基于衬底偏压技术的硅基功率器件结构

    公开(公告)号:CN102412297A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201110241746.8

    申请日:2011-08-16

    Inventor: 李琦 左园

    Abstract: 本发明属于半导体功率器件技术领域。基于衬底偏压技术的硅基功率器件是通过导电类型相反的复合衬底结构形成反向偏置的PN结,衬底电场调制体内电场分布,降低纵向电场峰值,而且使器件纵向由常规功率器件的承担全部阻断电压变为仅承担阻断电压的一部分,二者使得器件耐压提高,改善功率器件在导通电阻和击穿电压间的折中关系。利用本发明提供的硅基衬底偏压技术,可灵活结合多种表面终端技术设计器件结构。利用本发明可制作各类性能优良高耐压器件,例如横向双扩散场效应晶体管、PN二极管和横向绝缘栅双极型功率晶体管等功率器件。

    基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件

    公开(公告)号:CN113871478B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202111025927.7

    申请日:2021-09-02

    Abstract: 本发明公开一种基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件,在传统AlGaN/GaN HEMT器件中引入底部栅极,通过背栅与顶栅控制沟道,实现具有P沟道特性的HEMT器件。一方面,通过顶部栅极偏置电压,使得器件处于关断状态。降低底部栅极偏置电压,削弱顶部栅所产生的电场,使得沟道二维电子气重新产生,实现P型沟道器件特性。另一方面,在开态下,进一步减小底部栅极偏置电压,异质结界面三角形势阱的深度增加,从而增大器件的开态电流。本发明实现的是一种基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件,避免了传统HEMT器件的无法实现二维空穴气,P型沟道的HEMT器件难以制造的难题,为实现具有P型沟道特性的HEMT器件提供新的思路。

    一种基于柔性衬底的铁电存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117241590A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311191610.X

    申请日:2023-09-15

    Abstract: 本发明属于微电子存储器技术领域,公开了一种基于柔性衬底的铁电存储器及其制备方法,铁电存储器包括云母基底层、缓冲层、底电极层、BaTiO3铁电功能氧化物层和Pt上电极层;其制备方法包括:S1、去除云母表面杂质,等待生长薄膜;S2~S3、制备缓冲层;S4、原位退火;S5~S7、制备底电极层和BaTiO3铁电功能氧化物层;S8、原位退火;S9、制备Pt上电极层。本发明利用云母作为基底材料、SrTiO3和La0.65Sr0.35MnO3作为缓冲层、1.1%Nb掺杂的SrTiO3作为底电极、BaTiO3作为铁电功能氧化物、Pt金属作为上电极,形成多层叠堆结构,使其能够在柔性设备中实现高性能的数据存储和读取功能,同时保持对弯曲和形变的适应性。

    一种基于H型阵列的全介质超表面颜色滤波器

    公开(公告)号:CN112558209A

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202011495449.1

    申请日:2020-12-17

    Abstract: 本发明公开了一种基于H型阵列的全介质超表面颜色滤波器。所述滤波器结构为:在衬底上刻蚀介质纳米阵列,其中纳米阵列的单元结构为H型介质纳米结构。该结构由两个长度宽度相等且对称平行的介质矩形块,一个垂直于两个平行矩形块正中且宽度与之相等的介质矩形块构成。在本发明实例中,衬底材料为二氧化硅,介质纳米阵列材料为硅,厚度为75nm,阵列x方向填充因子为0.55,y方向填充因子为0.9。利用光激发硅纳米结构的电与磁的Mie共振,以及共振波长与硅纳米结构形状尺寸的强相关特性,本发明可通过按比例缩放结构大小、改变H型介质纳米结构中矩形块的长与宽来调控滤出颜色,其滤出的颜色具有极高的饱和度。

    一种基于阵列等离子体柱的可调谐光开关

    公开(公告)号:CN112130238A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011057874.2

    申请日:2020-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种基于阵列等离子体柱的可调谐光开关,解决的是法诺共振频率不可控和通过几何参数调节法诺共振时出现的可调自由度小的技术问题,从而使得光开关能够在不改变结构几何参数的情况下实现共振峰的连续动态可调,实现多阈值光开关,通过采用包括厚度小于工作波长的超表面,超表面为规则的几何形状,超表面内平行等间距分布有至少3个等离子体柱;等离子体柱的材质为包层石英管和填充的惰性气体;利用米氏散射理论获得单个等离子体柱的米氏散射系数以确定米式共振频率,再阵列等离子体柱获得布拉格散射,使米氏散射与布拉格散射相干涉产生法诺共振现象的技术方案,较好的解决了该问题,可用于光开关领域中。

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