辐射敏感组合物
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107430338A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680020529.7

    申请日:2016-03-02

    Abstract: 本发明是一种辐射敏感组合物,其含有(A)抗蚀基材、(B)重氮萘醌光活性化合物以及(C)溶剂,该组合物中,固体成分的含量为1~80质量%的范围,溶剂的含量为20~99质量%的范围,该(A)抗蚀基材为特定式所示的化合物。

    化合物、树脂、和它们的纯化方法、及其应用

    公开(公告)号:CN107428646B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN201680018256.2

    申请日:2016-03-17

    Abstract: 本发明提供一种下述式(1)所示的化合物。(式(1)中,R1表示碳数1~30的2n价基团,R2~R5各自独立地表示碳数1~10的直链状、支链状或者环状的烷基、碳数6~10的芳基、碳数2~10的烯基、碳数1~30的烷氧基、卤素原子、巯基或羟基。其中,选自R1~R5中的至少一个表示包含碘原子的基团,R4中的至少一个和/或R5中的至少一个表示选自由羟基和巯基组成的组中的1种以上。m2和m3各自独立地表示0~8的整数,m4和m5各自独立地表示0~9的整数。其中,m4和m5不同时表示0。n表示1~4的整数,p2~p5各自独立地表示0~2的整数。)

    辐射敏感组合物、非晶膜和抗蚀图案形成方法

    公开(公告)号:CN107407874A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201680020207.2

    申请日:2016-03-17

    Abstract: 一种辐射敏感组合物,其含有抗蚀基材(A)、重氮萘醌光活性化合物(B)以及溶剂(C),该组合物中的前述溶剂(C)的含量为20~99质量%,前述溶剂(C)之外的成分的含量为1~80质量%,前述抗蚀基材(A)为下述式(1)所示的化合物。(式(1)中,R1为碳数1~30的2n价基团,R2~R5各自独立地表示碳数1~10的烷基、碳数6~10的芳基、碳数2~10的烯基、碳数1~30的烷氧基、卤素原子、巯基、或羟基,其中,至少一个R4和/或至少一个R5为选自羟基和巯基中的1种以上,m2和m3各自独立地为0~8的整数,m4和m5各自独立地为0~9的整数,其中,m4和m5不同时为0,n为1~4的整数,p2~p5各自独立地为0~2的整数。)

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