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公开(公告)号：CN107132603A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710387548.X
申请日：2017-05-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片，该分色片以石英为基底，膜系以Nb2O5和Ta2O5为高折射率材料、以SiO2为低折射率材料。在石英基底一面依次添加中心波长从近红外至紫外逐渐递减的长波通反射膜Ⅰ、反射膜Ⅱ、反射膜Ⅲ和反射膜Ⅳ，在反射膜Ⅰ与基底之间插入匹配层Ⅰ，在反射膜Ⅳ与空气之间添加匹配层Ⅱ，最后保持全部高折射率膜层厚度不变，将低折射率膜层厚度作为唯一优化参数对初始膜系进行优化从而获得最终分色膜系。本发明分色片光谱覆盖范围宽、偏振灵敏度低，能够有效地将波段相近的近红外光谱进行分离，适合于多光谱低偏振灵敏度航天海洋遥感仪器的分色使用。
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公开(公告)号：CN106019426A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610538955.1
申请日：2016-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/115
CPC classification number: G02B1/115
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，该保护片以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料，入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层，获得满足要求的设计结果；背面设计了宽光谱减反射膜，以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480‑700nm波段的中性分光，同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透射。本发明VNIR狭缝保护片性能稳定，适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。
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公开(公告)号：CN119882253A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510201291.9
申请日：2025-02-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种带宽和分光比可调的分光膜及调控方法，属于光学薄膜技术领域。所述分光膜的结构从下往上依次包括基底、界面减反膜、虚拟界面层和空气。所述界面减反膜为高低折射率膜构成的多层干涉型减反膜或基于渐变折射率实现的宽带减反膜，实现虚拟界面层到基底的反射基本为零。所述虚拟界面层为厚度为零的膜层，其与空气的界面实现宽带均匀分光。所述调控方法通过对渐变折射率的减反膜的子层细分程度来调控带宽，通过虚拟界面层折射率来调控分光比。本发明提供的分光膜及调控方法，可实现任意带宽的均匀分光，分光比可调，膜系结构简单，易于设计和制备。
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公开(公告)号：CN117420628A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202210811407.7
申请日：2022-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种对紫外可见光截止的宽光谱红外透射滤光窗口，该窗口基底为硒化锌晶体，基底一面上设计宽带截止膜，其主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构，以硒化锌和氟化镱分别作为高、低折射率材料。使用两个截止膜堆实现宽带截止，主膜系两端添加匹配层，通过优化匹配层提升红外波段透射率；基底另一面设计了宽光谱减反膜。滤光窗口的光学薄膜制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等工艺。该窗口能阻止0.20μm～0.80μm宽波段内的光通过，允许0.92μm～15.50μm宽波段的光通过，经过后续光路到达红外探测器响应区。本发明的滤光窗口性能稳定、可靠性好，适合于红外成像系统中的光谱选择使用。
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公开(公告)号：CN110488402B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201910618839.4
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108388023B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201810090458.9
申请日：2018-01-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种大口径宽光谱F‑P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10‑1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F‑P可调谐滤波器的F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。
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公开(公告)号：CN110488402A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910618839.4
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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公开(公告)号：CN107894283B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201711000670.3
申请日：2017-10-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱范围F‑P可调谐滤波器多级透射峰的抑制方法。该方法具体是指根据高光谱遥感覆盖的波段，通过合理划分Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，并确定Fabry‑Perot腔的腔长变化区间，来消除Fabry‑Perot腔多级透射峰的影响，使Fabry‑Perot可调谐滤波器在[λmin,λmax]内只存在单一透射峰，确保Fabry‑Perot可调谐滤波器的波长扫描模式满足高光谱成像应用要求。本发明可以有效扩展基于空间遥感应用的Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，加速高光谱、超光谱成像设备的小型化和轻量化。
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公开(公告)号：CN106644069A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610893673.3
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/04
CPC classification number: G01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝，该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形，然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95～2.50微米光谱区间，透明狭缝区域的光谱透过率大于97％,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1％。该狭缝宽度和形状可调，线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200～300纳米，可有效去除杂散光，狭缝结构简洁，定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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公开(公告)号：CN119689730A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411838534.1
申请日：2024-12-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种反射可见光至短波红外而透射宽光谱红外的分色片及其制作方法，分色片以锗平片为基底，分色膜系采用长波通滤光片的膜系结构，以锗、硫化锌和氟化物作为不同反射膜堆的高、低折射率材料。基底前表面设计分色膜，以不同的反射膜堆组合实现宽带高反射，优化匹配层减小透射通带波纹；基底后表面设计宽光谱减反射膜，获得透射通道高透射率同时减小剩余反射消除杂散光。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、基底温度以及局部膜层离子辅助沉积等工艺，降低薄膜吸收，同时提升分色片环境可靠性。根据实测反射率与透射率曲线，分色片在0.4～1.7μm波段高反射，在2.1～2.4μm短波红外和3.5～14μm中长波红外波段高透射，适用于可见至红外多通道遥感系统的光谱分光。
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