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公开(公告)号:CN1969365A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019295.6
申请日:2005-05-24
申请人: 松下电器产业株式会社
IPC分类号: H01J37/20 , H01J37/317 , H01L21/265 , H05H1/24
CPC分类号: H01J37/3171 , G21K1/14 , H01J37/026 , H01J2237/0044 , H01L21/26513 , H05H1/46
摘要: 提供了一种电荷中和装置,其能够提供5eV水平或者更低优选地为2eV水平的低能量电子,从而消除甚至是前线装置中的离子植入的充电和电子导致的损害,并且适用于大尺寸的基片(113)。电荷中和装置包括微波发生装置(104);等离子发生装置(101),其利用微波发生装置产生的微波产生电子等离子;和接触装置(107),其使等离子发生装置产生的电子等离子与包括离子束的射束等离子区域接触。
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公开(公告)号:CN102172106B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN200980122624.8
申请日:2009-05-21
申请人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
发明人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
CPC分类号: G21K1/087 , A61N2005/1087 , G21K1/093 , G21K1/14 , H05H7/04 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04
摘要: 本发明包含一种带电粒子束路径,其耦联注入器、同步加速器、束传输系统、靶向系统和/或患者接口方法和装置。优选地,所述注入器包含:负离子束源、两相离子源真空系统、离子束聚焦透镜和/或串列式加速器。优选地,所述同步加速器包含转向磁体、边缘聚焦磁体、磁场聚集磁体、绕组和校正线圈、平坦磁场入射表面和/或引出元件。优选地,所述同步加速器、束传输系统、靶向系统和患者接口组合以允许多轴/多场辐照,其中多轴控制包含控制水平和垂直束位置、束能量和/或束强度,并且多场控制包含以时间受控、靶向、准确、精确、剂量受控和/或有效的方式来控制患者旋转和输送能量在肿瘤内和肿瘤周围的分布。
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公开(公告)号:CN103975092A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201280060457.0
申请日:2012-11-19
申请人: 瓦里安半导体设备公司
发明人: 彼得·F·库鲁尼西 , 克里斯多夫·J·里维特 , 丹尼尔·迪斯塔苏 , 提摩太·J·米勒
CPC分类号: H01J37/32146 , G21K1/14 , H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01J37/32422 , H01J2237/0044
摘要: 一种处理系统(10)可包含:等离子体源(12),其用于提供等离子体;以及工件固持器(28),其经布置以接收来自所述等离子体的离子。所述处理系统可还包含脉冲偏压电路(42),所述脉冲偏压电路电耦合到所述等离子体源且可操作以将供应到所述等离子体源的偏压电压在高电压状态与低电压状态之间切换,在所述高电压状态中,所述等离子体源相对于接地处于正偏压,且在所述低电压状态中,所述等离子体源相对于所述接地处于负偏压。
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公开(公告)号:CN102113419A
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN200980122398.3
申请日:2009-05-21
申请人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
发明人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
CPC分类号: G21K1/087 , A61B6/4258 , A61N2005/1087 , G21K1/093 , G21K1/14 , H05H7/04 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04
摘要: 本发明包含多轴带电粒子辐照的方法和装置。多轴控制包括对带电粒子辐照束的水平位置、垂直位置、能量控制和强度控制中的一或多个进行的分开或独立控制。任选地,依据定时来另外控制所述带电粒子束。定时与患者呼吸和/或患者旋转定位协同。通过组合,所述系统允许肿瘤的多轴和多场带电粒子辐照,从而在于肿瘤周围分配有害的接近远端能量的情况下对所述肿瘤产生精确且准确的辐照剂量。
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公开(公告)号:CN1969365B
公开(公告)日:2011-02-09
申请号:CN200580019295.6
申请日:2005-05-24
申请人: 松下电器产业株式会社
IPC分类号: H01J37/20 , H01J37/317 , H01L21/265 , H05H1/24
CPC分类号: H01J37/3171 , G21K1/14 , H01J37/026 , H01J2237/0044 , H01L21/26513 , H05H1/46
摘要: 提供了一种电荷中和装置,其能够提供5eV水平或者更低优选地为2eV水平的低能量电子,从而消除甚至是前线装置中的离子植入的充电和电子导致的损害,并且适用于大尺寸的基片(113)。电荷中和装置包括微波发生装置(104);等离子发生装置(101),其利用微波发生装置产生的微波产生电子等离子;和接触装置(107),其使等离子发生装置产生的电子等离子与包括离子束的射束等离子区域接触。
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公开(公告)号:CN1017949B
公开(公告)日:1992-08-19
申请号:CN88108755
申请日:1988-12-23
申请人: 伊顿有限公司
发明人: 马文·法利
IPC分类号: H01J37/317 , H01J37/02
CPC分类号: H01J37/026 , G21K1/14 , H01J2237/31701
摘要: 一种离子束注入系统,包括:一个离子束中和器(10),高能电子(40)被引导通过离子束中性化区域或含有可电离气体的区域。当高能电了与气体分子碰撞时,电离气体分子产生低能电子,它被带正电的离子束(14)浮获,当高能电子穿过中性化区域后,它们被一圆柱导体(30)和一加速栅极(50)偏转回中性化区域,该圆柱导体(30)被偏置得能偏转高能电子,栅极能加速电子返回束中性化区域。
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公开(公告)号:CN107293347A
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201710558948.2
申请日:2017-07-10
申请人: 中国原子能科学研究院
IPC分类号: G21K1/14
CPC分类号: G21K1/14
摘要: 本发明属于离子束操纵技术领域,具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置,包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1),所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6),所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体,还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2),所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方,所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。该装置能够实现工作介质的循环利用,并限制工艺气体的作用范围,提高工作介质的使用效率,降低成本。
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公开(公告)号:CN102067740B
公开(公告)日:2013-11-13
申请号:CN200980120211.6
申请日:2009-05-29
申请人: 离子束应用股份有限公司
发明人: V·克拉德
摘要: 本发明公开一种用于在回旋加速器的周边剥离带负电荷的粒子束的电子以用于将粒子束提取到回旋加速器的外面的剥离部件。所述剥离部件包括适于设置在所述回旋加速器的周边的第一剥离器箔,以便所述粒子束通过所述第一剥离器箔,其特征在于它包括第二剥离器箔,该第二剥离器箔适于在比所述第一剥离器箔在更靠周边的半径处与该第一剥离器箔并排地设置在所述回旋加速器的周边,使得当第一剥离器箔发生损坏时所述带负电的粒子束通过所述第二剥离器箔。
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公开(公告)号:CN102119585A
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200980122397.9
申请日:2009-05-21
申请人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
发明人: 弗拉迪米尔·叶戈罗维奇·巴拉金
CPC分类号: A61N5/10 , A61N2005/1087 , G03B42/02 , G21K1/087 , G21K1/093 , G21K1/14 , H01J3/14 , H01J3/34 , H05H7/04 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04
摘要: 本发明包含结合多轴带电粒子辐射疗法使用的患者定位和/或重新定位系统,诸如躺式、半垂直或坐式患者定位、对准和/或控制的方法和装置。患者定位约束任选地包括以下中的一个或多个:座位支架、背部支架、头部支架、臂部支架、膝部支架和脚部支架。所述定位约束中的一个或多个优选为可移动的和/或在计算机控制之下,以便快速定位、重新定位和/或固定患者。所述系统任选地使用与粒子束癌症疗法系统的质子束路径处于大体相同路径的X射线束。产生的图像可用于:相对于所述质子束路径精调身体对准,控制所述带电粒子束路径以准确且精确地靶向肿瘤,和/或系统验证和证实。
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公开(公告)号:CN102067740A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200980120211.6
申请日:2009-05-29
申请人: 离子束应用股份有限公司
发明人: V·克拉德
摘要: 本发明公开一种用于在回旋加速器的周边剥离带负电荷的粒子束的电子以用于将粒子束提取到回旋加速器的外面的剥离部件。所述剥离部件包括适于设置在所述回旋加速器的周边的第一剥离器箔,以便所述粒子束通过所述第一剥离器箔,其特征在于它包括第二剥离器箔,该第二剥离器箔适于在比所述第一剥离器箔在更靠周边的半径处与该第一剥离器箔并排地设置在所述回旋加速器的周边,使得当第一剥离器箔发生损坏时所述带负电的粒子束通过所述第二剥离器箔。
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