公开(公告)号：CN112414677B

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202011245093.6

申请日：2020-11-10

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单翀 ,  赵晓晖 ,  高妍琦 ,  夏兰 ,  崔勇 ,  饶大幸 ,  李小莉 ,  冯伟 ,  赵元安 ,  胡国行 ,  刘晓凤 ,  史海涛

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明涉及到一种高精度测量光学元件体内光斑大小的测试装置，所述测试装置结构上包括有激光器(1)、衰减器(2)、聚焦透镜(3)、平行光管(4)、成像镜头(5)、CCD相机(7)、第一电动位移平台(10)、第二电动位移平台(8)、分划板(9)和计算机(11)，还涉及一种应用所述的测试装置测量光学元件体内光斑大小的方法。本发明的测试装置和测试方法能够精确的计算出待测光学元件内任意位置处的光斑大小，解决了传统测试方法中无法直接测量光学元件任一位置光斑大小以及理论计算精度较低等问题，为光学元件的激光加工、非线性效应以及激光损伤等方面的生产和研究提供了更多的帮助。

公开(公告)号：CN114486190A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210031568.4

申请日：2022-01-12

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单翀 ,  夏兰 ,  冯伟 ,  李福建 ,  赵晓晖 ,  饶大幸 ,  崔勇 ,  季来林 ,  高妍琦 ,  赵元安 ,  刘晓凤

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/01 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明公开了一种光学元件后表面激光损伤阈值的测试装置及测试方法，本发明通过多次测量背向受激布里渊散射和自聚焦效应的增益情况，将传统测试方法中忽略的两种非线性效应考虑进来，得到了激光诱导光学元件后表面损伤时真实的激光能量与激光光斑大小，从而规避了不同形状的光学元件引入不同的非线性效应所带来的损伤阈值测试结果误差，本发明的测试装置和方法不仅提高了测试精度，也为开展激光诱导光学元件后表面损伤机理以及相应的提高损伤阈值工艺提供了更多的帮助。

公开(公告)号：CN109374264B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201811590277.9

申请日：2018-12-25

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单翀 ,  赵元安 ,  高妍琦 ,  赵晓晖 ,  崔勇 ,  饶大幸 ,  刘佳妮 ,  胡国行 ,  马伟新

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种光学薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法，该方法中激光束经衰减器后到达光束分束器，光束分束器透射方向的激光束经过聚焦透镜到达金属膜，CCD相机记录激光辐照在金属膜表面的光斑位置和辐照在光学薄膜表面时的激光损伤点坐标，扫描电子显微镜记录激光辐照在光学薄膜中缺陷损伤点纵向深度位置，并完成对缺陷损伤点横向能量密度细分与纵向电场归一化处理相结合分析，从而解决了光学薄膜激光损伤阈值测试中，将激光光斑中随机分布的缺陷损伤点与高斯分布的激光能量密度等效的视作均匀分布，并将激光峰值能量密度作为缺陷损伤能量密度，以及因忽略缺陷损伤点所受光学薄膜电场分布影响所带来的问题。从而提高测试精度。