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公开(公告)号：CN108302007A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201711418076.6
申请日：2017-12-24
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： F04B37/02
摘要： 本发明公开了一种低温离子泵，其特征在于，包括：壳体，其顶部设有吸入气体的开口；磁体，安装于所述壳体左右两侧表面；G-M制冷机，其包括分体连接的膨胀机和压缩机，所述壳体底部安装于所述膨胀机上；冷却台，连接所述膨胀机，通过所述壳体底部设有的通孔伸入所述壳体内；传热板，热连接安装于所述冷却台上表面；阴极板，热连接安装于所述传热板上；以及阳极筒，以任何方式绝缘地安装于所述壳体内，且位于所述阴极板间。本发明提供的低温离子泵可对阴极板进行可靠的制冷，显著增强对氢气以及部分稀有气体的排气能力。
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公开(公告)号：CN104061138B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201410093666.6
申请日：2014-03-13
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 谷津贵裕
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , B01D8/00 , F04B37/02 , F04B37/04 , F04B37/085
摘要： 本发明提供一种适于非冷凝性气体排出的低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备：放射屏蔽件（30），其具备划定屏蔽件开口（26）的屏蔽件前端（28）、屏蔽件底部（34）以及在屏蔽件前端（28）与屏蔽件底部（34）之间延伸的屏蔽件侧部（36）；以及低温板总成（20），被冷却至比放射屏蔽件（30）更低的温度。低温板总成（20）具备：第1板排列（61），具备多个第1吸附板（60）；以及多个第2板排列（63），各自具备多个第2吸附板（62）。第1板排列（61）与多个第2板排列（63）配合形成格栅状的多个吸附区段，所述多个吸附区段分别向屏蔽件侧部（36）露出。
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公开(公告)号：CN104797826A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060293.6
申请日：2013-03-14
申请人： 株式会社新柯隆
发明人： 税所慎一郎
IPC分类号： F04F9/00
CPC分类号： F23D91/04 , F04F5/20 , F04F5/40 , F04F9/00 , F24H2250/08 , H05B6/108 , F04B37/02 , F04B37/06 , F04B37/14
摘要： 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。
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公开(公告)号：CN102734124A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210108074.8
申请日：2012-04-13
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 福田奖
IPC分类号： F04B37/08
摘要： 本发明提供一种有助于降低消耗电力的低温泵及使用这种低温泵的真空排气方法。低温泵(10)具备用于冷却低温板的制冷机、及可从离子注入装置(1)接收表示其运行模式的控制信号且用于根据该控制信号控制制冷机的CP控制器(100)。运行模式包括向目标照射射束的照射模式与从目标移开射束或使射束以弱于该照射模式的级别继续存在的空闲模式。CP控制器(100)控制制冷机，以便在照射模式及空闲模式下将低温板冷却成保持气体分子的冷却温度，所述控制器在空闲模式期间的至少一部分中容许将冷却温度设为高于照射模式的温度。
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公开(公告)号：CN1097163C
公开(公告)日：2002-12-25
申请号：CN95197522.6
申请日：1995-11-30
申请人： 萨伊斯纯汽油有限公司
IPC分类号： F04B37/02
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/56 , C23C14/564 , F04B37/02 , F04B37/08
摘要： 一种吸气泵模件，其包括多个设有轴孔的吸气盘，和一个从该孔中贯穿延伸的、对该吸气盘进行支撑和加热的加热元件。该吸气盘最好是实心、多孔、烧结吸气盘，提供有与加热元件相接合的钛毂。提供有一绝热护板，保护吸气盘免受腔室内热源和散热的影响，且有助于吸气盘的快速恢复。在本发明的特定实施例中，该热护板是固定的，而在另一些实施例中，该热护板是活动的。在一个实施例中，提供有一个聚焦护板，将热能自外部加热元件反射给吸气材料，且提供高的泵抽速度。本发明的一个实施例还提供了一种旋转吸气元件以提高吸气材料的利用率。
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公开(公告)号：CN1170441A
公开(公告)日：1998-01-14
申请号：CN95196957.9
申请日：1995-10-30
申请人： 萨伊斯纯汽油有限公司
CPC分类号： C23C14/564 , C23C14/54 , C23C14/56 , F04B37/02 , F04B37/08
摘要： 一种晶片处理系统,它包括:处理室,连到处理室用于抽吸惰性和非惰性气体的低压泵,将惰性气体源连到处理室的阀门机构,配置在处理室内的现场吸气泵、此泵在惰性气体流入处理室的过程中抽吸某些非惰性气体,处理机构、用于处理设置在处理室内的晶片。优选地是,现场吸气泵可在几个不同的温度下运行,使得能在这些温度下优选地抽吸不同种类的气体。气体分析器用于自动控制吸气泵的温度,以便控制从处理室中抽吸的气体种类。本发明的处理晶片的方法包括以下步骤:在处理室内放置晶片并密封处理室、惰性气体流入处理室而利用外部低压泵和配置在室内抽吸非惰性气体的现场吸气泵同时抽吸处理室,并且处理室内的晶片而惰性气体继续流动。该方法优选地还包括以下步骤:监测室内的气体组成并在组成分析的基础上控制吸气剂材料的温度。
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公开(公告)号：CN106133314B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201580017115.4
申请日：2015-03-25
申请人： 工程吸气公司
摘要： 一种吸气剂泵，包括壳体(21、21’)和安装在所述吸气剂泵壳体(21、21’)内的多个吸气剂筒(22、23、24、25)，其中，所述壳体的形状为具有旋转轴(26)的旋转体，每个筒(22、23、24、25)包括线形中心支承件(221、231、241、251)和安装在所述线形中心支承件(221、231、241、251)上的间隔开的吸气剂元件，正交于旋转轴(26)并且与线形中心支承件(221、231、241、251)的中点相交的平面定义为吸气剂筒定位平面(222、232、242、252)，并且由所述定位平面(222、232、242、252)相对于线形中心支承件(221、231、241、251)而形成的角(α、α’、α”、α”’)介于35°与75°之间。
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公开(公告)号：CN106133314A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580017115.4
申请日：2015-03-25
申请人： 工程吸气公司
摘要： 一种吸气剂泵，包括壳体(21、21’)和安装在所述吸气剂泵壳体(21、21’)内的多个吸气剂筒(22、23、24、25)，其中，所述壳体的形状为具有旋转轴(26)的旋转体，每个筒(22、23、24、25)包括线形中心支承件(221、231、241、251)和安装在所述线形中心支承件(221、231、241、251)上的间隔开的吸气剂元件，正交于旋转轴(26)并且与线形中心支承件(221、231、241、251)的中点相交的平面定义为吸气剂筒定位平面(222、232、242、252)，并且由所述定位平面(222、232、242、252)相对于线形中心支承件(221、231、241、251)而形成的角(α、α’、α”、α”’)介于35°与75°之间。
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公开(公告)号：CN105464930A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201511017012.6
申请日：2015-12-29
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京航天长征飞行器研究所
摘要： 本发明涉及制冷机型低温泵技术领域，特别涉及一种用于低温泵的吸附盒，包括两个平行布置的主冷凝板，两个主冷凝板的边缘处通过次冷凝板固定连接，主、次冷凝板形成空心的盒状，盒腔中设置有传热支撑架；主、次冷凝板上开设有孔洞，传热支撑架和/或主、次冷凝板的内侧固定设置有活性炭颗粒。采用盒式结构，其外部六个面均是低温泵主要的冷凝抽气面，盒子内部全为吸附抽气面，冷凝和吸附抽气面积更大，抽气能力更强，同时被抽气体在盒子内被吸附，气体进入盒子内后很难再逃逸，大大提升了吸附抽气性能和能力；另外，此种吸附阵加工制作简单，不需要特别工装设备。
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