一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法

    公开(公告)号:CN115355853B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202210550265.3

    申请日:2022-05-20

    Abstract: 本发明公开了一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法,掘进机,包括主驱动轴、主轴承、前轴承座、后轴承座和超声波位移传感器,主轴承套设于主驱动轴上,前轴承座和后轴承座安装在主轴承两侧以支撑并固定主轴承,在后轴承座上开设安装通孔,超声波位移传感器设置在所述安装通孔内,超声波位移传感器的声波发射端与主轴承的内圈端面正对。本发明能够实现主轴承游隙的非接触式在线连续测量,避免了接触式测量可能造成的碰撞、冲击等不利影响。

    一种引线加固型探针式薄膜热电偶的封装结构

    公开(公告)号:CN115420390B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202211049653.X

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 本发明公开了一种引线加固型探针式薄膜热电偶的封装结构,所述耐高温柱状陶瓷基底的上端为平面结构,耐高温柱状陶瓷基底的下端自耐高温金属螺纹套管的上端插入于耐高温金属螺纹套管内,耐高温绝缘陶瓷引线固定套管自耐高温金属螺纹套管的下端插入于耐高温金属螺纹套管内,且耐高温柱状陶瓷基底的下端插入于耐高温绝缘陶瓷引线固定套管的上端内,螺帽套接于耐高温金属螺纹套管的下端上;耐高温金属螺纹套管的外壁设置有外螺纹,耐高温柱状陶瓷基底的外壁上沿轴向分别设置有两个直槽,其中,一个直槽内设置有正极敏感薄膜,另一个直槽内设置有负极敏感薄膜,该结构能够满足高温流场环境下的温度测量,同时安装较为方便。

    一种低串扰多冗余薄膜压力传感器芯体及制备方法

    公开(公告)号:CN118275025A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410531765.1

    申请日:2024-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种低串扰多冗余薄膜压力传感器芯体及制备方法,属于微纳传感器技术领域,传感器芯体包括连接在一起的上层应变结构和下层弹性结构;所述上层应变结构包括至少两个应变单元和外接于应变单元外的环形键合结构,所述应变单元包括依次连接的扇形键合结构、一组受拉应变梁和一组受压应变梁;所述下层弹性结构包括压力腔壁,所述压力腔壁内设置有环形弹性膜片,所述环形弹性膜片上方设置有岛状键合结构;环形弹性膜片下方具有压力槽;所述压力腔壁、环形弹性膜片与圆形岛状键合结构间形成环形凹槽。该压力传感器芯体能有效降低电阻间的串扰,不同应变单元间串扰极低,每个应变单元均能独立实现压力测量。该结构能够保证传感器具有较高的冗余度。

    一种基于有机电化学晶体管的柔性压痛传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117396002A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311332727.5

    申请日:2023-10-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于有机电化学晶体管的柔性压痛传感器及其制备方法,该痛觉感受器的结构从下到上依次包括柔性衬底、源漏电极、半导体通道、多孔凝胶介电层、栅电极和表面封装层。通过旋涂固化工艺依次完成衬底层、封装层、半导体通道层的制备;通过蒸镀工艺实现源漏电极和栅电极的制备;通过浇注并刻蚀自组装形成的可溶性牺牲模板获得多孔凝胶介电层。压力作用下,多孔凝胶介电层与栅电极的接触面积发生变化,改变了双电层电容,进而控制凝胶中的离子对半导体通道层的掺杂与去掺杂过程,实现痛觉传感器的四大关键特性:阈值、放松、不适应和痛觉敏化。在医疗康复、人体假肢以及类人机器人等领域具有巨大的应用前景。

    一种基于电容阵列的多模态柔性触觉传感器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN117288352A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202310487069.0

    申请日:2023-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于电容阵列的多模态柔性触觉传感器及其制备方法与应用,传感器包括下电极层、上电极层以及夹在两电极层之间的多孔结构介电层,上、下电极层均由封装基底层、图案化电极层以及辅助键合层组成。图案化电极层包括m×n个电极单元、电极引线及引脚,上、下电极单元与夹在中间的介电层结构组成一个电容传感单元。使用导电银胶将图案化电极的各引脚与金属导线层连接。本发明的基于电容阵列的多模态柔性触觉传感器,既可以实现简单形式的压力、应变信号检测和压力与应变信号同时检测时的解耦识别,又能够完成滑动轨迹、多点压力及压力分布等复杂信号的检测识别,在多功能多种物理量检测领域具有重要的应用前景。

    一种抗交叉耦合的温度-压力集成传感阵列及其制备和封装方法

    公开(公告)号:CN117232576A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311122279.6

    申请日:2023-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种抗交叉耦合的温度‑压力集成传感阵列及其制备和封装方法。所述的温度‑压力集成传感阵列由下至上包括柔性基底、敏感层衬底、压力敏感单元、温度敏感单元、电极引线、柔性顶盖;压力与温度的测量均采用电阻式在平面内实现高效集成,提高了传感器阵列的多参量获取能力;通过隔离空腔设计,提升柔性传感器阵列抗交叉耦合的能力,使得该传感器阵列具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器阵列的制备方法,制备精度高,加工一致性好,易于批量化生产。本发明所述的传感器阵列的封装方法,实现了柔性基底、敏感层衬底和柔性顶盖快速、牢固、不可逆的异质室温键合,保证了传感器的稳定性与可靠性。

    一种全光纤系统的二维位移扫描测磁平台及其测磁方法

    公开(公告)号:CN116718961A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202310734907.X

    申请日:2023-06-20

    Abstract: 一种全光纤系统的二维位移扫描测磁平台及其测磁方法,平台包括激光源及微波源,激光源激发集成磁力探针内的金刚石产生荧光信号,荧光信号依次通过宽带多模光纤环形器、第三光纤转换接头,进入光电探测器检测后,再通过锁相放大器解调后反馈到上位机;测磁方法标定磁场线圈确定与三轴笛卡尔坐标系下的角度、磁场大小,利用标定磁场确定NV色心的四个中心轴,测量待测磁场的ODMR谱图后,再测量标定磁场与待测磁场的叠加场,最后得出待测磁场在标定磁场坐标系下的磁场值;本发明的宽带多模光纤环形器有效地分离了金刚石发出的激光和荧光,取代了传统的二向色镜;使得本发明相比于传统的共聚焦系统,器件集成化程度高,测试方便准确,可用于实验室外的远程磁测。

    一种基于3D打印有序多孔介电层的柔性触觉传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116519173A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310484829.2

    申请日:2023-04-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于3D打印有序多孔介电层的柔性触觉传感器及其制备方法,传感器自上而下依次为上封装基底层、上电极层、上辅助键合层、多孔介电层、下辅助键合层、下电极层、下封装基底层。通过旋涂固化工艺依次完成封装基底层、电极层、辅助键合层的逐层堆叠;通过浇注并刻蚀3D打印的可溶性多孔牺牲模板获得具有内部有序多孔微结构的介电层;通过氧等离子体处理上下辅助键合层和介电层的表面实现表面活化,将处理后的表面贴合完成辅助键合层和介电层的键合,最终完成传感器的制备。本发明具有工艺简单易行、加工成本低、传感器结构一致性好、性能可调控性高等特点,内部有序多孔介电层可以提高柔性触觉传感器的灵敏度和耐用性等性能。

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