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公开(公告)号：CN116748530A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310538080.5
申请日：2023-05-12
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种金属浆料及其制备方法、金属图案打印与激光烧结方法。其中，金属浆料主要由金属粉末、焦油、N‑甲基吡咯烷酮和聚乙烯吡咯烷酮均匀混合而成，其中，所述焦油为煤焦油或乙烯焦油。本发明通过在金属浆料中加入焦油，增强了金属浆料对激光能量的吸收率，从而本发明的金属浆料在进行激光烧结时，所需激光功率相比传统激光增材技术可以降低1至2个数量级，并且还可以烧结或熔化难熔金属例如钼和钨等以及高反射率的金属，例如铜等；焦油还作为抗氧化剂，使得激光烧结过程无需保护气氛，降低了加工成本。本发明的金属浆料可通过3D打印和激光烧结制作高导电性的金属图案及结构，可应用于零件修补和传感器制造。
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公开(公告)号：CN116221575A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310123104.0
申请日：2023-02-16
申请人： 清华大学 , 辽宁瑞华实业集团高新科技有限公司
摘要： 本申请提供了一种重载云台和重载云台调平方法，重载云台包括控制组件、支撑组件、固定组件和支撑平台，固定组件与两个支撑组件均转动连接支撑平台，且均呈间隔设置；控制组件与两个支撑组件电连接。在使用过程中，支撑组件与固定组件共同支撑支撑平台，固定组件作为承载的主要部分，使支撑平台可以承载较大重量；控制组件获得未水平的支撑平台与水平状态下的支撑平台之间沿第一方向的夹角和沿第二方向的夹角，并获得未水平的支撑组件与固定组件之间在第一方向上的距离以及在第二方向上的距离y，根据θ1、θ2、x、y确定d，并控制未水平的支撑组件根据d完成移动，以使支撑平台的支撑面保持水平状态，实现自动调平。
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公开(公告)号：CN114923896A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210331597.2
申请日：2022-03-31
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N21/76
摘要： 本发明提供一种光电子鼻的控制系统和光电子鼻，光电子鼻的控制系统包括终端、主控板和光子计数器，终端与主控板电连接，光子计数器与主控板电连接；终端用于设置第一控制参数和第二控制参数；主控板根据第一控制参数控制光子计数器；光子计数器通过主控板向终端发送测量数据；主控板还用于与光电子鼻中的注射泵、多通道切换阀和气体质量流量控制器电连接；主控板根据第二控制参数控制注射泵、多通道切换阀和气体质量流量控制器，注射泵、多通道切换阀和气体质量流量控制器通过主控板向终端反馈第一状态信息。本发明提供的光电子鼻的控制系统解决了现有技术中光电子鼻操作复杂的问题。
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公开(公告)号：CN114755218A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210336004.1
申请日：2022-03-31
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01N21/76 , G01N31/10 , G01N33/497
摘要： 本发明提供一种光电子鼻的气路系统及光电子鼻，气路系统包括载流气源、质量流量控制装置、等离子发生装置和与存储有待测气的存储容器连接的气体注射装置，载流气源通过质量流量控制装置与等离子发生装置的输入端连接，气体注射装置与等离子发生装置的输入端连接，等离子发生装置的输出端依次连接有多通道切换装置和光传感器组，光传感器组包括多个并联的光传感器；多通道切换装置连接于等离子发生装置和光传感器之间，并被配置为将等离子发生装置的输出端与其中一个光传感器相连通。本发明提供的气路系统不仅结构简单，而且在有效提升气路系统稳定性的同时，还具有便于控制和维护的特点。
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公开(公告)号：CN112762807B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202011442503.6
申请日：2020-12-08
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明公开一种平面电机动子位移测量方法及装置，所述测量方法包括：在平面电机动子上在特定按椭圆轮廓或圆周轮廓上布置四个磁感应强度传感器，由所布置的四个传感器的采样信号处理后得到信号Bsx、Bcx、Bsy和Bcy，通过处理后的信号进行多项式计算即可完成测量。本发明所述方法根据周期性磁场的特点设计了传感器的通用排布形式，便于根据被测量装置的构型进行排布方案选择设计；利用磁场周期性特点进行测量，能够提高测量系统的分辨率，实现高度细分；测量方法计算简单，避免了超越函数的计算和解决象限判断问题使得计算简单，有利于实时高速运算。
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公开(公告)号：CN105403140B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201510959014.0
申请日：2015-12-18
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明是一种基于磁场的六自由度位移测量方法，该方法是利用合理分布的永磁体在空间内构建出特殊分布的磁场，在其产生的磁场空间范围内布置磁传感器，用于接收磁感应强度信号，并将磁传感器固结于运动物体上使之跟随运动，进而利用磁感应强度和空间位置坐标间的关系建立对应的数学模型求解位置方程，从而实现高精度的位移测量。本发明可解决由于安装位置或测量手段有限带来的在工业领域无法进行三自由度以及更高自由度的测量的问题。
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公开(公告)号：CN107748540A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710965002.8
申请日：2017-10-17
申请人： 清华大学
IPC分类号： G05B19/404
摘要： 一种基于牛顿法的多轴系统轮廓误差估计及迭代控制方法，属于多轴系统运动控制领域。所述方法利用牛顿法计算得到轮廓误差的准确值，并通过迭代学习的方式减小轮廓误差，以实现良好的多轴协调控制性能。所述方法中包括轮廓误差估计与轮廓误差控制两个部分：前者利用牛顿法，通过极值搜索的方式计算得到轮廓误差点(距离当前位置最近的期望点)；后者利用轮廓误差点与当前位置的偏差作为迭代信息，通过迭代的方式生成并优化轨迹前馈补偿，从而实现轮廓控制性能的提升。本发明利用了牛顿法数值计算精确的特点，有效克服了传统轮廓控制方法在复杂轮廓情况下跟踪不准确的问题，且控制器结构简单，能够实现优良的轮廓控制效果。
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公开(公告)号：CN106059418A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610438862.1
申请日：2016-06-17
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H02P21/00
CPC分类号： H02P21/0014
摘要： 一种永磁同步直线电机神经网络自适应轨迹跟踪控制方法，属于直线电机运动控制技术领域。该方法利用神经网络控制器的非线性映射能力建立永磁同步直线电机的模型估计与补偿环节，以实现电机良好的轨迹跟踪性能。所述控制方法中包括基于径向基函数(RBF)的神经网络控制器、带有反馈增益的鲁棒控制器两部分，分别用来进行模型估计补偿和抑制建模误差的影响；本发明利用了神经网络的非线性逼近特性，建立了永磁同步直线电机模型非线性补偿环节，有效克服了电机运行过程中死区、推力波动等非线性因素的影响，有较强抗干扰能力和良好的稳定性，可实现良好的轨迹跟踪性能。
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公开(公告)号：CN103034073B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210576830.X
申请日：2012-12-26
申请人： 清华大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸液回收板的侧面有一排小孔，小孔与硅片台外部的浸液回收容器相连接，用于浸没液体的回收，硅片台外围四边设置一套防撞气囊装置。当两硅片台完成交换时，硅片台上的浸液回收板设计保证了交换时浸液循环不用中断，提高了生产效率；气囊式防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。
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公开(公告)号：CN103759656A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410031251.6
申请日：2014-01-23
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、信号处理单元；光栅干涉仪包括侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至干涉仪、测量光栅后输出光信号至接收器，后至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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