公开(公告)号：CN108780980B

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN201780016378.2

申请日：2017-03-16

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 小野濑贵士 ,  若林理

IPC: H01S3/131 ,  G02F1/37 ,  H01S3/10

Abstract: 固体激光器装置具有：种子激光器，其输出作为CW激光的种子光；光强度可变部，其通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化，并作为种子脉冲光而输出；CW激励激光器，其输出CW激励光；放大器，其基于通过CW激励光的光激励而被增加的放大增益，将种子脉冲光放大，并作为放大光输出；波长转换部，其对放大光进行波长转换，并输出谐波光；以及光强度控制部，其根据外部触发信号的输入对光强度可变部进行控制，光强度控制部在每次外部触发信号输入时，在从外部触发信号输入起经过一定时间之后使光强度可变部输出种子脉冲光，在从种子脉冲光输出之后起至下一个外部触发信号输入为止的期间内使光强度可变部输出抑制放大增益的增加的抑制光。

公开(公告)号：CN111417487A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201880076915.7

申请日：2018-01-24

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 诹访辉 ,  柿崎弘司 ,  小林正和 ,  若林理

IPC: B23K26/02 ,  B23K26/00 ,  B23K26/382 ,  B23K26/50

Abstract: 一种激光加工方法，对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，其中，该激光加工方法具有以下步骤：A.定位步骤，以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位；B.照射条件取得步骤；C.判定步骤，根据照射条件，判定透明材料的表面上的脉冲激光的最大注量是否在规定的范围内；以及D.控制步骤，在判定为最大注量在规定的范围内的情况下，容许脉冲激光的照射，其中，目标注量为与脉冲激光的光轴垂直的方向上的、转印位置处的射束的截面内的平均注量，将透明材料的表面上的射束的截面分割为多个小区域，最大注量为分割后的每个小区域的注量中的最大值。

公开(公告)号：CN107076892B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201480082930.4

申请日：2014-12-18

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 宫本浩孝 ,  若林理

IPC: G02B5/18 ,  H01S3/139

Abstract: 本发明提供一种光栅，其是用于使以真空紫外区的波长从激光装置输出的激光窄频带化的光栅，其可以包含光栅基板、形成在光栅基板上且表面具有槽状的第1铝金属膜以及通过ALD法形成在第1铝金属膜上的第1保护膜。

公开(公告)号：CN110383175A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201780087743.9

申请日：2017-04-26

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 冈崎信次 ,  若林理

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种EUV光生成装置(10a)，其具有：A、电子储存环(12)，其包含第1直线部(46a)和第2直线部(46b)；B、电子供给装置(11)，其向电子储存环(12)供给电子束的电子；C、高频加速腔(43)，其配置于第1直线部(46a)，对电子束进行加速以使电子束的长度Lez满足“0.09m≤Lez≤3m”；以及D、波荡器(14)，其配置于第2直线部(46b)，通过使电子束入射到波荡器(14)而输出EUV光。更优选电子束的长度Lez满足“0.09m≤Lez≤0.9m”。

公开(公告)号：CN109792128A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201680089883.5

申请日：2016-11-29

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 八代将德 ,  对马弘朗 ,  若林理

IPC: H01S3/03

Abstract: 激光气体再生系统用于准分子激光装置，该准分子激光装置包含构成为能够向激光腔供给第1激光气体的第1配管、构成为能够向激光腔供给卤素气体浓度比第1激光气体高的第2激光气体的第2配管、构成为能够供从激光腔排出的气体通过的第3配管，其中，激光气体再生系统具有：气体精制部，其对通过了第3配管的气体进行精制；分支部，其使流入气体精制部而被精制后的气体分支到第4配管和第5配管；第1再生气体供给部，其向第1配管供给分支到第4配管的气体；以及第2再生气体供给部，其在分支到第5配管的气体中添加卤素气体，并向第2配管供给添加卤素气体而得的气体。

公开(公告)号：CN108292595A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201580084314.7

申请日：2015-12-25

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 铃木章义 ,  谷山实 ,  若林理

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/00 ,  B23K26/073 ,  H01L21/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

CPC classification number: B23K26/10 ,  B23K26/00 ,  B23K26/073 ,  G02B26/08 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268 ,  H01S3/00 ,  H01S3/10

Abstract: 本公开提供一种激光照射装置，其可以具备：照射头部，包括对被照射物照射激光束的第一照射头和第二照射头；激光装置部，包括输出第一激光束的第一激光装置和输出第二激光束的第二激光装置；射束传输部，配置在激光装置部与照射头部之间的光路上，并且切换第一激光束与第二激光束的光路，以使第一激光束和第二激光束的任何一个射入第一照射头和第二照射头的任何一个；第一射束特性可变部，配置在第一激光装置与照射头部之间的光路上；以及第二射束特性可变部，配置在第二激光装置与照射头部之间的光路上。

公开(公告)号：CN207967584U

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201820276001.2

申请日：2018-02-26

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 若林理

IPC: H01S3/03 ,  G01J11/00

Abstract: 本实用新型提供一种气体激光装置，通过在气体激光装置的壳体内部靠近输出端口的位置设置能够拆装的内部光路管，且用于安装该内部光路管的空间能够容纳用于检测激光特性的检测装置。这样，在需要对气体激光装置输出的激光的特性进行检测时，不需要拆卸具有反射镜的外部光路管，因此不需要花费时间进行光轴的调整，另外，也不需要在气体激光装置的外部预留设置检测装置的空间。从而，能够方便快速的设置检测装置。