一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

    公开(公告)号:CN113418946B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202110868750.0

    申请日:2021-07-30

    IPC分类号: G01N23/203 G01N23/20008

    摘要: 本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法,属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品;对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光,再采用乙醇对机械抛光面进行清洗;真空条件下,对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理,取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题,又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层,以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层,有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率,以便对金属钌进行微观组织与织构的研究;金属钌样品,标定率可达99%以上。

    一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

    公开(公告)号:CN113418946A

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN202110868750.0

    申请日:2021-07-30

    IPC分类号: G01N23/203 G01N23/20008

    摘要: 本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法,属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品;对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光,再采用乙醇对机械抛光面进行清洗;真空条件下,对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理,取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题,又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层,以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层,有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率,以便对金属钌进行微观组织与织构的研究;金属钌样品,标定率可达99%以上。

    一种贵金属超细丝材EBSD测试样品制备与表征方法

    公开(公告)号:CN111289546B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202010256805.8

    申请日:2020-04-02

    摘要: 本发明涉及一种贵金属超细丝材EBSD测试样品制备与表征方法。本发明将贵金属超细丝材样品拉展并粘接在双倾样品台斜面顶端,置于样品仓中选择样品截面制备及测试区域;倾转样品台,对视场中样品进行镀碳处理、离子束切割和离子束表面抛光处理得到无表面应力的贵金属超细丝材的截面观察样品,通过离子束通道衬度成像观察并获取丝材截面观察区域的微观组织结构形貌图像;倾转双倾样品台至观察截面与入射电子束角度呈70°,通过CCD探测器对超细丝材截面进行电子背散射衍射检测,得到样品微区截面的EBSD图像和晶体学信。本发明EBSD与离子束通道衬度像结合为贵金属超细丝材的微区分析提供更系统、更全面的数据支持,能扩展样品的综合分析范围。

    一种贵金属超细丝材EBSD测试样品制备与表征方法

    公开(公告)号:CN111289546A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN202010256805.8

    申请日:2020-04-02

    摘要: 本发明涉及一种贵金属超细丝材EBSD测试样品制备与表征方法。本发明将贵金属超细丝材样品拉展并粘接在双倾样品台斜面顶端,置于样品仓中选择样品截面制备及测试区域;倾转样品台,对视场中样品进行镀碳处理、离子束切割和离子束表面抛光处理得到无表面应力的贵金属超细丝材的截面观察样品,通过离子束通道衬度成像观察并获取丝材截面观察区域的微观组织结构形貌图像;倾转双倾样品台至观察截面与入射电子束角度呈70°,通过CCD探测器对超细丝材截面进行电子背散射衍射检测,得到样品微区截面的EBSD图像和晶体学信。本发明EBSD与离子束通道衬度像结合为贵金属超细丝材的微区分析提供更系统、更全面的数据支持,能扩展样品的综合分析范围。

    一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法

    公开(公告)号:CN112985956A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110175782.2

    申请日:2021-02-06

    IPC分类号: G01N1/32

    摘要: 本发明提供了一种制备化学气相沉积态铼EBSD样品的方法,从化学气相沉积铼样品上用电火花线切割的方法切得一块长方体,运用导电镶嵌料进行热镶嵌,将镶嵌好的样品用砂纸由粗磨到细磨光,将细磨后的样品用水溶性金刚石抛光膏抛光,抛光膏的稀释液用无水乙醇;再将机械抛光后的样品进行电解腐蚀;最后用清水将样品表面充分洗净,再用洗耳球将其吹干。本发明的有益效果是:采用本发明的机械抛光加腐蚀的方法制备EBSD样品,操作简单、方便、设备费用低廉;电解腐蚀所用的草酸酸性较弱,安全性系数较高;制备的EBSD样品能够很好的去除样品表面机械应力,不给表面带来污染及组织改变,获得高质量的EBSD测试样品。