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公开(公告)号：CN107428717B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201680018198.3
申请日：2016-03-02
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07D311/92 , C07B61/00 , C08G61/12 , G03F7/004 , G03F7/038
Abstract: 本发明为下述通式(1)所示的化合物。
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公开(公告)号：CN107428717A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680018198.3
申请日：2016-03-02
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07D311/92 , C07B61/00 , C08G61/12 , G03F7/004 , G03F7/038
CPC classification number: G03F7/0045 , C07B61/00 , C07C37/20 , C07C39/14 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C39/42 , C07D311/78 , C07D311/92 , C07D311/96 , C08G61/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/2039 , G03F7/327
Abstract: 本发明为下述通式(1)所示的化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107533291B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201680020125.8
申请日：2016-03-02
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/004 , C07D311/78 , G03F7/039 , G03F7/20 , G03F7/26
Abstract: 本发明的抗蚀剂组合物含有选自特定式子所示的化合物以及将它们作为单体而得到的树脂中的1种以上。
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公开(公告)号：CN108137478A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680052524.2
申请日：2016-09-08
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
Abstract: 使用下述式(1)所示的化合物和/或包含该化合物作为构成成分的树脂。(式(1)中，R1为碳数1～60的2n价基团或单键，R2～R5各自独立地为碳数1～10的直链状、支链状或者环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、卤素原子、硫醇基、羟基或羟基的氢原子被酸解离性基团取代而成的基团，其中，选自R2～R5的至少1个为羟基的氢原子被酸解离性基团取代而成的基团，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m2、m3、m4以及m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。)
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公开(公告)号：CN107533291A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680020125.8
申请日：2016-03-02
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/004 , C07D311/78 , G03F7/039 , G03F7/20 , G03F7/26
CPC classification number: G03F7/039 , C07D311/78 , G03F7/004 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/30
Abstract: 本发明的抗蚀剂组合物含有选自特定式子所示的化合物以及将它们作为单体而得到的树脂中的1种以上。
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公开(公告)号：CN108137478B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201680052524.2
申请日：2016-09-08
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
Abstract: 使用下述式(1)所示的化合物和/或包含该化合物作为构成成分的树脂。(式(1)中，R1为碳数1～60的2n价基团或单键，R2～R5各自独立地为碳数1～10的直链状、支链状或者环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、卤素原子、硫醇基、羟基或羟基的氢原子被酸解离性基团取代而成的基团，其中，选自R2～R5的至少1个为羟基的氢原子被酸解离性基团取代而成的基团，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m2、m3、m4以及m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。)
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