一种用于单晶炉热场的保温装置及其方法

    公开(公告)号:CN116427013A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310394146.8

    申请日:2023-04-13

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于单晶炉热场的保温装置,属于单晶炉热场技术领域;保温装置包括保温筒,保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒,上保温筒、中保温筒和下保温筒从上至下依次设置单晶炉外侧;单晶炉底部设有底部保温层;保温筒外侧通过固定装置连接有保温毡,保温毡包括上保温毡、中保温毡和下保温毡;上保温筒外侧设有上保温毡,中保温筒外侧设有中保温毡,下保温筒外侧设有下保温毡;上保温毡、中保温毡和下保温毡均采用多层保温毡组合而成。本发明通过将上保温毡、中保温毡和下保温毡分为内层和外层,上保温毡、中保温毡和下保温毡的内层、外层连接方式不同,提高单晶炉热场的保温效果,同时降低单晶炉的电耗,降低成本,节约能源。

    一种用于提高颗粒硅投料重量的成晶方法

    公开(公告)号:CN116397317A

    公开(公告)日:2023-07-07

    申请号:CN202310387266.5

    申请日:2023-04-12

    摘要: 本发明涉及半导体单晶硅制备技术领域,具体涉及一种用于提高颗粒硅投料重量的成晶方法,包括如下步骤:步骤一、将颗粒硅装锅,调整底部加热器功率大于上部主加热器功率;步骤二、复投,复投过程中的第一桶加多晶,之后每桶加料以多晶铺底,中间层为颗粒硅,顶部为多晶覆盖;步骤三、复投完成后,调整主加热器功率和底加热器功率进行剔除杂质。本发明能够防止颗粒硅跳硅,同时可以有效缩短化料工时,提高化料效率。也可以改善氧含量,降低氧≤0.5ppmm。本发明还增加了投颗粒硅重量,降低了成本。

    一种单晶硅方棒吸吊机
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116281535A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310324239.3

    申请日:2023-03-30

    IPC分类号: B66C1/02

    摘要: 本发明公开了一种单晶硅方棒吸吊机,包括相互配合的重心调节机构(1)、吸取机构(2)和控制机构(3),重心调节机构(1)包括吊环(11)、重心调节板(12)、直线导轨(13)和无杆气缸(14);吸取机构(2)包括相连的翻转气缸(21)和翻转板(22),翻转板(22)上的防撞垫片(23)与45°限位柱(41)对应配合,翻转板(22)的底部通过吸盘安装板(25)与吸盘(26)相连;控制机构(3)包括气控箱(32)、环形扶手(33)、气压表(34)、气控按钮盒(35)和控制器(36)。本发明的优点是集吸取、搬运和装箱功能为一体,提高作业效率,有效保证晶棒品质,适用性强、安全系数高。

    一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法

    公开(公告)号:CN116121868A

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202310088936.3

    申请日:2023-02-09

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种多晶铸锭多次加料装置,设置于炉体上,包括加料桶及观察窗座,观察窗座设置于炉体上,观察窗座与炉体内的氩气导流筒连通,观察窗座的侧面开有通孔,加料桶通过管道连接至观察窗座的通孔上,实现加料桶与观察窗座的连通;加料桶的上端设有桶盖,加料桶上端一侧设有进出气管,进出气管上设有压力表,加料桶的下端设有管道,管道上由上至下设有上阀门、下阀门,加料桶内设有防卡料装置;该加料装置及投料方法可多次加料,对熔硅液面扰动小,适应各种类型硅料,降低成本。

    一种单晶埚底废料铸锭提纯中提高成晶率的方法

    公开(公告)号:CN115354387A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202210955098.0

    申请日:2022-08-10

    摘要: 本发明公开了一种单晶埚底废料铸锭提纯中提高成晶率的方法,包括加料完成后,氩气流量给定200~220slpm,吹拂3~5min;其次每段提渣,提渣控温,加最后一筒料前底加功率关闭,主加功率给定65~75kw;此外,若在调温过程、放肩过程或等径过程中出现杂质,则采取不同方式分别对杂质进行处理;最后,分断线区间独立工艺调整,若断线区间≤400mm,引放≤2次,则调温埚转8转,炉压设为15torr,氩气流量给定l00slpm,若引放>2次,无有效产出,则吊出多晶300mm,重新引放。本发明的优点是有效回收利用单晶废料,提高废料的成晶率,提升原料利用率,节约成本,提高经济效益。

    一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法

    公开(公告)号:CN115182042A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210865742.5

    申请日:2022-07-22

    IPC分类号: C30B27/02 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法,具体步骤包括:拉棒长度由1500mm拉伸到1800mm时,逐步将炉压从15torr缓降至10torr持续保持,实现低压挥发;2500mm拉伸到2800mm时,逐步将等径功率升高1kw,高温加速挥发;等径2800mm拉伸到3300mn长度段,将拉晶埚转从9转降至6转,快速升温快速挥发,同时将氩气流量从80slpm缓慢增加至120slpm;完结段,等径5000mm开始至5400mm长度段,逐步将等径液口距放大2mm,增加挥发气体流通面积,使液面挥发气体加速流走。本发明的优点是增大掺杂剂的挥发,提高尾部电阻,延长有效拉棒长度,提高单产。