公开(公告)号：CN104347335B

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201410389960.1

申请日：2014-08-08

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  大庭弘

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/073

CPC分类号： H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

摘要： 本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。

公开(公告)号：CN105845533B

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201610069206.9

申请日：2016-02-01

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 八坂行人 ,  小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  大庭弘

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/305

摘要： 本发明提供集束离子束装置，其搭载有能够使从更高亮度的气体电场电离离子源释放的离子沿着离子光学系统的光轴长时间稳定持续释放，且能够长时间形成集束离子束的气体电场电离离子源集。在搭载有具有释放离子的发射极的气体电场电离离子源的集束离子束装置中，发射极采取使尖锐化的铱和异类金属细线固定而成的形状。

公开(公告)号：CN104425199B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201410418547.3

申请日：2014-08-22

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  大庭弘 ,  小堺智一 ,  相田和男

IPC分类号： H01J37/21

CPC分类号： G21K5/04 ,  G21K1/14 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31744

摘要： 本发明公开一种修正装置，其对于试样的损伤较小，在长时间内稳定且效率良好地进行掩膜等的细微部位的修正。修正装置(10)至少具备：气体电场电离离子源，其具有锐化的针尖；冷却单元，其冷却针尖；离子束镜筒(11)，其使在气体电场电离离子源产生的气体的离子集束，形成集束离子束；试样工作台(15)，其设置经通过离子束镜筒(11)形成的集束离子束照射的试样，并能够移动；试样室(13)，其内置试样工作台(15)；以及控制部(20)，其通过集束离子束修正作为试样的掩膜(14)或纳米压印光刻的模具。气体电场电离离子源以氮作为离子，并具备通过铱单晶构成的针尖，该铱单晶具有能够产生离子的单一的顶点。

公开(公告)号：CN104425199A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410418547.3

申请日：2014-08-22

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  大庭弘 ,  小堺智一 ,  相田和男

IPC分类号： H01J37/21

CPC分类号： G21K5/04 ,  G21K1/14 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31744

摘要： 本发明公开一种修正装置，其对于试样的损伤较小，在长时间内稳定且效率良好地进行掩膜等的细微部位的修正。修正装置(10)至少具备：气体电场电离离子源，其具有锐化的针尖；冷却单元，其冷却针尖；离子束镜筒(11)，其使在气体电场电离离子源产生的气体的离子集束，形成集束离子束；试样工作台(15)，其设置经通过离子束镜筒(11)形成的集束离子束照射的试样，并能够移动；试样室(13)，其内置试样工作台(15)；以及控制部(20)，其通过集束离子束修正作为试样的掩膜(14)或纳米压印光刻的模具。气体电场电离离子源以氮作为离子，并具备通过铱单晶构成的针尖，该铱单晶具有能够产生离子的单一的顶点。

公开(公告)号：CN105845533A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610069206.9

申请日：2016-02-01

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 八坂行人 ,  小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  大庭弘

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/305

摘要： 本发明提供集束离子束装置，其搭载有能够使从更高亮度的气体电场电离离子源释放的离子沿着离子光学系统的光轴长时间稳定持续释放，且能够长时间形成集束离子束的气体电场电离离子源集。在搭载有具有释放离子的发射极的气体电场电离离子源的集束离子束装置中，发射极采取使尖锐化的铱和异类金属细线固定而成的形状。

公开(公告)号：CN104347335A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410389960.1

申请日：2014-08-08

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  大庭弘

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/073

CPC分类号： H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

摘要： 本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。