-
公开(公告)号：CN116479509A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202210050192.1
申请日：2022-01-17
申请人： 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种可控制溢流边缘波动的电镀槽及电镀装置，其中，可控制溢流边缘波动的电镀槽包括槽体和设置于槽体上的溢流装置，槽体内可盛放电镀液，溢流装置包括溢流环和若干个支撑柱，溢流环经支撑柱支撑于槽体的上表面，槽体上表面与溢流环之间形成溢流口。本发明提供的可控制溢流边缘波动的电镀槽及电镀装置，通过溢流装置的设置，当槽体的进液量小于或等于预设值时，槽体中溢流出的电镀液从溢流口流出，当槽体的进液量大于预设值时，从槽体中溢流出的电镀液则从溢流口以及溢流环上表面流出，由此消除了晶圆最外圈处的液体波动，保证了晶圆最外圈电镀的均匀性。
-
公开(公告)号：CN116479507A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310455943.2
申请日：2023-04-25
申请人： 惠州顺科电镀有限公司
发明人： 曾林青
摘要： 本发明公开了一种半导体薄膜电镀铜工艺及加工装置，本发明涉及电镀加工技术领域，包括电镀容器，该电镀容器的外表面固定连接有升降柱，电镀容器的内表面安装有加热器，电源组件的正极安装有铜板，U形导杆的底部中央位置固定连接有受力凸起，U形导杆的外表面顶部固定连接有夹紧组件，夹紧组件的顶部固定连接有复位弹性条，复位弹性条的顶部与顶帽的内表面顶部固定连接，连接凸台的外表面固定连接有拨动叶片，连接凸台的外表面边缘设置有旋转顶动组件。该半导体薄膜电镀铜工艺及加工装置，达到了快速电镀的效果，可对电镀液进行搅动，使得电镀液温度均匀，同时可使得半导体物件均速移动，促进电镀层均匀性好。
-
公开(公告)号：CN116344669A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310121468.5
申请日：2023-02-14
申请人： 通威太阳能(成都)有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , C25D3/38 , C25D5/54 , C25D7/12 , H01L31/20 , H01L31/0224 , H01L31/0747
摘要： 本发明提供了一种太阳电池及其制备方法，制备方法包括以下步骤：提供太阳电池基底，该太阳电池基底的表面具有铜种子层；在铜种子层上形成负性感光胶层；对负性感光胶层依次进行曝光和第一显影，以在负性感光胶层上形成图形化凹槽；对第一显影后的太阳电池基底依次进行除油处理，以增加图形化凹槽底部两侧的负性感光胶在显影液中的溶解度；对除油处理后的负性感光胶层进行第二显影；在第二显影后的图形化凹槽内电镀形成铜栅线。本发明的制备方法能够有效改善铜栅线断栅和虚断的情况，提高太阳电池的生产良率和转换效率。
-
公开(公告)号：CN116288625A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310119747.8
申请日：2023-02-15
申请人： 苏州太阳井新能源有限公司
摘要： 本发明公开了一种光伏电池片电镀用夹具及具有该夹具的电镀设备，其中，夹具包括框架主体，框架主体上开设有多个沿厚度方向贯穿框架主体且用于放置电池片的容置口，每个容置口附近均设置有用于夹持固定电池片的夹持装置，夹持装置包括夹持组件，夹持组件包括第一夹持件与夹持配合件，第一夹持件与夹持配合件能够配合以夹持或者松开电池片。电镀设备包括设备主体及的夹具，夹具可拆卸的安装在设备主体上。夹具的多个容置口上能够夹持固定多个电池片，使得多个电池片能够同时被电镀，提升了夹具的夹持效率，进而提升了电镀设备对电池片的电镀效率。
-
公开(公告)号：CN115896881B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211441268.X
申请日：2022-11-17
申请人： 安徽建筑大学
摘要： 本发明公开了可防止偏移的半导体晶圆片电镀系统，属于半导体领域，包括以下步骤：S1、配置预处理液，并将预处理液连接喷洒模块，利用喷洒模块喷出；S2、将半导体晶圆片放置在处理装置内部，利用夹持模块进行夹持；S3、将处理装置整体放置在预处理液内部，利用转动部件对处理装置整体进行转动；S4、将处理装置整体从预处理液取出，并将处理装置整体倒置，利用喷洒模块对半导体晶圆片底部进行预处理；S5、烘干部件对半导体晶圆片进行烘干，随后利用电镀模块进行电镀处理。本申请通过采用在对半导体晶圆片进行加工之前进行充分的预处理，保证半导体晶圆片的外表没有浮尘或者杂质，保证半导体晶圆片的正常使用。
-
公开(公告)号：CN116240597A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202211706098.3
申请日：2022-12-29
申请人： 华为技术有限公司 , 深圳市联合蓝海黄金材料科技股份有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种电镀金镀液，包括：作为金源的氰化亚金盐、草酸盐、含铅化合物、水溶性多糖类物质和有机酸传导介质；其中，有机酸传导介质包括有机膦酸或其盐。在所述有机酸传导介质与其他组分的协同配合下，可以保证该镀液的电传导速率较高、电镀所得金凸块的表面平整度高及热处理后硬度高，特别适合小间距的半导体基片与基板之间的可靠互连。本申请实施例还提供了上述电镀金镀液的相关应用。
-
公开(公告)号：CN116234945A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202280004538.2
申请日：2022-02-07
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 在具有遮蔽构件的镀覆装置中，将电阻体配置为接近基板的被镀覆面，由此提高镀覆膜厚的分布的均等性。镀覆装置包括：镀覆槽(410)，其构成为收容镀覆液；基板支架(440)，其构成为对被镀覆面(Wf‑a)朝向下方的基板(Wf)进行保持；阳极(430)，其配置于镀覆槽(410)内；电阻体(450)，其配置于基板(Wf)与阳极(430)之间，并具有与被镀覆面(Wf‑a)对置的对置面(450‑a)，该电阻体的对置面(450‑a)具有第1对置面(450‑a1)和比第1对置面(450‑a1)远离被镀覆面(Wf‑a)的第2对置面(450‑a2)；以及遮蔽构件(481)，其配置于由第2对置面(450‑a2)形成的电阻体(450)的凹陷区域(β)，并用于遮蔽电场。
-
公开(公告)号：CN116219521A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310016450.9
申请日：2023-01-06
申请人： 广西华芯振邦半导体有限公司
发明人： 王政雄
摘要： 本发明公开了一种具有辅助震荡混合结构的晶圆电镀装置，包括基座和固定架，所述基座顶部设置有循环箱，且循环箱的顶部设置有电镀池，所述电镀池的上方设置有承载板，且承载板通过立柱与基座连接，所述循环箱的顶部通过循环管道与电镀池的底部连接，且电镀池设置有混合组件，所述电镀池的内部设置有多孔滤板，且多孔滤板的底部安装有震动马达，同时多孔滤板的正上方设置有移动架，所述固定架固定连接在移动架的顶部。该具有辅助震荡混合结构的晶圆电镀装置，第一马达可带动混合架旋转对电镀液进行混合，从而便于促进的电镀液的流动，同时便于使电镀液与工件充分接触，震动马达可通过移动架带动工件运动，从而便于提高工件的电镀效率。
-
公开(公告)号：CN114262927B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202111412286.0
申请日：2021-11-25
申请人： 绍兴同芯成集成电路有限公司
摘要： 本发明提出了一种用于基板的电镀装置及电镀方法，电镀装置用于进行基板的电镀，电镀装置具有盛放电解液的电镀腔，待电镀基板置于电镀腔的电解液中并与电源正极连接，待电镀基板的至少一侧具有连接电源负极的阳极板，阳极板与待电镀基板之间具有绝缘板，绝缘板上具有多个通孔。在对基板进行电镀时，绝缘板在电解液中摆动，电镀离子穿过通孔流向基板，并电镀至基板表面。根据本发明提出的用于基板的电镀装置及电镀方法，可以在基板表面产生从整体到局部均处于均匀状态的电场分布，并最终提高基板表面的电镀质量。
-
公开(公告)号：CN116190467A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310009027.6
申请日：2023-01-04
申请人： 浙江晶科能源有限公司 , 晶科能源股份有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18 , C25D7/12 , C25D5/12
摘要： 本申请涉及一种太阳能电池及太阳能电池的制备方法，太阳能电池包括基板，基板的表面具有镀层，镀层沿所述太阳能电池的宽度方向间隔设置，其中，镀层具有多个凹坑，且凹坑的至少部分能够相互重叠，凹坑能够增加镀层的比表面积，从而提高其他金属与镀层的结合力，太阳能电池的制备方法包括：在镀液中添加乳化剂、导电颗粒和非导电颗粒中的一种；使用镀液对基板进行处理，在基板表面形成具有凹坑的镀层，从而增大镀层的比表面积，提高镀层与其他金属的结合力，从而降低所生产的太阳能电池发生脱栅的可能性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
2825 条记录 (耗时 0.032 秒)
