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    一种扫描隧道显微镜针尖加热装置
    1.
    发明授权
    一种扫描隧道显微镜针尖加热装置 失效

    公开(公告)号：CN101655441B

    公开(公告)日：2011-04-13

    申请号：CN200910307973.9

    申请日：2009-09-29

    申请人： 南京大学

    发明人： 丁海峰 ,  孙亮 ,  曹荣幸

    IPC分类号： G01N13/12

    摘要： 一种扫描隧道显微镜针尖加热装置，用电子束加热针尖的装置，包括一个电子束针尖加热载体；所述载体包含有两根灯丝；两根灯丝都装置于一对接触臂之间；所述一对接触臂和上述的电子束针尖加热载体其它部分绝缘；还包含有一个基台，所述基台是用于装载上述电子束针尖加热载体并给钨丝和针尖供电的；所述的电子束加热针尖支架还包括一个针尖支架；所述针尖支架中包含有一个绝缘于所述针尖支架的其它部分但和针尖导通且单独给针尖加电势的柱子。

    基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置
    2.
    发明授权
    基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置 失效

    公开(公告)号：CN100547346C

    公开(公告)日：2009-10-07

    申请号：CN200610129814.0

    申请日：2006-12-04

    申请人： 天津大学

    发明人： 栗大超 ,  李源 ,  赵大博 ,  傅星 ,  胡小唐

    IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01B7/00 ,  G01B7/02 ,  G01B7/28 ,  G01L1/14 ,  G01L1/18 ,  G01L1/24 ,  G01N13/16 ,  G01N13/12

    摘要： 本发明公开一种基于纳米测量机和微触觉测头的微几何量测量装置，包括有作为定位测量平台的纳米测量机，还设置有能够对微器件和微结构的几何量进行测量的基于压阻检测的微触觉测头系统，所述的悬臂梁式微触觉测头系统是通过设置在纳米测量机上部的固定支架被固定在纳米测量机的上部。本发明克服了以原子力显微镜和扫描隧道显微镜为代表的扫描探针显微技术在测量范围上的局限性，拓展了光学测量等其他测量手段的测量对象的范围，实现对包括微力、位移、尺寸、形貌特征等参数在内的微结构几何量的测量和表征。解决了在微加工制造和微结构测试领域对几何量测量的方法和装置的迫切需求。本发明提高了测量的精度，将测量范围延展到微观领域。

    大行程平面三自由度精密微动装置及其控制方法
    3.
    发明公开
    大行程平面三自由度精密微动装置及其控制方法 失效 许可

    公开(公告)号：CN101441319A

    公开(公告)日：2009-05-27

    申请号：CN200810243255.5

    申请日：2008-12-19

    申请人： 中国矿业大学

    发明人： 李威 ,  杨雪锋 ,  王禹桥 ,  叶果

    IPC分类号： G02B21/26 ,  G01N13/16 ,  G01N13/12

    摘要： 一种大行程平面三自由度精密微动装置及其控制方法，包括控制器，压电驱动器电源，工作平台，依次设在工作平台下方的光学透镜和二维光电位置灵敏探测器；工作平台的外框内设有平动平台，平动平台内设有可转动的载物台，控制器通过光学透镜和二维光电位置灵敏探测器检测载物台的位移，并与预设的位移量进行对比，得出需要的控制电压，然后通过压电驱动器电源驱动相应的平动驱动器或转动驱动器工作，形成反馈控制，使载物台实现前后左右平动和绕中心转动三个自由度。柔性铰链均呈对称布置，有利于消除运动方向上的耦合，且工作行程大、定位精度高、运动无间隙；整个系统结构紧凑，可实现微米级到亚微米级的运动控制，易于实现小型化。

    偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜
    4.
    发明公开
    偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜 失效

    公开(公告)号：CN1963452A

    公开(公告)日：2007-05-16

    申请号：CN200610097197.0

    申请日：2006-10-31

    申请人： 中国科学技术大学

    发明人： 陆轻铀

    IPC分类号： G01N13/12

    摘要： 本发明偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜，特征是探针架固定于Z定位器或XYZ定位器一端、样品架固定于基座，探针架和样品架位置可互换，固定在探针架上的探针指向样品架上的样品，电流源连接探针和样品构成的隧道结，该隧道结电压信号输入到缓冲器，由该缓冲器给出输出信号。调节样品－探针间距Z时可测V－Z谱；用交流电流源时可测dV/dI谱；用XYZ定位器时可测等高电压图像。如接入反馈控制器则可测样品恒流等电压图像。本发明利用了隧道结本身既有高阻特性可放大弱电流，且又寄生电容较小可提高带宽，使测量带宽和增益同时获得提高，并能改善灵敏度和信噪比；测量V－Z谱也比现有扫描隧道显微镜更简单、精确。

    具有增强电子云作用的扫描探针及扫描隧道显微镜
    5.
    发明授权
    具有增强电子云作用的扫描探针及扫描隧道显微镜 失效

    公开(公告)号：CN1260559C

    公开(公告)日：2006-06-21

    申请号：CN200410014818.5

    申请日：2004-04-29

    申请人： 中国科学技术大学

    发明人： 杨圣 ,  江兵

    IPC分类号： G01N13/12

    摘要： 本发明涉及扫描隧道显微镜的结构改进，特别涉及其扫描探针的结构改进。所述场增强扫描探针，是在现有扫描隧道显微镜扫描探针的外表面设有两层镀层，与探针表面直接接触层是绝缘镀层，外层为贵重金属镀层，在该贵重金属镀层上设置连有导线的电极。该电极的引出导线与超净控制电压源场增强偏压输出端口接通，超净控制电压源中的场增强偏压放大模块是通用的高压放大模块，此高压放大模块与计算机DA卡相应端口接通。所述扫描隧道显微镜扫描探针的接入电压为1～2V的正偏压，贵重金属镀层的接入电压为50～300V正偏压。本发明在现有的扫描隧道显微镜扫描探针上增设场增强层，增强被测样品表面电子云的分布，从而使扫描隧道显微镜能用以观测半导体、非导体材料。

    红外焦平面探测器的铟柱成球方法
    8.
    发明公开
    红外焦平面探测器的铟柱成球方法 失效

    公开(公告)号：CN1587958A

    公开(公告)日：2005-03-02

    申请号：CN200410053174.0

    申请日：2004-07-27

    申请人： 中国科学院上海技术物理研究所

    发明人： 叶振华 ,  胡晓宁

    IPC分类号： G01N1/28 ,  G01N13/12

    摘要： 本发明的红外焦平面探测器的铟柱成球方法是采用氩等离子体和含蚁酸气体的氮气流来取代助熔剂的铟柱回熔成球技术。在铟柱回熔过程中，氩等离子体和含蚁酸气体的氮气流是在同一个腔室内完成对铟柱回熔处理的。氩等离子体主要是用于预清洗样品和击碎铟柱表面的氧化层；含蚁酸的氮气流是用以去除铟柱内铟晶粒间界面氧化层以加速铟柱回熔成球过程，并降低铟回熔的温度。这种无助熔剂的铟柱成球技术，避免了助熔剂在回熔后会侵蚀铟柱，提高了红外焦平面探测器的可靠性和延长了其储存寿命。

    适用于扫描隧道显微镜的扫描方法
    9.
    发明授权
    适用于扫描隧道显微镜的扫描方法 失效

    公开(公告)号：CN1126950C

    公开(公告)日：2003-11-05

    申请号：CN01123918.2

    申请日：2001-08-03

    申请人： 天津大学

    发明人： 傅星 ,  胡小唐 ,  魏小雷

    IPC分类号： G01N13/12

    摘要： 一种适用于扫描隧道显微镜的扫描方法，即：隧道电流经过测头的放大器放大为0～5V的电压，经过16位的A/D转换器转换成数字信号进入计算机；计算机按照符合控制程序进行比较运算，不符合，继续进行位移调节；符合，计算机发出控制信号，经X方向(如果X方向扫描到最大点位置，则为Y方向)的20位的D/A转换器转换成0～10V的电压信号，送入X方向(如果X方向扫描到最大点位置，则为Y方向)的高压发生器，由高压发生器进行电压及功率放大，放大为0～300V的电压，加到压电陶瓷上，使探针产生X方向(如果X方向扫描到最大点位置，则为Y方向)预定的一个位移量，重复此过程，至X、Y均为最大值时结束。本发明提高了显像速度，并保证了测量精度。