一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110927094B

    公开(公告)日:2021-04-20

    申请号:CN201911161561.9

    申请日:2019-11-20

    IPC分类号: G01N21/3504

    摘要: 本发明公开了一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法,属于红外气体传感器技术领域。该传感器包括光电探测器、MEMS红外光源、上层硅片、下层衬底和信号处理ASIC芯片;所述上层硅片和下层衬底键合形成气室,气室内蒸镀有反射层,硅片键合面上分布有气体扩散槽;所述光电探测器、MEMS红外光源和信号处理ASIC芯片设于所述气室上部,在所述上层硅片上开设有分别对准所述光电探测器和MEMS红外光源的光电探测器窗口和红外光源窗口,MEMS红外光源发出的光从红外光源窗口入射至所述反射层,发生多次反射后进入光电探测器。本发明利用MEMS工艺实现了NDIR气体传感器的进一步微型化、全集成,并提高了灵敏度。

    一种餐厨垃圾快速预处理的方法及设备

    公开(公告)号:CN110180863B

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201910420354.4

    申请日:2019-05-20

    IPC分类号: B09B3/00 B09B5/00 C05F9/02

    摘要: 本发明属于餐厨垃圾处理技术领域,并具体公开了一种餐厨垃圾快速预处理的方法及设备。该方法包括向待预处理的餐厨垃圾中加水并将其粉碎后送入微波热水解装置中进行热水解反应,待反应结束后,将气体产物净化后排出,然后将固液产物逐级分离获得固体产物、油脂和废水,收集固体产物和油脂用于进行再利用,将废水处理后排放,其中热水解反应的温度和时间是根据固体产物的再利用方式设定的。本发明采用微波热水解技术处理餐厨垃圾,在较温和的反应条件下能够最大程度保留餐厨垃圾的有机质并提高产物的热值,同时根据固体产物的再利用方式设定热水解的温度和时间,可有效解决因反应条件单一造成的餐厨垃圾处理效果不佳,固体产物利用率较低的问题。

    一种基于激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用

    公开(公告)号:CN112028013A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN202011076055.2

    申请日:2020-10-10

    IPC分类号: B81C1/00 B81B7/04

    摘要: 本发明属于激光应用技术领域,更具体地,涉及一种基于飞秒激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用。本发明首先将金属氧化物前驱体与溶剂混合制备得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶,接着将该溶胶凝胶涂覆于衬底表面得到凝胶薄膜,进行飞秒激光直写,利用飞秒激光高峰值功率产生的能量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物微纳结构。本发明通过飞秒激光直写技术直接实现金属氧化物微纳结构的制备,由于飞秒激光峰值功率高,可直接烧结出金属氧化物,不需要其他处理,方便快捷。适用于任意亲疏水基底,可实现高精度、跨尺度、高定向的任意金属氧化物微纳结构的制备。

    一种可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106814110B

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201710007556.7

    申请日:2017-01-05

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种具有微褶皱薄膜结构的可拉伸半导体电阻式柔性气体传感器及其制备方法。采用可拉伸的绝缘衬底‑聚丙烯酸酯双面泡绵胶带(VHB),将其单向预拉伸一定的程度固定在刚性基底上;在预拉伸状态的VHB衬底上进行图案化的石墨烯电极和胶体量子点薄膜的制备,继而缓慢回缩VHB衬底完成传感器制备。上述方法中制备的气体传感器具有微褶皱薄膜结构的气敏层和图案化的石墨烯电极,该气体传感器具有可拉伸的柔性特征,传感器的制作温度和工作温度可低至室温,室温下可检测气体浓度的瞬间或微量变化,响应恢复速度快且灵敏度高,同时该气体传感器具有抗环境湿度干扰特性,具有更好的长期稳定性。

    一种污泥水分脱除同时制备固体燃料的方法及产品

    公开(公告)号:CN108358421B

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201810107019.4

    申请日:2018-02-02

    摘要: 本发明提供了一种污泥水分脱除同时制备固体燃料的方法,包括如下步骤:步骤S01:对湿污泥进行加热预处理,得到热调理污泥;步骤S02:热调理污泥冷却后得到冷态污泥,向冷态污泥中加入增碳调理剂并混合均匀,得到增碳调理污泥;步骤S03:对增碳调理污泥进行脱水处理;步骤S04:对脱水后的增碳调理污泥进行热干化,得到固体污泥燃料。本发明污泥预处理中热调理工艺以及调理污泥显热直接利用系统的联合运用,避免了能耗过高的问题,在合理的能耗范围内融合了热调理污泥改性后固硫固氯以及固氮固磷能力提高、束缚水含量减少等优势。

    一种基于温湿调控快速干燥含湿物料的系统

    公开(公告)号:CN110081667B

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201810073806.1

    申请日:2018-01-25

    摘要: 本发明公开了一种基于温湿调控快速干燥含湿物料的系统,该系统包括预混合装置、输送装置、空气降湿装置、加热装置、干燥装置和尾气处理装置。物料在预混合装置搅拌,由传送带输送至干燥装置;空气源热泵出口的冷、湿空气通入干燥器中除湿后,进入加热装置;加热装置包括空气源热泵、空气加热室和太阳能集热装置,水首先经空气源热泵加热,后通到太阳能集热装置加热。空气经过空气源热泵、干燥器,在空气加热室加热,通过管道吹入干燥装置;干燥装置包括干燥室、加热室和物料收集箱,物料从底部掉落至物料收集箱内,尾气从上方进入尾气处理装置;尾气处理装置包括水汽分离器和尾气处理器。整个系统通过能量梯级利用和温湿调控提高了干燥效率。

    一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110927094A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911161561.9

    申请日:2019-11-20

    IPC分类号: G01N21/3504

    摘要: 本发明公开了一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法,属于红外气体传感器技术领域。该传感器包括光电探测器、MEMS红外光源、上层硅片、下层衬底和信号处理ASIC芯片;所述上层硅片和下层衬底键合形成气室,气室内蒸镀有反射层,硅片键合面上分布有气体扩散槽;所述光电探测器、MEMS红外光源和信号处理ASIC芯片设于所述气室上部,在所述上层硅片上开设有分别对准所述光电探测器和MEMS红外光源的光电探测器窗口和红外光源窗口,MEMS红外光源发出的光从红外光源窗口入射至所述反射层,发生多次反射后进入光电探测器。本发明利用MEMS工艺实现了NDIR气体传感器的进一步微型化、全集成,并提高了灵敏度。

    一种半导体薄膜光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110299430A

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201910490246.4

    申请日:2019-06-06

    IPC分类号: H01L31/18

    摘要: 本发明属于半导体光电子器件领域,公开了一种半导体薄膜光电探测器及其制备方法,其中制备方法包括以下步骤:(1)配制用于生长硫属化合物光敏半导体薄膜的前体溶液,将洁净的衬底浸入前体溶液中进行一次化学浴沉积,对应得到20-500nm厚的薄膜,利用仅一次化学浴沉积或重复多次化学浴沉积生长得到厚度达到目标要求的硫属化合物光敏半导体薄膜;(2)将衬底进行整体退火敏化处理;制作电极即可得到半导体薄膜光电探测器。本发明通过对制备方法整体流程工艺设计、以及关键化学浴沉积的参数条件等进行改进,能够解决现有半导体薄膜光电探测器制备条件复杂、大规模生产成本高昂、工艺可靠性低和难以实现柔性化的问题。

    一种基于量子点的电子鼻芯片及其设计方法

    公开(公告)号:CN109781947A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201910143612.9

    申请日:2019-02-27

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本发明属于半导体器件与集成系统技术领域,具体公开了一种基于量子点的电子鼻芯片及其设计方法,其中设计方法包括以下步骤:(1)电子鼻芯片上气体传感器阵列的设计:(1-1)以量子点材料作为嗅觉受体材料,设计量子点气体传感器单元,设计得到在衬底上的电阻型或场效应晶体管型传感器单元;(1-2)基于量子点气体传感器单元设计采用MEMS或TFT器件结构的量子点传感器阵列;(2)设计信号处理单元与微控制单元。本发明使用量子点材料作为嗅觉受体材料,设计并制备微纳气体传感器,结合MEMS和TFT器件结构得到传感器阵列,并在芯片上集成包含模式识别算法的MCU和信号处理单元,可得到高灵敏、小体积、低功耗的量子点电子鼻芯片。