公开(公告)号：CN100409273C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200510007748.5

申请日：2005-02-16

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： G09F9/00 ,  H01L21/67

摘要： 一种平板显示器(FPD)制造设备，其具有改进的结构，能减小将基板装载到装载锁定室中和从装载锁定室卸载基板所花费的时间，由此有效地处理大尺寸基板。

公开(公告)号：CN101093792A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710138190.3

申请日：2005-09-30

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曺生贤 ,  安贤焕 ,  孙石民 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  C23C14/22 ,  G02F1/133 ,  G09F9/00 ,  H01J9/00

摘要： 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。

公开(公告)号：CN101101862A

公开(公告)日：2008-01-09

申请号：CN200710138189.0

申请日：2005-09-30

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曺生贤 ,  安贤焕 ,  孙石民 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  G02F1/1333 ,  H01J9/00 ,  G09F9/00 ,  B01J3/00 ,  B01J3/03

摘要： 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。

公开(公告)号：CN1296878C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200410087112.1

申请日：2004-10-27

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 许光虎 ,  崔浚泳 ,  李哲源 ,  安贤焕 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： G09F9/30 ,  H01J9/00

CPC分类号： H01L21/68742 ,  H01L21/68778

摘要： 本发明公开了一种能够完成预定处理如真空时在衬片上沉积或者蚀刻的平板显示器制造装置。所述平板显示器制造装置具有一个置于平板显示器制造装置外部的销支承构件。销支承构件连接到多个抬升销以同时向上或者向下驱动所述抬升销，所述多个抬升销将一衬片从一下衬片抬升或者将该衬片放于下衬片上。因此，与常规的平板显示器制造装置相比，降低了平板显示器制造装置的内部容积，因此进行泵吸操作以对平板显示器制造装置内部施加高度真空的时间显著缩短。

公开(公告)号：CN1790611A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510107980.6

申请日：2005-09-30

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曺生贤 ,  安贤焕 ,  孙石民 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/3065 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10 ,  C23C14/22 ,  C23F4/00

摘要： 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。

公开(公告)号：CN1614656A

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN200410087112.1

申请日：2004-10-27

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 许光虎 ,  崔浚泳 ,  李哲源 ,  安贤焕 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： G09F9/30 ,  H01J9/00

CPC分类号： H01L21/68742 ,  H01L21/68778

摘要： 本发明公开了一种能够完成预定处理如真空时在衬片上沉积或者蚀刻的平板显示器制造装置。所述平板显示器制造装置具有一个置于平板显示器制造装置外部的销支承构件。销支承构件连接到多个抬升销以同时向上或者向下驱动所述抬升销，所述多个抬升销将一衬片从一下衬片抬升或者将该衬片放于下衬片上。因此，与常规的平板显示器制造装置相比，降低了平板显示器制造装置的内部容积，因此进行泵吸操作以对平板显示器制造装置内部施加高度真空的时间显著缩短。

公开(公告)号：CN101093793B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200710138191.8

申请日：2005-09-30

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曺生贤 ,  安贤焕 ,  孙石民 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  C23C14/22 ,  G02F1/133 ,  G09F9/00 ,  H01J9/00

摘要： 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。

公开(公告)号：CN1655209A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN200510007748.5

申请日：2005-02-16

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： G09F9/00

摘要： 一种平板显示器(FPD)制造设备，其具有改进的结构，能减小将基板装载到装载锁定室中和从装载锁定室卸载基板所花费的时间，由此有效地处理大尺寸基板。

公开(公告)号：CN1638084A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410090840.8

申请日：2004-11-12

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 许光虎 ,  崔浚泳 ,  李哲源 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/68

摘要： 公开了一种静电卡盘，其通过以下与基片进行点接触：使用多个支持球以使接触面积最小，以便于防止半导体基片的接触损坏；一种基片支持；一种用于基片固定的夹具；以及其制造方法。另外，公开了一种被用作在等离子体处理设备中提供的上电极或下电极的电极结构及其制造方法。

公开(公告)号：CN1661647B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200510008878.0

申请日：2005-02-24

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曹生贤 ,  安成一

IPC分类号： G09B9/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67236 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201

摘要： 公开了一种平板显示器(FPD)制造装置，其不仅包括装载闭锁室、进料室和加工室，其中至少一个具有垂直层叠室结构以增强衬底加工效率，而且包括用来在进料室中临时储存衬底的临时衬底储存空间以减少输送衬底所耗费的时间。公开了另一FPD制造装置，其包括装载闭锁室、连接到装载闭锁室的进料室、布置在进料室预定部位的临时衬底储存空间和连接到进料室的至少一个加工室。