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公开(公告)号：CN109570151B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN201910072533.3
申请日：2019-01-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 件的高效、高质量清洗。本发明公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法，包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置和方法，在基于激光湿法清洗的基础上，引入超声振动与液流清洗，其中，所设计的超生振动台与光学元件直接接触，可以更加充分的利用超声资源，超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用，能够消除或减小清洗过程中的残余应力，避免不必要的损伤，提升光学元件性能；同时超声振动与激光参数调谐，从而与液流中激光致声效
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公开(公告)号：CN117024004A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310990787.X
申请日：2023-08-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： C03C23/00
摘要： 本发明公开一种用于大口径光学元件离子束加工的装调装置及方法，涉及光学元件加工领域，包括外部框架、多个装夹机构和边缘遮挡机构，装夹机构包括紧固调节组件和夹持组件，紧固调节组件的一端设置于外部框架的内壁上，紧固调节组件的另一端设置有夹持组件，夹持组件用于对大口径光学元件的进行夹持固定，同时配备边缘遮挡机构对大口径光学元件的待加工面的边缘进行遮挡，使得换行或折弯转向的动作在边缘遮挡机构上进行，即不在大口径光学元件上进行，避免过度加工，有效解决了大口径光学元件进行离子束加工无损脱除表面杂质过程中遮挡困难和束流路径在大口径光学元件的非加工部分转弯折返产生过度加工的问题。
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公开(公告)号：CN110385313A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910680045.0
申请日：2019-07-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种基于激光器阵列和集束光纤的高功率激光清洗系统，包括激光器阵列、集束光纤以及与集束光纤输出端连接的激光输出头，所述激光器阵列包括若干阵列分布的激光器单元，所述集束光纤包括由若干与各个激光器单元一一对应的传输光纤集束而成，各个激光器单元产生的激光分别经对应的传输光纤传输到激光输出头，并由激光输出头准直、整形和聚焦后向外输出。采用以上技术方案，通过激光器阵列配合集束光纤能够灵活地控制输出激光束的总能流大小，输出激光的能流密度高，可以快速达到需要的能量进行激光清洗，极大提高了清洗效率和清洗效果，增大了适用范围，能够实现高效率、大范围、高质量、低成本的激光清洗作业。
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公开(公告)号：CN107626689A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710883603.4
申请日：2017-09-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种超声辅助激光表面清洗系统及其清洗方法，清洗系统包括激光工作机构，其用于发出激光并对清洗样品表面进行清洗；超声振动机构，其用于产生超声振动并与激光一起同时作用于清洗样品；控制器，其包括用于控制激光工作机构激光控制单元，以及用于控制超声振动机构的超声控制单元；工作台，用于放置并固定清洗样品，其清洗方法主要采用清洗系统进行清洗，通过将激光和超声振动同时作用到清洗样品表面，形成复合清洗技术，可有效防止激光清洗时产生热量在样品表面积累，防止表面过热，同时有助于均化激光光斑作用在样品表面的能量分布，改善激光清洗表面质量的均一性，对于激光清洗领域发展具有极大的开拓意义。
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公开(公告)号：CN107598360A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710823217.6
申请日：2017-09-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/352 , B23K26/60
摘要： 本发明公开了一种利用飞秒激光制备低碳钢多功能表面的方法，按照以下步骤进行：首先，对低碳钢原料依次进行切割、打磨和抛光，得到低碳钢样片；然后，采用去离子水和无水乙醇依次对低碳钢样片的表面进行超声清洗；再调整聚焦透镜的位置，使飞秒激光经聚焦透镜作用于低碳钢样片的表面；最后，调整飞秒激光加工参数，获得具有超疏水彩色表面或者超疏水低反射表面的低碳钢样片。采用以上方法，不仅能够获得具有超疏水彩色表面或者超疏水低反射表面的低碳钢，结构稳定可靠，而且制备工序简单、可控性强、重复性良好。
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公开(公告)号：CN207343403U
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201721242837.2
申请日：2017-09-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本实用新型公开了一种超声辅助激光表面清洗系统，清洗系统包括激光工作机构，其用于发出激光并对清洗样品表面进行清洗；超声振动机构，其用于产生超声振动并与激光一起同时作用于清洗样品；控制器，其包括用于控制激光工作机构激光控制单元，以及用于控制超声振动机构的超声控制单元；工作台，用于放置并固定清洗样品，通过该系统将激光和超声振动同时作用到清洗样品表面，形成复合清洗技术，可有效防止激光清洗时产生热量在样品表面积累，防止表面过热，同时有助于均化激光光斑作用在样品表面的能量分布，改善激光清洗表面质量的均一性，对于激光清洗领域发展具有极大的开拓意义。
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公开(公告)号：CN211914389U
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202020331407.3
申请日：2020-03-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本实用新型公开了一种用于单面涂膜的降液式提拉涂膜机，主体支架、涂膜器、升降控制机构和储液器，储液器的底部通过连接管与涂膜器的底部连通。采用以上技术方案的一种用于单面涂膜的降液式提拉涂膜机，结构新颖，设计巧妙，不仅具有传统提拉涂膜方法所有的优势，而且制备流程简单，操作方便，效率高，同时，对于非平板结构的元件，可以根据涂膜对象的形状特征，对储液器的形状进行适应性地调整，使其与元件和涂膜开孔内部的空间形状互补，从而可以在储液器匀速升降的情况下，保持涂膜器中的液面下降速度也是匀速的，大幅提高涂膜的均匀性，简化升降控制机构的逻辑控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210333608U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201921187028.5
申请日：2019-07-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本实用新型公开了一种激光高效清洗系统，包括激光器阵列、集束光纤以及与集束光纤输出端连接的激光输出头，所述激光器阵列包括若干阵列分布的激光器单元，所述集束光纤包括由若干与各个激光器单元一一对应的传输光纤集束而成，各个激光器单元产生的激光分别经对应的传输光纤传输到激光输出头，并由激光输出头准直、整形和聚焦后向外输出。采用以上技术方案，通过激光器阵列配合集束光纤能够灵活地控制输出激光束的总能流大小，输出激光的能流密度高，可以快速达到需要的能量进行激光清洗，极大提高了清洗效率和清洗效果，增大了适用范围，能够实现高效率、大范围、高质量、低成本的激光清洗作业。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209393671U
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201920129768.7
申请日：2019-01-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本实用新型公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置，在基于激光湿法清洗的基础上，引入超声振动与液流清洗，其中，所设计的超生振动台与光学元件直接接触，可以更加充分的利用超声资源，超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用，能够消除或减小清洗过程中的残余应力，避免不必要的损伤，提升光学元件性能；同时超声振动与激光参数调谐，从而与液流中激光致声效应产生的声波达到共振，使清洗效果得到显著提升，液流减小了激光对光学元件可能造成的损伤，并避免了二次污染，由此实现了针对光学元件的高效、高质量清洗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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