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公开(公告)号:CN106449343A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610783573.5
申请日:2016-08-31
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
IPC: H01J37/32 , H01L21/223
CPC classification number: H01J37/32412 , H01L21/2236
Abstract: 本发明属于等离子体掺杂领域,尤其涉及粉体材料的等离子体掺杂方法。其特征是将受主粉体材料加入至等离子体掺杂腔室中,然后向等离子体掺杂腔室导入施主气,通过控制施主气的流量,使受主粉体材料处于稳定流化态,之后,启动激励电源通过介质阻挡放电使施主气活化并形成非平衡等离子体,非平衡等离子体中的活性粒子会进入至受主粉体材料中,完成掺杂,受主粉体材料在电场和磁场作用下活化,其本征性能亦会得到加强。本发明方法工艺简单、灵活度好、掺杂效率高,可以在温和条件下获得掺杂均匀性高、缺陷丰富的粉体材料,其应用前景十分广阔。
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公开(公告)号:CN109012514A
公开(公告)日:2018-12-18
申请号:CN201811003189.4
申请日:2018-08-30
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司 , 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种流化床反应器,包括反应腔和位于反应腔下端的底面进气结构;所述反应腔四周设有进气腔,靠近反应腔的进气腔内壁设有多个倾斜设置的导流板,进气腔内壁在其与每个导流板连接处的下方设有一个以上的透气孔,且透气孔连通进气腔和反应腔。本申请通过在反应腔四周设置进气腔,使一部分工艺气体进入进气腔内,并沿导流板改变角度,向上倾斜穿过透气孔吹入反应腔内,从而避免了介质沉积在反应器内壁,导致反应器磨损的情况。
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公开(公告)号:CN108579989A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201810331271.3
申请日:2018-04-13
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多晶硅破碎装置及方法,包括有破碎机构、收集箱和控制系统,破碎机构包括有若干级,每一级均包括有对辊装置和筛板,对辊装置包括有破碎辊,筛板设置于破碎辊的下方,在每一筛板尾部设置有出料口;前一级破碎机构的出料口与后一级破碎机构的破碎辊对接,最后一级破碎机构的出料口与收集箱对接。本发明根据硅料的破碎情况自动选择破碎过程的级数,达到最佳的破碎效果,实现从多晶硅出炉到破碎,再到包装的生产一体化;通过探测器与控制系统连接,可自动启动多级破碎装置并自动调整对辊之间合适的间距,适应要求尺寸的硅块,使控制过程迅速、精确、高效;并且碳化钨块可根据使用情况进行定期更换,保持破碎效果的同时可降低成本。
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公开(公告)号:CN107792857B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201711213248.6
申请日:2017-11-28
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司 , 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
IPC: C01B33/035
Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,具体而言,涉及一种颗粒硅的生产方法及装置。本发明的实施例中提供的颗粒硅的生产装置包括颗粒硅晶种制备装置、与颗粒硅晶种制备装置连接的颗粒硅晶种筛分装置、与颗粒硅晶种筛分装置连接的颗粒硅制备装置以及与颗粒硅制备装置连接的颗粒硅筛分装置。本发明的实施例中提供的颗粒硅的生产方法采用闭环循环装置加工颗粒硅,使存在影响多晶硅颗粒的纯度及球度的间隙较小,即便有影响多晶硅颗粒的纯度及球度的现象,也会在两次筛分过程中筛分出去,有效地保证颗粒硅的精度及球度,本发明实施例中提供的颗粒硅的生产方法与上述装置采用相同的技术方案,因此也具备上述的有益效果。
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公开(公告)号:CN107124811B
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201710479370.1
申请日:2017-06-22
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司 , 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明公开了一种等离子体发生器,包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源,多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内,相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室;电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接;催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极,电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成。本发明通过将多级催化隔板电极以交错间隔方式与电源连接,且催化隔板电极采用具有透气孔的电介质和电极制成,而电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成,可以充分利用放电过程中产生的光辐射能量和电子能量,达到在较低放电电压下产生高电子密度的等离子体。
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公开(公告)号:CN106076460B
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201610418001.7
申请日:2016-06-15
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
Abstract: 本发明涉及一种处理多晶硅棒的装置,该装置包括多功能箱车、机械臂、表面均布嵌有金属凸起物的支撑平台和控制箱。所述多功能箱车包括承重板车、数个内置多晶硅棒的箱体;所述承重板车上设有所述箱体,其底部分别设有重量感应器和报警器及四个重型聚氨酯脚轮;数个所述箱体按蒸笼式累加,且最上面的箱体的顶部设有顶盖;数个所述箱体与所述机械臂相接;所述支撑平台上方均匀分布有合金破碎锤;所述重量感应器和所述报警器分别与所述控制箱相连。同时,本发明还公开了该装置的使用方法。本发明操作过程简单方便,同时降低了工序之间衔接时时间资源的浪费,提高了效率。
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公开(公告)号:CN107500297A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710858756.3
申请日:2017-09-21
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司 , 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
IPC: C01B33/021
Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在解决现有技术中颗粒硅籽晶制备的装置在制备颗粒硅籽晶的过程中极易产生硅粉尘,导致物料损失的问题,提供一种颗粒硅籽晶制备系统及方法。本发明提供的颗粒硅籽晶制备系统,多晶硅棒经破碎装置破碎后,得到多晶硅块料,多晶硅块料经熔融装置加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;将熔融多晶硅经分散装置分散为多晶硅液滴;多晶硅液滴在空中进行冷却凝固。液滴在表面张力作用下形成高球形度的球形液滴,球形液滴变为球形多晶硅固体颗粒。在本发明中采用激光器对多晶硅棒或多晶硅块进行破损,在破碎过程中没有引入其它物质,实现无接触式激光破碎,提高多晶硅棒或多晶硅块的纯度,且可得到高球度的多晶硅颗粒。
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公开(公告)号:CN106495165A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201611035782.8
申请日:2016-11-23
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
IPC: C01B33/107
Abstract: 本发明公开了一种以四氯化硅制备三氯氢硅的装置和方法,装置包括密封法兰、可变垫环、高压阻挡圈、电介质、外电极及内电极,内电极位于轴线位置处,内电极两端分别与两密封法兰连接;电介质的两端分别连接两密封法兰并将内电极套在内部,高压阻挡圈套装在电介质上,且与密封法兰紧密贴住,外电极紧密包裹在电介质外表面;一密封法兰具有进气导口,另一密封法兰具有出气导口。本发明结构灵活,能够轻易调整其几何参数,气密性良好,消除了气体泄露产生的危害;能够有效降低击穿电压和使等离子体维持在非平衡状态,能够容易的产生低温等离子体,有效地提高放电间隙内的电子密度;操作范围广,能够在较广的气压、电压、频率及功率下工作。
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公开(公告)号:CN106495163A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201611004218.X
申请日:2016-11-15
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
IPC: C01B33/035
Abstract: 本发明公开了一种可消除多晶硅碳头料的装置,包括电极、石墨底座、卡瓣组及石墨帽,卡瓣组由石墨部分和多晶硅部分对接而成,石墨部分构成卡瓣组的主体结构并置于石墨底座上,多晶硅部分构成卡瓣组的上部结构,且多晶硅部分对接于石墨部分的顶部上面;在石墨帽的上表面覆盖有一层多晶硅保护壳。本发明具有以下优点:在还原炉内硅沉积到硅芯上的同时也沉积到卡瓣组多晶硅部分上,镶嵌在硅棒中的多晶硅部分无需处理,可直接利用,避免了由于石墨卡瓣造成的碳头料;多晶硅壳避免了硅棒与石墨帽接触,消除了碳污染和造成破损的可能性;石墨部分可循环利用,节约生产成本;提升了产品质量、提高了硅料利用率、节省了人力资源和经济成本。
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公开(公告)号:CN106391258A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201611009573.6
申请日:2016-11-16
Applicant: 亚洲硅业(青海)有限公司
Abstract: 发明提供一种多晶硅棒破碎方法及多晶硅棒破碎装置,属于多晶硅技术领域。破碎方法包括将多晶硅棒置于破碎装置中,并将破碎装置的破碎触头与多晶硅棒的表面接触。调整破碎触头的振动频率与多晶硅棒的固有频率一致,在多晶硅棒破碎之前,保持破碎触头始终与多晶硅棒接触。破碎装置中破碎触头连接有驱动装置,驱动装置用于驱动破碎触头沿设定的方向运动以使工作面始终与多晶硅棒接触。调频振动模块与破碎触头连接并用于调节破碎触头的振动频率,检测模块与调频振动模块电连接。通过此破碎装置实施的破碎方法,使多晶硅块大小可控,有效减少碎料和微粉的产生,满足大批量生产的多晶硅的破碎,节省人力,节省时间,提高破碎效率。
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