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公开(公告)号：CN102034901B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010527670.0
申请日：2010-10-27
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , C23C14/35 , C23C14/08 , C23C14/02 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明涉及一种太阳电池，尤其涉及作为太阳电池的前电极的透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述透明导电薄膜的制备方法包括下述步骤：在有氩气存在的压强为0.5～3Pa的气体环境中，在温度为200～300℃的预设有阻挡层的衬底上磁控溅射掺杂氧化锌，形成厚度为800～1200nm的透明导电薄膜。本发明还提供由该制备方法得到的透明导电薄膜以及将该透明导电薄膜刻蚀得到的绒面透明导电薄膜。另外，本发明还涉及含有该绒面透明导电薄膜的复合结构以及太阳电池。本发明的透明导电薄膜经制绒，能得到雾度高的绒面，从而增加太阳光的吸收，提高太阳电池的光电转换效率。
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公开(公告)号：CN101583233A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200910080140.3
申请日：2009-03-24
申请人： 新奥光伏能源有限公司
摘要： 本发明涉及一种常压等离子体装置，其特征在于，装置由电源(1)、平行放电电极(2)、介质阻挡层(3)、前驱物等离子体区(4)、废气排放处理系统(5)五部分组成。该装置采用介质阻挡能有效避免极板间的火花丝放电，产生的均匀常压等离子体流经基板表面后处理大面积材料。该装置由于采用等离子体增强常压化学气相沉积，化学反应活性高，能够高效高质量沉积各种大面积薄膜或对各种材料表面进行活化、清洗、消毒等处理。
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公开(公告)号：CN101582460B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN200910080141.8
申请日：2009-03-24
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0236 , B32B9/04 , B32B7/02 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种薄膜太阳电池多层透明导电膜及其制造方法，其在薄膜太阳电池中，通过在不连续TCO层14上沉积连续TCO层16，增加可见光和近红外光的透过率；同时通过在不连续TCO层14上制备绒面结构，可在连续TCO层16上自动实现绒面结构，不需要后续的制绒过程，大大简化了生产工艺、降低了生产成本；通过控制前驱物中水和盐酸的含量，还可以控制形成不连续TCO层的形貌，从而进一步控制连续TCO层的形貌，控制所形成的透明导电氧化物的绒面结构，大大提高薄膜太阳电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN101582460A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200910080141.8
申请日：2009-03-24
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0236 , B32B9/04 , B32B7/02 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种薄膜太阳电池多层透明导电膜及其制造方法，其在薄膜太阳电池中，通过在不连续TCO层14上沉积连续TCO层16，增加可见光和近红外光的透过率；同时通过在不连续TCO层14上制备绒面结构，可在连续TCO层16上自动实现绒面结构，不需要后续的制绒过程，大大简化了生产工艺、降低了生产成本；通过控制前驱物中水和盐酸的含量，还可以控制形成不连续TCO层的形貌，从而进一步控制连续TCO层的形貌，控制所形成的透明导电氧化物的绒面结构，大大提高薄膜太阳电池的转换效率。
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公开(公告)号：CN104538496B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201410827142.5
申请日：2014-12-26
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种高效硅异质结太阳能电池电镀电极制备方法，主要技术方案包括：在沉积有透明导电介质层的晶硅基片上表面形成电镀掩膜，在所述晶硅基片的四周的侧面形成保护层；其中，所述透明导电介质层上形成电镀掩膜包括凹槽；在所述凹槽位置电镀金属层。用以解决现有技术中存在电镀Cu工艺容易导致电池边缘漏电及Cu原子容易渗入电池内部的问题。
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公开(公告)号：CN104538495A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410826756.1
申请日：2014-12-25
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： H01L31/20 , H01L31/022425 , H01L31/0725
摘要： 本发明实施例公开了一种具有电镀电极的硅异质结太阳能电池及其制作方法。该方法包括：在电池基片需要制作栅极的表面形成金属种子层；在金属种子层的表面采用丝网印刷油墨工艺形成油墨栅线凹槽图案；经过预定时间间隔，固化油墨栅线凹槽图案；以油墨栅线凹槽图案为掩膜采用电镀工艺沉积复合金属层；去除油墨栅线凹槽图案，及金属种子层未与复合金属层接触的部分。丝网印刷油墨工艺形成油墨栅线凹槽图案实现方式简单可控，并且，油墨也容易被去除，制作工艺简单。在固化的过程中，油墨会发生均匀地扩张变形，使得到的油墨栅线凹槽图案的开口宽度小，使形成的金属栅线的高宽比大，遮光面积小，提高了具有电镀电极的硅异质结太阳能电池的效率。
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公开(公告)号：CN102082188A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010527669.8
申请日：2010-10-27
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/0256 , H01L31/0352 , H01L31/0224
摘要： 本发明涉及太阳电池窗口层材料及其制备方法和应用。所述太阳电池窗口层材料包括高电导率层和宽带隙层。本发明还提供含有上述窗口层材料的复合结构和太阳电池。本发明的窗口层材料的高电导率层与N型TCO薄膜之间容易形成欧姆接触，所以接触良好，并且兼具高透过率和宽带隙，因此能够提高太阳电池的光电转换效率。
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公开(公告)号：CN102034901A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010527670.0
申请日：2010-10-27
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , C23C14/35 , C23C14/08 , C23C14/02 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明涉及一种太阳电池，尤其涉及作为太阳电池的前电极的透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述透明导电薄膜的制备方法包括下述步骤：在有氩气存在的压强为0.5～3Pa的气体环境中，在温度为200～300℃的预设有阻挡层的衬底上磁控溅射掺杂氧化锌，形成厚度为800～1200nm的透明导电薄膜。本发明还提供由该制备方法得到的透明导电薄膜以及将该透明导电薄膜刻蚀得到的绒面透明导电薄膜。另外，本发明还涉及含有该绒面透明导电薄膜的复合结构以及太阳电池。本发明的透明导电薄膜经制绒，能得到雾度高的绒面，从而增加太阳光的吸收，提高太阳电池的光电转换效率。
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公开(公告)号：CN105304746A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510622094.0
申请日：2015-09-24
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/074 , H01L31/18 , H01L21/02
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/074 , H01L21/02068 , H01L21/02096 , H01L31/1804
摘要： 本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法，用以去除传送过程中晶体硅片表面和硅薄膜层上的沾污和氧化层，提高晶体硅片表面的钝化质量，提升电池的填充因子和转换效率。所述异质结太阳能电池的制备方法，包括：在晶体硅片第一侧表面沉积第一硅薄膜层，在晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层；在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之前，对所述第一硅薄膜层和所述晶体硅片第二侧表面进行清洗，和/或在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之后，对所述第一硅薄膜层和所述第二硅薄膜层进行清洗。
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公开(公告)号：CN104538496A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410827142.5
申请日：2014-12-26
申请人： 新奥光伏能源有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L31/022425 , H01L31/074 , H01L31/1804
摘要： 本发明公开了一种高效硅异质结太阳能电池电镀电极制备方法，主要技术方案包括：在沉积有透明导电介质层的晶硅基片上表面形成电镀掩膜，在所述晶硅基片的四周的侧面形成保护层；其中，所述透明导电介质层上形成电镀掩膜包括凹槽；在所述凹槽位置电镀金属层。用以解决现有技术中存在电镀Cu工艺容易导致电池边缘漏电及Cu原子容易渗入电池内部的问题。
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