以及针对第二能量校准的一个或多个带电粒子光学元件。带电粒子显微镜系统可以包括检测器区段。该检测器区段可以设置在光束镜筒区段下游的位置处。检测器区段可以包括静电或磁棱镜以及针对第二能量校准的一个或多个带电粒子光学元件。第一能量和第二能量可以是不同的。

公开(公告)号：CN115547797B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202210747797.6

申请日：2022-06-29

申请人： FEI 公司

发明人： J·B·麦金

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28

摘要： 用于带电粒子显微镜的再入式气体系统。本文公开了用于再入式流体递送技术的设备和系统。实例系统至少包含在第一电势与第二电势之间延伸的流体递送管道，其中所述流体递送管道形成为倾斜的螺旋状，使得流动穿过所述流体递送管道的流体经历贯穿所述流体递送管道的每一绕组的电场反转。

公开(公告)号：CN118348587A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202310046809.7

申请日：2023-01-16

申请人： FEI公司

发明人： L·诺瓦克 ,  J·拉斯科 ,  K·K·尼利塞蒂 ,  V·哈默罗娃

IPC分类号： G01T7/08 ,  G01T7/00 ,  G01N23/00 ,  G01N23/2273

摘要： 一种用于在带电粒子设备(CPA)或X射线光电子光谱(XPS)系统中定位样品的系统包含样品载体，所述样品载体联接到所述CPA或XPS系统的真空室内部的载物台。所述系统允许所述样品载体在惰性气体中或在真空中在多个CPA、XPS系统和手套箱之间转移。所述样品载体与所述CPA或所述XPS的所述真空室中的所述载物台可释放地联接。所述样品载体的样品区域中的多个电极可通过所述样品载体和所述载物台之间的多个弹簧接点与所述载物台电连接。

公开(公告)号：CN118280797A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202311847483.4

申请日：2023-12-29

申请人： FEI 公司

发明人： L·梅勒 ,  G·N·A·范维恩 ,  P·C·蒂梅杰

IPC分类号： H01J37/244

摘要： 本文描述了用于显微镜的改进的检测器。在一个方面，一种装置可以包括：以阵列布置的多个电子单元；多个像素，该多个像素中的每个像素耦合到多个电子单元中的相关联的电子单元，其中多个像素的第一像素子集由第一材料形成，并且其中多个像素的第二像素子集由第二材料形成，第二材料不同于第一材料；和多个电连接件，该多个电连接件设置在多个电子单元与多个像素之间，其中每个电连接件将相应的电子单元与相关联的像素连接。

公开(公告)号：CN118209533A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202311733613.1

申请日：2023-12-15

申请人： FEI 公司

发明人： F·德克 ,  J·莫罗

IPC分类号： G01N21/65 ,  G01N21/01

摘要： 一种用于与科学仪器一起使用的激光设备。该激光设备包括激光发射器和控制系统。该激光发射器被配置为生成用于辐射设置在科学仪器的真空室中的样品的激光束。该控制系统被配置为从压力传感器接收与真空室相关联的压力信号，并且响应于压力达到阈值水平而改变激光束的状态。

公开(公告)号：CN118112029A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202311622043.9

申请日：2023-11-30

申请人： FEI 公司

发明人： M·多尼克 ,  V·弗尔博夫斯卡 ,  R·克里兹 ,  J·库巴 ,  T·弗兰克

IPC分类号： G01N23/2202 ,  G01N23/2254 ,  G01N23/04 ,  G01N23/2204

摘要： 本公开涉及一种对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜中进行分析的片层的方法。该方法包括以下步骤：在样本载体上提供生物样本；在该样本载体上定位样本区域，该样本区域包括感兴趣区，该感兴趣区具有可以从其产生片层的生物材料；以及对该生物样本的至少一部分进行显微机械加工，以便移除该样本区域的一部分中包围该感兴趣区的材料，从而增加该感兴趣区中的该生物材料与该生物材料的周围环境之间的视觉对比。利用增加的视觉对比，可以识别潜在片层的位置。

公开(公告)号：CN117810052A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202311303950.7

申请日：2023-10-09

申请人： FEI 公司

发明人： M·比绍夫 ,  O·L·沙内尔

IPC分类号： H01J37/18 ,  H01J37/26

摘要： 本文描述了用于从透射电子显微镜(TEM)柱转移样本的系统和方法。在一个方面中，一种方法可包括：将定位在TEM样本保持器的保持器封壳中的样本从TEM的真空腔室转移到该TEM的负载锁中；用保护气体填充该负载锁；在该保护气体下密封该TEM样本保持器的该保持器封壳；以及从该负载锁移除该TEM样本保持器。